公开(公告)号：CN104634760A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201510078340.0

申请日：2015-02-13

Applicant: 西安应用光学研究所

Inventor： 金柯 ,  刘永强 ,  杨崇民 ,  王颖辉 ,  韩俊 ,  王慧娜 ,  张建付 ,  李明伟 ,  杨益民 ,  王松林

IPC: G01N21/47

Abstract: 本发明提出一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法，通过表面声波发生器在所制备的长条样品的正面和背面的特定位置产生频率相同的表面声波，表面声波对入射光而言相当于一个衍射光栅，当没有镀膜时，基底正背面表面声波波长相等形成对称的衍射光栅，衍射零级或±1级光强分布均匀，当镀膜后，应力使基底弯曲，由于两面声波速率变化导致正背面声波波长不同，衍射光栅不再对称，导致零级或±1级衍射光强分布不再均匀，产生光强周期性分布，根据周期的大小换算成基底的弯曲曲率，再根据Stoney公式计算出薄膜的应力。本发明结构简单、制作简便、灵敏度高，消除了传统基底弯曲法的系统误差，可应用于透明基底上制备的所有薄膜应力的检测。

公开(公告)号：CN104634760B

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201510078340.0

申请日：2015-02-13

Applicant: 西安应用光学研究所

Inventor： 金柯 ,  刘永强 ,  杨崇民 ,  王颖辉 ,  韩俊 ,  王慧娜 ,  张建付 ,  李明伟 ,  杨益民 ,  王松林

IPC: G01N21/47

Abstract: 本发明提出一种光学薄膜应力的测试装置及测试方法，通过表面声波发生器在所制备的长条样品的正面和背面的特定位置产生频率相同的表面声波，表面声波对入射光而言相当于一个衍射光栅，当没有镀膜时，基底正背面表面声波波长相等形成对称的衍射光栅，衍射零级或±1级光强分布均匀，当镀膜后，应力使基底弯曲，由于两面声波速率变化导致正背面声波波长不同，衍射光栅不再对称，导致零级或±1级衍射光强分布不再均匀，产生光强周期性分布，根据周期的大小换算成基底的弯曲曲率，再根据Stoney公式计算出薄膜的应力。本发明结构简单、制作简便、灵敏度高，消除了传统基底弯曲法的系统误差，可应用于透明基底上制备的所有薄膜应力的检测。