一种MEMS热电堆结构及其制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN120018756A

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202510150730.8

    申请日:2025-02-11

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS热电堆结构及其制备方法,属于微电子机械系统技术领域,MEMS热电堆结构,其特征在于,包括一次设置的衬底、支撑膜Ⅰ和支撑膜Ⅱ,支撑膜Ⅱ上设置有电极和若干从热端向冷端以辐射状布置的热偶条组;热偶条组为曲线形,包括自下至上依次设置的第二热偶条、绝缘夹层和第一热偶条;支撑膜Ⅱ、电极和热偶条组成的结构上覆盖有红外吸收层及钝化层;第二热偶条和电极的材料相同;第二热偶条末端向下延伸与第一热偶条末端连接形成热电堆的冷端,首端通过与相邻的第一热偶条首端连接形成热电堆的热端;一组热偶条的第一热偶条和第二热偶条的末端分别于两个电极连接。提高了MEMS热电堆温度传感器的响应率、线性度、稳定性等传感性能。

    拱形发电装置及无线传感装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116742991A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310666656.6

    申请日:2023-06-06

    Abstract: 本申请公开了一种拱形发电装置及无线传感装置,属于发电技术领域。包括:固定台、第一拱形发电单元以及第二拱形发电单元;第一拱形发电单元包括第一拱形弹性件以及第一压电发电件,第二拱形发电单元包括第二拱形弹性件以及第二压电发电件,固定台具有安装面,第一拱形弹性件安装于以及第二拱形弹性件均安装于安装面,且第一拱形弹性件沿背离安装面的弯曲,第二拱形弹性件沿背离安装面的方向弯曲,第一拱形弹性件的第一端与第二拱形弹性件的第一端抵接,第一拱形弹性件的第一端与第二拱形弹性件的第一端均相对于安装面可活动,第一压电发电件安装于第一拱形弹性件朝向安装面的表面,第二压电发电件安装于第二拱形弹性件朝向安装面的表面。

    一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法

    公开(公告)号:CN115774122A

    公开(公告)日:2023-03-10

    申请号:CN202211485553.1

    申请日:2022-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法,敏感梁上均具有力敏电阻;固定框架的内框形状为矩形,所有振动单元相同并依次设置于固定框架内框的四角位置;质量块上设有供支撑梁活动的凹槽,支撑梁的一端与固定框架内框的一拐角固定连接,支撑梁的另一端与质量块上的凹槽的底部连接;第一、二振动单元的质量块相邻侧面两端之间设置敏感梁;第三、四振动单元的质量块相邻的侧面两端之间设置敏感梁;所有敏感梁相互平行。本发明可以产生敏感梁纯轴向拉伸或者压缩的效果;另外一方面,这样可以显著地降低了小尺寸下芯片可动结构的整体刚度,使得小尺寸下,敏感芯体仍具有较好的灵敏度及高带宽特性。

    一种压电-电磁复合微型环境振动能量收集器

    公开(公告)号:CN105141177A

    公开(公告)日:2015-12-09

    申请号:CN201510390833.8

    申请日:2015-07-06

    Inventor: 杨川 夏勇 孙文涛

    Abstract: 本发明公开了一种压电-电磁复合微型环境振动能量收集器,包括上盖板,上微平面线圈,振动感测敏感芯片,惯性质量块,阵列悬臂梁,压电薄膜,隔热共振增强框架,下盖板,下微平面线圈,磁屏蔽底座,磁屏蔽外壳,上盖板、下盖板将振动感测敏感芯片夹在其中,且上盖板、下盖板的一面上刻蚀有结构活动浅槽;上微平面线圈和下微平面线圈分别是位于上盖板和下盖板的浅槽中心的平面微小线圈;本发明是一种高效、宽频微型振动能量收集器,对于目前特殊工作环境下所需求的无源无线物联网微传感器网络的建设具有极其重要的积极意义。

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