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公开(公告)号：CN111025446B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201911262179.7
申请日：2019-12-10
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种红外二元光学器件及电磁屏蔽网栅制备方法，利用透明导电氧化物材料在不同加热温度下电阻率不同的现象，采用高能粒子束直写技术按照设计图案加热薄膜特定位置制备非刻蚀二元红外衍射光学元件及电磁屏蔽网栅。该方法具有工艺简单，不需要刻蚀，成本低，光散射小及易制备器件结构深宽比要求大的器件的优点。
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公开(公告)号：CN109828324B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201910037528.9
申请日：2019-01-15
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种具有高效雷达波屏蔽功能的宽角度激光高强减反射膜的膜系结构，由透明基片和五种薄膜材料制备的十二层薄膜叠加构成；从透明基片开始，由内向外第1层为透明导电膜层；第2层为金属电极薄膜，镀制在透明导电膜层的边缘以及透明基底的侧面；第3层至第11层中的奇数层为三氧化二钛膜层、偶数层为二氧化硅膜层，第12层为氮氧化铝膜层。本发明具有对1064nm激光高透过、对频率为2GHz～18GHz的雷达波高效屏蔽功能，且具有很强的环境适应性，能够经受吹尘、淋雨、附着力、湿热、摩擦、盐雾等环境试验，可用于雷达隐身光电系统中的1064nm激光窗口，使具有雷达波高效屏蔽功能的激光窗口能够在0°～80°的宽角度范围内正常使用，在恶劣的环境中能够正常工作并保护系统内部器件。
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公开(公告)号：CN110361799B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN201910580498.6
申请日：2019-06-28
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提供了一种反射1064nm激光、透过700nm‑900nm电视的二色性介质立方分光棱镜，把在斜面上镀有规整膜层与非规整膜层相结合分光膜的直角棱镜与未镀膜的直角棱镜使用某耐高温环氧树脂胶合在一起，得到一种高反1064nm激光、高透过700nm‑900nm电视波段的且具有一定抗激光损伤的二色性介质分光棱镜，规整与非规整膜层相结合的这种膜系，大部分激光优先从M与SiO2的规整膜层反射，减小了整个分光膜系的吸收，其与耐高温的环氧树脂胶结合有利于提高立方分光棱镜的抗激光损伤阈值。它可应用于共光路光电系统中包含电视、激光双波段的探测，且其较高的抗激光损伤阈值有利于应用在激光压制光电设备中。
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公开(公告)号：CN109696716B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201910037555.6
申请日：2019-01-15
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种超宽角度激光、长波红外双波段高强减反射膜的膜系结构，由硫化锌基片和减反射膜膜系组成；所述减反射膜膜系由四种薄膜材料制备的膜层叠加构成；膜层层数共计19层，从硫化锌基片开始，由内向外第1层为氧化铪，第2层到第18层中的奇数层为氟化镱膜层、偶数层为硫化锌膜层，第19层为氮化硅膜层；本发明可实现1.064μm激光和7.5μm～10.0μm长波红外在0°～76°超宽角度范围内的高透过，膜层牢固，同时具备高强度，能够通过国军标GJB 150—2009中的风洞、砂尘、淋雨、盐雾、湿热、温度冲击等严酷的环境试验，能够满足雷达隐身高速武器平台的多光谱硫化锌光学窗口的应用需求，能够应用于隐身机载、隐身舰载等高速武器平台多波段共光路光学系统的隐身光学窗口。
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公开(公告)号：CN111025446A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911262179.7
申请日：2019-12-10
Applicant: 西安应用光学研究所
Abstract: 本发明提出一种红外二元光学器件及电磁屏蔽网栅制备方法，利用透明导电氧化物材料在不同加热温度下电阻率不同的现象，采用高能粒子束直写技术按照设计图案加热薄膜特定位置制备非刻蚀二元红外衍射光学元件及电磁屏蔽网栅。该方法具有工艺简单，不需要刻蚀，成本低，光散射小及易制备器件结构深宽比要求大的器件的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106546536B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201610847242.3
申请日：2016-09-26
