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公开(公告)号：CN119361335A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411532823.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明属于三维微纳制造及储能技术领域，公开了一种三维自卷曲微型超级电容器及其可控制备方法，方法包括：制备双层薄膜衬底，双层薄膜衬底包括顶层具有负热膨胀系数的导电功能层和底层具有正热膨胀系数的磁性薄膜衬底，磁性薄膜衬底中均匀分布高剩磁材料和磁热材料；在导电功能层表面制备出图案化的叉指电极；在导电功能层表面，在叉指电极的一侧制备正极、另一侧制备负极，得到复合型平面微型超级电容器；将复合型平面微型超级电容器于磁场中进行弯曲变形，得到自卷曲结构；向自卷曲结构中加入液晶态电解质，得到三维自卷曲微型超级电容器。本发明通过进一步缩小器件的投影面积，提高器件的空间利用率，进而提升器件单位面积内的能量密度。
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公开(公告)号：CN119246335A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411543368.2
申请日：2024-10-31
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N11/16
Abstract: 本发明属于MEMS传感器技术领域，公开了一种多驱动模式微悬臂板阵列MEMS黏度传感器芯片及其工作方法，硅基固支体上连接有第一、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构，第一阶、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构均包括矩形且同轴设置的支撑板和宽板悬臂，支撑板的两端分别与硅基固支体和宽板悬臂连接，支撑板的宽度小于宽板悬臂的宽度；宽板悬臂表面布置有金属层线圈；支撑板上对称设有压电电极对，每个电极连接有金属引线；两支撑板之间连接有刚度衔接梁，两支撑板的大小相同，第一宽板悬臂的长度和宽度分别小于、等于第二宽板悬臂的长度和宽度。本发明提升了黏度传感器浸于黏性流体中的振动特性，从而提升其黏度测量精度与稳定性。
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公开(公告)号：CN119023500A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202411145838.X
申请日：2024-08-20
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N9/00
Abstract: 本发明属于MEMS传感器领域，具体涉及一种刚性耦合微悬臂梁MEMS密度传感器芯片及其工作方法，芯片包括固支体，固支体上连接有若干微悬臂梁阵列悬空结构，微悬臂梁阵列悬空结构包括一端与固支体连接的压电悬臂梁和悬臂板，压电悬臂梁包括固支板和敏感梁对，固支板上设有驱动电极，敏感梁对的两个敏感梁上设有拾振电极，敏感梁与固支板之间、相邻的敏感梁之间连接有刚性耦合梁；若干微悬臂梁阵列悬空结构包含第一微悬臂梁阵列悬空结构和至少两个第二微悬臂梁阵列悬空结构，其中，第一微悬臂梁阵列悬空结构的悬臂板的长度小于第二微悬臂梁阵列悬空结构的悬臂板的长度。该密度传感器芯片能够显著提升流体测量精度与灵敏度等测量性能。
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公开(公告)号：CN118641135A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410869161.8
申请日：2024-07-01
Applicant: 广西电网有限责任公司电力科学研究院 , 西安交通大学
Abstract: 本申请公开了一种振动检测装置及振动检测系统，属于振动检测领域。该振动检测装置包括：第一梁臂、第二梁臂、振动传感件以及无线传感器；第二梁臂与第一梁臂连接，且第一梁臂与第二梁臂组合形成L型梁，振动传感件连接于第二梁臂，第一梁臂用于连接在待检测振动件上，振动传感件与无线传感器电连接；在第一梁臂振动的情况下，第二梁臂振动，且第二梁臂带动振动传感件振动，且振动传感件将第二梁臂的振动信息传递至无线传感器，以使无线传感器用于传递振动信息。
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公开(公告)号：CN118583330A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410668059.1
申请日：2024-05-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 一种混合传感‑驱动阵列的电容微力传感器及闭环检测电路，传感器包括通过支撑梁固定在边框上的质量块，质量块前端延伸一个细长探针，质量块中部布置有两个以上的变间距型和变面积型复合电容阵列；在质量块末端布置有两个以上的变面积型驱动梳齿阵列；闭环检测电路通过变间距型梳齿阵列和变面积型梳齿阵列的电容变化检测质量块的位置和速度信息，通过控制器使变面积型驱动梳齿阵列产生对应静电力，完成亚nN‑μN量级微力信号的闭环检测；本发明可以大幅提电容微力传感器动态检测性能和检测精度，并减少传感器内部噪声及电路噪声的对微力信号检测的干扰。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118487513A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410592526.7
