公开(公告)号：CN104849493A

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201510224116.8

申请日：2015-02-15

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·朔伊尔勒 ,  G-N-C·乌尔希里 ,  M·海茨 ,  A·奥尔托

IPC: G01P15/08 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02

Abstract: 一种用于微机械Z传感器(200)的摆杆装置(100)，所述摆杆装置：具有两个能够围绕扭转轴线(10)支承的、皿状构造的摆杆臂(20，21)，其中，所述摆杆装置(100)相对于所述扭转轴线(10)非对称地构造；对于每个摆杆臂(20，21)具有一个止挡区域，所述止挡区域具有至少一个第一止挡元件(30)，其中，在每一个摆杆臂(20，21)上所述止挡区域相对于所述摆杆装置(100)的传感区域(SB)限定地增高地构造。

公开(公告)号：CN101563616B

公开(公告)日：2011-10-19

申请号：CN200780047165.2

申请日：2007-10-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  M·海茨 ,  F·本尼尼

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器，其具有至少一个可偏移地与基底(5)连接的地震振动质量块(1)、至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)，其中，所述至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和所述至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)被构造成具有平行于地震振动质量块(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形电极(6，11)，其中两个梳形电极(6，11)的薄片(8，13)在静止状态下部分重叠。

公开(公告)号：CN101563616A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780047165.2

申请日：2007-10-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·克拉森 ,  M·海茨 ,  F·本尼尼

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814

Abstract: 本发明涉及一种微机械电容式加速度传感器，其具有至少一个可偏移地与基底(5)连接的地震振动质量块(1)、至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)，其中，所述至少一个固定地与基底(5)连接的电极(11)和所述至少一个与地震振动质量块(1)连接的电极(6)被构造成具有平行于地震振动质量块(1)的偏移方向延伸的薄片(8，13)的梳形电极(6，11)，其中两个梳形电极(6，11)的薄片(8，13)在静止状态下部分重叠。