-
公开(公告)号：CN113227741B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN201980085042.0
申请日：2019-12-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器装置(1)，包括衬底(2)和边缘层(3)，所述边缘层布置在所述衬底(2)上并且在横向上包围在所述衬底(2)上面的内部区域(IB)；至少一个膜片(4)，所述膜片跨越所述内部区域(IB)并且构造在所述衬底(2)上面的被遮盖的腔(K)；至少一个支撑部(5)，所述支撑部在所述腔(K)内部布置在所述衬底(2)和所述膜片(4)之间并且所述膜片(4)固定在所述边缘层(3)和/或所述至少一个支撑部(5)上，其中，所述支撑部(5)将所述膜片(4)分隔成至少一个通过力作用(p)能运动的测量区域(MB)和至少一个通过所述力作用(p)不能运动的参考区域(RB)，其中，所述衬底(2)和所述膜片(4)在所述腔(K)内部包括在所述测量区域(MB)和参考区域(RB)中的面向彼此的电极(E1；E2)。
-
公开(公告)号：CN113120852A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110046944.2
申请日：2021-01-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于传感器或麦克风设备的微机械组件，其具有膜片载体结构、构造在膜片载体结构中并与膜片内侧邻接的空腔和分离沟道，膜片载体结构具有构造在膜片载体结构的表面上的膜片，分离沟道穿过膜片载体结构的表面地结构化并且延伸至空腔并完全包围膜片，分离沟道通过至少一种分离沟道封闭材料以介质密封的方式和/或以空气密封的方式被密封，至少一个蚀刻通道在所述膜片载体结构中与分离沟道分开地构造，其分别从其第一蚀刻通道区段延伸至其第二蚀刻通道区段，第一蚀刻通道区段通到所述空腔中，第二蚀刻通道区段分别通过至少构造在膜片载体结构的表面的外部部分面上的至少一个蚀刻通道封闭结构以介质密封和/或空气密封的方式密封。
-
公开(公告)号：CN113661384B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202080028172.3
申请日：2020-03-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明实现一种传感器装置(1)，包括：衬底(2)；在衬底上的至少一个电气绝缘层(30、31)；边缘结构(RS)，该边缘结构设置在该至少一个电气绝缘层(30、31)上且在衬底(2)之上限制内部区域(IB)；隔膜(3)，该隔膜锚定在边缘结构(RS)上且至少部分跨越内部区域(IB)，其中隔膜(3)在内部区域(IB)中包括通过压力(p)可动的区域(BB)；第一中间载体(ZT1)，该第一中间载体在可动的区域(BB)中在隔膜(3)之下延伸且与隔膜(3)通过接触部位(KS)电气和机械连接且包括至少一个间隔元件(3a)，该间隔元件由中间载体(ZT1)朝衬底(2)的方向延伸；以及在该至少一个电气绝缘层(30、31)上的第一对应电极(E1)，其中该第一对应电极(E1)在中间载体(ZT1)之下延伸，且其中在中间载体(ZT1)与第一对应电极(E1)之间的第一间隔(d12)通过到可动的区域(BB)上的压力(p)是可改变的；且其中第一对应电极(E1)在中间载体(ZT1)之下包括至少一个电气隔离的区域(EB)，该电气隔离的区域设置在间隔元件(3a)之下且具有间隔元件(3a)的至少一个横向扩展。
-
公开(公告)号：CN113227741A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085042.0
申请日：2019-12-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器装置(1)，包括衬底(2)和边缘层(3)，所述边缘层布置在所述衬底(2)上并且在横向上包围在所述衬底(2)上面的内部区域(IB)；至少一个膜片(4)，所述膜片跨越所述内部区域(IB)并且构造在所述衬底(2)上面的被遮盖的腔(K)；至少一个支撑部(5)，所述支撑部在所述腔(K)内部布置在所述衬底(2)和所述膜片(4)之间并且所述膜片(4)固定在所述边缘层(3)和/或所述至少一个支撑部(5)上，其中，所述支撑部(5)将所述膜片(4)分隔成至少一个通过力作用(p)能运动的测量区域(MB)和至少一个通过所述力作用(p)不能运动的参考区域(RB)，其中，所述衬底(2)和所述膜片(4)在所述腔(K)内部包括在所述测量区域(MB)和参考区域(RB)中的面向彼此的电极(E1；E2)。
-
公开(公告)号：CN113226977B
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN201980085041.6
