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公开(公告)号：CN110193262B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910424937.4
申请日：2019-05-21
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种基于超声技术的空气净化装置，涉及空气净化领域，包括超声雾化除尘模块、陶瓷加热模块、过滤模块、超声振动气体净化模块、水箱、水循环模块、风机、外部壳体以及驱动电路模块。工作时，空气从底部侧面进入，向上首先经过雾化除尘模块，由水箱供水；再经过陶瓷加热区域，被加热干燥；接着依次经过过滤模块、超声振动净化模块；最后经顶部风机排出。其中超声雾化除尘模块中经沉降凝结的含颗粒物的水流入下方水槽，通过过滤层后经水泵从上水管回流入水箱。本发明可用于室内室外空气净化，功能全面，既能去除颗粒物，又可根据需要净化气体污染物；单元化模块结构紧凑；可与路灯、隔离护栏等结合，填补净化系统在市政设施领域的空白。
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公开(公告)号：CN114993520B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202210609327.3
申请日：2022-05-31
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种表压式谐振压力传感器及制备方法，提出了一种适合用于表压式压力测量的谐振式压力传感器设计结构，该传感器采用静电激励电容检测，包括压力膜片层、谐振器层以及真空封装层，压力膜片层主要用于承受载荷压力，当承受载荷压力时，压力膜片产生变形，从而带动压力膜片上的锚点产生轴向位移，进而使谐振梁产生轴向内应力，谐振器层主要将谐振梁轴向应力转化为谐振子谐振频率的变化，从而表征压力的大小，封装层将同时作为结构变形层以及真空封装层，用于形成高真空密封空腔。
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公开(公告)号：CN113551812B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202110462429.2
申请日：2021-04-27
申请人： 陕西省计量科学研究院 , 西安交通大学
发明人： 王鸿雁 , 李学琛 , 关卫军 , 吴永顺 , 魏于昆 , 山涛 , 王爱华 , 付磊 , 赵立波 , 韩香广 , 皇咪咪 , 徐廷中 , 杨萍 , 王李 , 陈翠兰 , 罗国希 , 王永录 , 蒋庄德
摘要： 本发明公开了一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法，感器芯片包括承压薄膜、硅基底、压敏电阻条、金属引线和防过载玻璃基底等。具体结构为在硅基底背面刻蚀形成承压薄膜以及半岛与岛屿结构，在硅基底正面刻蚀四块钻石形区域形成十字梁。芯片背腔相邻的岛屿与岛屿之间、岛屿与半岛之间的间隙所对应的芯片正面形成应力集中区域，四个压敏电阻条布置在该应力集中区域上，利用重掺杂欧姆接触区、金属引线以及金属焊盘将压敏电阻条连接形成惠斯通电桥，十字梁的存在可以进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果。
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公开(公告)号：CN115774122A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211485553.1
申请日：2022-11-24
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法，敏感梁上均具有力敏电阻；固定框架的内框形状为矩形，所有振动单元相同并依次设置于固定框架内框的四角位置；质量块上设有供支撑梁活动的凹槽，支撑梁的一端与固定框架内框的一拐角固定连接，支撑梁的另一端与质量块上的凹槽的底部连接；第一、二振动单元的质量块相邻侧面两端之间设置敏感梁；第三、四振动单元的质量块相邻的侧面两端之间设置敏感梁；所有敏感梁相互平行。本发明可以产生敏感梁纯轴向拉伸或者压缩的效果；另外一方面，这样可以显著地降低了小尺寸下芯片可动结构的整体刚度，使得小尺寸下，敏感芯体仍具有较好的灵敏度及高带宽特性。
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公开(公告)号：CN115770720A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211527622.0
申请日：2022-11-30
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种具有隔离凹槽低应力双压电层结构的PMUT及其工作和制备方法，PMUT自上而下包括圆形多层复合薄膜、绝缘层、上基底、键合层和下基底。多层复合薄膜包括上压电层、下压电层、上电极层、中电极层和下电极层多层复合薄膜上具有同心的环形凹槽，并覆盖整个空腔的区域。本发明在有效降低PMUT单元间串扰、减小薄膜应力的同时实现薄膜内压电驱动弯矩的大幅增加，进而实现超声发射和接收性能提升，以满足小管径流量检测应用对低功耗、高性能超声换能器的迫切需求。