申请日：2024-05-14
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请公开了一种磁吸失稳的电磁压电发电装置及无线监测系统，属于发电技术领域。包括：容纳件、弹性件、金属盖板、磁铁、压电件以及按压板；容纳件具有容纳腔以及开口，开口与容纳腔连通，金属盖板固定于开口处，金属盖板遮盖开口，金属盖板上设置有通孔，弹性件穿设于通孔，且弹性件的第一端位于容纳腔的外部，弹性件的第二端位于容纳腔中，磁铁位于容纳腔中，磁铁与弹性件第二端固定连接，且磁铁与金属盖板接触，按压板与弹性件的第一端固定连接，压电件固定于容纳腔中，且在弹性件的伸缩方向上，压电件与磁铁位置相对。
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公开(公告)号：CN116683791A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310644441.4
申请日：2023-06-01
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请公开了一种带防振功能的发电装置、无线传感装置及发电系统，属于发电技术领域。该带防振功能的发电装置包括：挂接件、拾振梁、第一压电发电组件以及第二压电发电组件；第一压电发电组件包括第一安装框、第一压电发电件以及第一质量块，第二压电发电组件包括第二安装框、第二压电发电件以及第二质量块，第一压电发电件以及第一质量块均位于第一安装框中，且第一压电发电件的第一端与第一安装框的侧壁连接，第一压电发电件的第二端与质量框连接，第二压电发电件以及第二质量块均位于第二安装框中，且第二压电发电件的第一端与第二安装框的侧壁连接，第二压电发电件的第二端与质量框连接；拾振梁具有相对的第一面和第二面。
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公开(公告)号：CN116647165A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310667359.3
申请日：2023-06-06
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本申请实施例提供了一种多源发电装置及无线传感装置。该多源发电装置包括：底座、热电发电件、压电发电件、太阳能电池板以及电源管理模块；热电发电件包括位置相对的受热端以及散热端，受热端与底座贴合，压电发电件的一端固定于底座，太阳能电池片与压电发电件的另一端连接，电源管理模块固定于底座；热电发电件、压电发电件以及太阳能电池板均与电源管理模块电连接，电源管理模块用于与待供电件电连接；其中，热电发电件用于在热电发电件的受热端的温度大于散热端的温度情况下，产生电能；压电发电件用于在压电发电件晃动且弯曲的情况下，产生电能；太阳能电池板用于在太阳光照射在太阳能电池板上的情况下，产生电能。
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公开(公告)号：CN115973992A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211714828.4
申请日：2022-12-29
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了基于MEMS的耐高温柔性流速传感器芯片及其制备方法，所述流速传感器芯片包括柔性衬底和布置在柔性衬底上的温度补偿电阻对、测温电阻对和加热电阻，所述柔性衬底背面开设有空腔。本发明在热电阻周围对称布置测温电阻对，通过公用中央的加热电阻的方式，实现热损失和热温差两种测温原理的结合，有效提高了传感器的测速范围，该MEMS热式流速传感器具有测量范围广，具备更广泛的应用领域。本发明所述的传感器芯片的制备方法，制作方法简单、可靠性高、易于批量化生产、成本低。
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公开(公告)号：CN113746371A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110998561.5
申请日：2021-08-27
Applicant: 西安交通大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种叠层阵列简支梁压电振动能量收集器及能量收集方法，能量收集器，包括框架、共质量块和压电双晶片，共质量块设置于框架的轴心，共质量块上在其相对的两侧分别连接相同数量的压电双晶片，共质量块同一侧的压电双晶片分布于共质量块的不同厚度上，共质量块两侧的压电双晶片分别一一相对设置；压电双晶片的两端分别与共质量块和框架连接。本发明叠层阵列简支梁压电振动能量收集器，由于简支梁横向振动占用限幅间距对于叠层是共享的，因此封装体积小，发电能量密度高。共用质量块的叠层阵列压电输出相位一致，可直接串联或并联，从而实现不同的输出电压，适应接口电路输入电压范围。
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