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公开(公告)号：CN118896721A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202410510055.0
申请日：2024-04-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种膜传感器(500)，其包括：压力传感器(180)，该压力传感器构造用于，根据能以压力加载的膜(140)的偏转产生第一传感器信号(1100)；加速度传感器(200)，该加速度传感器构造用于，根据作用到MEMS功能结构(290)上的加速度产生第二传感器信号(1200)；和评估电路(600)，所述评估电路构造用于，根据第二传感器信号(1200)补偿第一传感器信号(110)与作用到所述膜(140)上的加速力(尤其是重力)的相关性。所述压力传感器(180)和所述加速度传感器(200)在z方向(1000)上上下堆叠。本发明还涉及一种用于借助于这类膜传感器(500)产生经补偿的传感器信号(1300)的方法。
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公开(公告)号：CN113120852A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110046944.2
申请日：2021-01-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于传感器或麦克风设备的微机械组件，其具有膜片载体结构、构造在膜片载体结构中并与膜片内侧邻接的空腔和分离沟道，膜片载体结构具有构造在膜片载体结构的表面上的膜片，分离沟道穿过膜片载体结构的表面地结构化并且延伸至空腔并完全包围膜片，分离沟道通过至少一种分离沟道封闭材料以介质密封的方式和/或以空气密封的方式被密封，至少一个蚀刻通道在所述膜片载体结构中与分离沟道分开地构造，其分别从其第一蚀刻通道区段延伸至其第二蚀刻通道区段，第一蚀刻通道区段通到所述空腔中，第二蚀刻通道区段分别通过至少构造在膜片载体结构的表面的外部部分面上的至少一个蚀刻通道封闭结构以介质密封和/或空气密封的方式密封。
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公开(公告)号：CN119497818A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202380052302.0
申请日：2023-05-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 根据本发明的微机械压力传感器具有第一膜类型的至少一个膜，借助于所述膜能够检测第一压力范围内的第一压力传感器参量。为了使膜能够弯曲，第一膜构造在尤其由半导体材料制成的衬底中/上的第一空腔上方。在该衬底中/上，第二膜类型的至少一个第二膜构造在第二空腔上方，借助该第二膜能够检测第二压力范围内的第二压力传感器参量。在此，两种膜类型构型为，使得其弯曲特性分别产生在不同压力范围内求取的压力传感器参量。在此设置，不同的压力范围能够部分重叠。本发明的核心在于，通过至少一个第一膜和至少一个第二膜在至少一个横向方向上的几何延展的不同构型引起不同膜类型的膜的不同弯曲特性。此外还设置，第一膜类型的膜下方的至少一个空腔和第二膜类型的膜下方的空腔借助压力补偿通道互相连接。
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公开(公告)号：CN110785375A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201880041909.8
申请日：2018-06-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00 , H01L21/768 , H01L23/00 , H01L23/532 , B81B7/00
Abstract: 本发明建立键合垫层系统(1)、气体传感器和用于耐高温的键合垫层系统(1)的制造方法。键合垫层系统(1)沉积在作为基底的半导体芯片、例如微机械半导体芯片(11)上，在该微机械半导体芯片中集成有由介电层(13、14)组成的至少一个悬置的介电膜片、铂印制导线(10)和由铂制成的加热件(15)。在此，首先进行钽层(6)的沉积，在该钽层上进行第一铂层(5)的沉积，在该第一铂层上进行氮化钽层(4)的沉积，在该氮化钽层上进行第二铂层(3)的沉积，并且在该第二铂层上进行金层(2)的沉积，其中，在金层(2)中构造用于与键合线(8a)连接的至少一个键合垫(8)。键合垫(8)基本上位于半导体芯片(11)上的接触孔(9)的区域中和/或位于该区域外部，在该区域中借助于环形接触部实现引导至加热件(15)的铂印制导线(10)的连接。
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公开(公告)号：CN105600736B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201510783965.7
申请日：2015-11-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A·朔伊尔勒 , G-N-C·乌尔希里
CPC classification number: G01P15/125 , B81B2203/0181 , G01P2015/0831
Abstract: 用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)，具有两个围绕扭转弹簧(10)支承的、关于该扭转弹簧(10)非对称地构造的摆杆臂(20，21)，其中，这些摆杆臂(20，21)具有第一穿孔(30)，这些摆杆臂(20，21)至少之一具有至少一个开口(32)，其中，第一穿孔(30)的直径构造为限定地小于所述开口(32)的直径，并且，在这些摆杆臂(20，21)至少之一中构造一个空腔(50)，用于将第一穿孔(30)与所述至少一个开口(32)连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104849493A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510224116.8