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公开(公告)号：CN111498795B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202010479167.6
申请日：2020-05-29
申请人： 西安交通大学 , 陕西省计量科学研究院
摘要： 本发明公开了一种隔离槽阵列结构的压力传感器芯片及其制备方法，属于MEMS压阻式压力传感器领域，传感器芯片由浮雕薄膜结构层和背腔结构层组成，浮雕薄膜结构层分为浮雕层和薄膜层，浮雕层由位于薄膜内部带圆角的十字形结构组成，浮雕结构与薄膜边缘相接处布置有压敏电阻条，压敏电阻条的有效长度沿着压阻系数最大的晶向，且每个压敏电阻条内部间隙布置隔离槽阵列结构，使应力集中在制备压敏电阻条的位置上，提高了传感器的灵敏度。金属引线将四个压敏电阻条两两连接形成两个电阻，且将压敏电阻条与布置在基底上的四个焊盘连接，并与外置相同阻值的两个电阻连接组成惠斯通全桥实现电信号的输入输出。背腔是C型腔结构，制作工艺简单。
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公开(公告)号：CN114527166A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210045522.8
申请日：2022-01-15
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： G01N27/12 , G01N33/00 , C01G9/02 , C01B32/184 , B82Y40/00
摘要： 本发明公开了一种柔性二氧化氮气体传感器及其制备方法，通过将柔性基体超声处理，去除表面灰尘等杂质，然后将超声处理后的柔性基体在还原氧化石墨烯溶液中充分浸泡，自然干燥后形成附着还原氧化石墨层的传感器，利用柔性基体结构在还原氧化石墨溶液中充分浸泡，确保还原氧化石墨充分附着在柔性基体表面，避免脱落，然后在氧化锌量子点溶液中充分浸泡得到柔性二氧化氮气体传感器，还原氧化石墨层和氧化锌量子点层依次附着在柔性本体表面，在柔性本体弯曲折叠时，能够有效避免附着的RGO薄膜的脱落，有效提高NO2气体的传感性能。
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公开(公告)号：CN113746370A
公开(公告)日：2021-12-03
申请号：CN202110998554.5
申请日：2021-08-27
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种超低频多方向压电振动能量收集器及能量收集方法，能量收集器包括外壳、质量球和若干压电悬臂梁，若干压电悬臂梁的固支端与外壳侧壁连接，若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，若干压电悬臂梁的自由端向外壳的中心延伸，质量球设置于外壳内并位于若干压电悬臂梁的上方，所述质量能够在所述若干压电悬臂梁形成的支撑面上自由滚动。本发明若干压电悬臂梁沿外壳的不同方位设置，因此能够在不同方位下实现能量收集；采用的质量球和压电悬臂梁的结构，使得本发明在超低频条件下实现能量的收集，适用于可穿戴设备自供电。
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公开(公告)号：CN113551812A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110462429.2
申请日：2021-04-27
申请人： 陕西省计量科学研究院 , 西安交通大学
发明人： 王鸿雁 , 李学琛 , 关卫军 , 吴永顺 , 魏于昆 , 山涛 , 王爱华 , 付磊 , 赵立波 , 韩香广 , 皇咪咪 , 徐廷中 , 杨萍 , 王李 , 陈翠兰 , 罗国希 , 王永录 , 蒋庄德
摘要： 本发明公开了一种十字梁膜应力集中微压传感器芯片及其制备方法，感器芯片包括承压薄膜、硅基底、压敏电阻条、金属引线和防过载玻璃基底等。具体结构为在硅基底背面刻蚀形成承压薄膜以及半岛与岛屿结构，在硅基底正面刻蚀四块钻石形区域形成十字梁。芯片背腔相邻的岛屿与岛屿之间、岛屿与半岛之间的间隙所对应的芯片正面形成应力集中区域，四个压敏电阻条布置在该应力集中区域上，利用重掺杂欧姆接触区、金属引线以及金属焊盘将压敏电阻条连接形成惠斯通电桥，十字梁的存在可以进一步提高压敏电阻条处的应力集中效果。
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公开(公告)号：CN112577641B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202011140341.0
申请日：2020-10-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种基于电磁激励电磁检测的硅微谐振式表压传感器芯片，包括谐振器、气压敏感膜和检测压力敏感膜。加载压力时，气压敏感膜和检测压力敏感膜受压产生变形，气压通过气压敏感膜和检测压力敏感膜在谐振器两端产生的拉应力和压应力平衡，使得传感器得以测量到表压。气压敏感膜与多晶硅层上表面通过键合形成整体并为谐振器所在空腔提供了真空环境，提高了传感器的品质因子。激振梁、拾振梁和连接梁上沉积有氧化硅层作为绝缘层，激振梁、拾振梁上的氧化硅层上沉积有多晶硅层作为电信号传导层。
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