公开(公告)号：CN107986228B

公开(公告)日：2023-03-10

申请号：CN201711011247.3

申请日：2017-10-26

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： H·施塔尔 ,  A·朔伊尔勒 ,  H·施佩希特 ,  M·温克 ,  R·豪斯纳 ,  V·施米茨

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，其中，微机械构件包括衬底装置和罩装置，其中，在准备步骤中，使衬底装置和/或罩装置结构化，其中，在第一子步骤中，设定第一压力和/或第一化学组分，并且将衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境封闭的第一空穴，其中，在第一空穴中存在第一压力和/或包含第一化学组分，其中，在第二子步骤中，设定第二压力和/或第二化学组分，并且衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境并且相对于第一空穴封闭的第二空穴，其中，在第二空穴中存在第二压力和/或包含第二化学组分。

公开(公告)号：CN107986228A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201711011247.3

申请日：2017-10-26

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： H·施塔尔 ,  A·朔伊尔勒 ,  H·施佩希特 ,  M·温克 ,  R·豪斯纳 ,  V·施米茨

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C3/001 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00269 ,  B81C99/0035 ,  B81C1/00015 ,  B81C1/00023 ,  B81C1/0023

Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，其中，微机械构件包括衬底装置和罩装置，其中，在准备步骤中，使衬底装置和/或罩装置结构化，其中，在第一子步骤中，设定第一压力和/或第一化学组分，并且将衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境封闭的第一空穴，其中，在第一空穴中存在第一压力和/或包含第一化学组分，其中，在第二子步骤中，设定第二压力和/或第二化学组分，并且衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境并且相对于第一空穴封闭的第二空穴，其中，在第二空穴中存在第二压力和/或包含第二化学组分。