申请日：2015-02-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A·朔伊尔勒 , G-N-C·乌尔希里 , M·海茨 , A·奥尔托
Abstract: 一种用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)，所述摆杆装置：具有两个能够围绕扭转轴线(10)支承的、皿状构造的摆杆臂(20，21)，其中，所述摆杆装置(100)相对于所述扭转轴线(10)非对称地构造；对于每个摆杆臂(20，21)具有一个止挡区域，所述止挡区域具有至少一个第一止挡元件(30)，其中，在每一个摆杆臂(20，21)上所述止挡区域相对于所述摆杆装置(100)的传感区域(SB)限定地增高地构造。
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公开(公告)号：CN101903286B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN200880121253.7
申请日：2008-10-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00301 , B81B2207/095 , H01L21/76879 , H01L21/76898 , H01L24/11 , H01L2224/05568 , H01L2224/05573 , H01L2224/05644 , H01L2224/13025 , H01L2924/14 , H01L2924/1461 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明涉及一种用于制造传感器用的、尤其是机动车传感器用的、具有至少一个罩的罩形晶片(100)、尤其是封接玻璃罩形晶片(100)的方法，该方法包括以下步骤：制造穿过所述罩形晶片(100)的触点接触通孔(110)，并且在时间上接着用导电材料(51)填充所述触点接触通孔(110)。本方面还涉及一种用于制造具有根据本发明制成的罩形晶片(100)的传感器堆栈的方法。此外，本发明涉及一种具有根据本发明的通孔式电触点接触部的罩形晶片(100)、一种具有根据本发明的罩的传感器，以及包括根据本发明传感器的衬底的装置。
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公开(公告)号：CN107986228B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN201711011247.3
申请日：2017-10-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，其中，微机械构件包括衬底装置和罩装置，其中，在准备步骤中，使衬底装置和/或罩装置结构化，其中，在第一子步骤中，设定第一压力和/或第一化学组分，并且将衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境封闭的第一空穴，其中，在第一空穴中存在第一压力和/或包含第一化学组分，其中，在第二子步骤中，设定第二压力和/或第二化学组分，并且衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境并且相对于第一空穴封闭的第二空穴，其中，在第二空穴中存在第二压力和/或包含第二化学组分。
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公开(公告)号：CN115335318A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202180024557.7
申请日：2021-03-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： T·弗里德里希 , C·赫尔梅斯 , P·施莫尔林格鲁贝尔 , H·韦伯 , A·朔伊尔勒
Abstract: 一种用于制造微机械传感器(100)的方法，其具有以下步骤：将第一氧化物牺牲层(2)施加到衬底(1)上；通过在所述第一氧化物牺牲层(2)中的开口(x3)去除所述衬底(1)的材料；通过施加第二氧化物牺牲层(6)封闭在所述第一氧化物牺牲层(2)中的所述开口(x3)；在载体结构(3a，3b)上构造感测区域(20)，其中，所述感测区域(20)和所述载体结构(3a，3b)构造在所述氧化物牺牲层(2，6)上，并且所述感测区域(20)和/或所述载体结构(3a，3b)通过至少一个形成柔性结构(15)的附接区域(30)与所述衬底(1)连接；以及借助蚀刻工艺至少部分地去除在所述载体结构(3a，3b)和所述衬底(1)之间的氧化物牺牲层(2，6)。
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公开(公告)号：CN105600736A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201510783965.7
申请日：2015-11-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A·朔伊尔勒 , G-N-C·乌尔希里
CPC classification number: G01P15/125 , B81B2203/0181 , G01P2015/0831 , B81B5/00 , B81C1/00198 , G01P1/003
Abstract: 用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)，具有两个围绕扭转弹簧(10)支承的、关于该扭转弹簧(10)非对称地构造的摆杆臂(20，21)，其中，这些摆杆臂(20，21)具有第一穿孔(30)，这些摆杆臂(20，21)至少之一具有至少一个开口(32)，其中，第一穿孔(30)的直径构造为限定地小于所述开口(32)的直径，并且，在这些摆杆臂(20，21)至少之一中构造一个空腔(50)，用于将第一穿孔(30)与所述至少一个开口(32)连接。
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