申请日：2019-12-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种具有膜片的EMS传感器，其中，所述膜片的基面借助于环绕的壁结构限界，其中，所述基面具有至少两个部分区域，其中，所述部分区域中的至少一个部分区域能偏移地布置，其中，所述至少两个部分区域借助于至少一个分隔结构相对彼此分开或者通过该分隔结构限界，其中，所述分隔结构具有用于使流体通过的至少一个流体通道。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113227742A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085192.1
申请日：2019-12-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有膜片，所述膜片借助框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的自支承区域(20)跨越所包围的部分表面(16)，所述微机械构件还具有加固结构(22)，所述加固结构构造在所述自支承区域(20)上，其中，能够定义平行于所包围的部分表面(16)取向的第一空间方向(x)，在所述第一空间方向上，所述自支承区域(20)具有最小延伸(I1)，并且能够定义平行于所包围的部分表面(16)且垂直于所述第一空间方向(x)取向的第二空间方向(y)，在所述第二空间方向上，所述自支承区域(20)具有更大的延伸(I2)，其中，所述加固结构(22)以在所述第一空间方向(x)上相对于所述框架结构(12)隔开第一间距(a1)且在所述第二空间方向(y)上隔开第二间距(a2)的形式存在，其中，所述第二间距(a2)大于所述第一间距(a1)。
-
公开(公告)号：CN113195402A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980085028.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种用于封闭MEMS元件中的进口部的方法，该方法包括下述步骤：‑提供具有功能区域的功能层，‑借助于在功能层的功能区域之外的第一进口部在功能层的功能区域的下方制造空腔，‑封闭第一进口部，‑在功能层的功能区域之外制造通向空腔的第二进口部，‑熔化在第二进口部的区域中的封闭材料，和‑冷却已熔化的封闭材料，用以封闭第二进口部。
-
公开(公告)号：CN107449813A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710292815.5
申请日：2017-04-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01N29/245 , G01N29/02 , G01N2291/0215 , G01N2291/0256 , G01N2291/02809 , G01N27/26 , G01N27/30
Abstract: 本发明涉及一种用于感测在测量气体空间(4)中的测量气体的至少一个特性的传感器元件，所述传感器元件具有至少一个传导氧离子的膜片(20)。所述至少一个膜片(20)沿层厚度方向(22)至少区段式地(S1.1、S1.2、S1.3)具有至少一个双层体(30)。所述双层体(30)由第一层(31)和第二层(32)构成，该第一层主要包含第一材料(41)，该第二层主要包含不同于所述第一材料(41)的第二材料(42)。
-
公开(公告)号：CN113195402B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN201980085028.0
申请日：2019-12-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种用于封闭MEMS元件中的进口部的方法，该方法包括下述步骤：‑提供具有功能区域的功能层，‑借助于在功能层的功能区域之外的第一进口部在功能层的功能区域的下方制造空腔，‑封闭第一进口部，‑在功能层的功能区域之外制造通向空腔的第二进口部，‑熔化在第二进口部的区域中的封闭材料，和‑冷却已熔化的封闭材料，用以封闭第二进口部。
-
公开(公告)号：CN111351608B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201911323229.8
申请日：2019-12-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，具有：衬底(10)；框围部分表面(16)的框架结构(12)；膜片(18)，其借助框架结构(12)如此展开，使得膜片(18)的无支承的区域(20)跨越所框围的部分表面(16)，其中存在参考压力(p0)的内部容积(22)气密密封，通过在无支承的区域(20)的外侧(20a)上的物理压力(p)不等于参考压力(p0)，膜片(18)的无支承的区域(20)可变形；测量电极(24)，其布置在所框围的部分表面(16)上，除所述测量电极(24)外参考测量电极(26)布置在所框围的部分表面(16)上，参考测量电极与测量电极(24)电隔离。本发明还涉及一种用于制造电容式压力传感器设备的微机械构件的制造方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.024 seconds)