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明提出一种高精度薄膜弱吸收测试装置及方法，当平行探测光照射环形光阑，经过环形光阑的光成为环形光束；由泵浦光在薄膜样品上引起的温升在样品内部形成的“热透镜”，热透镜区域将直接引入一个位相因子，环形光束经透镜聚焦后通过热透镜区域；反射光经过辅助透镜调节使环形光束与相环大小一致，环形光束完全投影在相环上；这样直射光经过相环，衍射光经过相板其它部分；直射光与衍射光干涉叠加，使微小的相位差转变为较大的光强差，探测光强分布就能判断薄膜样品的吸收率。本发明在热透镜技术基础上引入相衬技术使热畸变信号得到放大，所以相比现有技术有更高的精度、稳定性，且操作简单。
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公开(公告)号：CN109807694A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201910037609.9
申请日：2019-01-16
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: B24B1/00 , B24B13/005
Abstract: 本发明提出一种控制异形光学窗口零件高平行差加工的质心上盘工装及抛光方法，工装包括异形胶模、转接柱、接头。本发明通过工装实现了异形胶模的质心点在异形胶模背面安装孔的轴线位置上，保证异形光学窗口零件的质心位置在加工中始终处于回转中心轴上。本发明提出了组合胶模和异形光学窗口零件“质心重合”的上盘方法和异形光学窗口零件两面“光圈互补”的原则来保证异形光学窗口零件在抛光中的“近等量去除”，从而实现高平行差加工。本发明在异形胶模设计时巧妙地将零件加工中的回转中心移植到异形胶膜的质心点，并实现量化精确控制，与加工实践有效结合，解决了大尺寸异形光学窗口零件高平行差的修正技术瓶颈。
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公开(公告)号：CN105842857A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610273378.8
申请日：2016-04-28
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B27/10
CPC classification number: G02B27/1006 , G02B27/1013
Abstract: 本发明提出一种ZnS基底反0.5～0.8μm可见光及1.064μm激光并透3.7～4.8μm中波红外分色膜的膜系结构，包括ZnS基片和分色膜膜系；分色膜膜系由三种薄膜材料制成；膜层层数共计51层，其中第1层和第51层为氧化锆膜层，第2层到第50层中的偶数层为氟化镱膜层、奇数层为硫化锌膜层。在0.5～0.8μm波段，透过率小于2％；在1.064μm激光波段，透过率小于1％；在3.7～4.8μm中波红外波段透射率大于95％。该膜系结构具有层数少、厚度小、镀制难度相对较低、工艺重复性好的特点，获得的膜层牢固度高，光谱性能优良，能够满足多波段共窗口光电系统的使用要求，满足45°倾斜条件下工作要求，并能经受住高、低温存储，温度冲击等环境试验，附着力试验及中度摩擦试验。
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公开(公告)号：CN104634760A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201510078340.0
申请日：2015-02-13
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G01N21/47
Abstract: 本发明提出一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法，通过表面声波发生器在所制备的长条样品的正面和背面的特定位置产生频率相同的表面声波，表面声波对入射光而言相当于一个衍射光栅，当没有镀膜时，基底正背面表面声波波长相等形成对称的衍射光栅，衍射零级或±1级光强分布均匀，当镀膜后，应力使基底弯曲，由于两面声波速率变化导致正背面声波波长不同，衍射光栅不再对称，导致零级或±1级衍射光强分布不再均匀，产生光强周期性分布，根据周期的大小换算成基底的弯曲曲率，再根据Stoney公式计算出薄膜的应力。本发明结构简单、制作简便、灵敏度高，消除了传统基底弯曲法的系统误差，可应用于透明基底上制备的所有薄膜应力的检测。
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公开(公告)号：CN104216034A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410442919.6
申请日：2014-09-02
Applicant: 西安应用光学研究所
IPC: G02B1/11
Abstract: 本发明提出用于大曲率透镜表面的0.532微米与1.064微米倍频减反射膜，包括透明基片和减反射膜系，减反射膜系由高折射率介质膜层和低折射率膜层交替叠加的12个膜层构成，适用于曲率半径与口径之比不小于1的大曲率透镜表面，且具有较高的玻璃基底适应性，对由于不同镀膜机参数不同而引起的高折射率镀膜材料折射率n有较大的容限，稳定性高。即基底折射率适用于1.46～1.60、高折射率材料Ta2O5折射率n＝1.946～2.126，均满足大曲率光学零件表面各点的光学性能在0.532μm与1.064μm波长处剩余反射率优于0.4％的良好效果。
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