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公开(公告)号：CN113227742B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980085192.1
申请日：2019-12-18
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有膜片，所述膜片借助框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的自支承区域(20)跨越所包围的部分表面(16)，所述微机械构件还具有加固结构(22)，所述加固结构构造在所述自支承区域(20)上，其中，能够定义平行于所包围的部分表面(16)取向的第一空间方向(x)，在所述第一空间方向上，所述自支承区域(20)具有最小延伸(I1)，并且能够定义平行于所包围的部分表面(16)且垂直于所述第一空间方向(x)取向的第二空间方向(y)，在所述第二空间方向上，所述自支承区域(20)具有更大的延伸(I2)，其中，所述加固结构(22)以在所述第一空间方向(x)上相对于所述框架结构(12)隔开第一间距(a1)且在所述第二空间方向(y)上隔开第二间距(a2)的形式存在，其中，所述第二间距(a2)大于所述第一间距(a1)。
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公开(公告)号：CN113226976B
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN201980085003.0
申请日：2019-12-13
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。
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公开(公告)号：CN113226976A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085003.0
申请日：2019-12-13
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种微机械构件，其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a)，其中，所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36)，其中，针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38)，关于所述对称平面，至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构(20a)的第二边缘元件结构(34)是镜像对称的，其中，在所述支撑结构(20a)中的每个中，其第一边缘元件结构(32)的垂直于其对称平面(38)的第一最大延展(a1)及其第二边缘元件结构(34)的垂直于其对称平面(38)的第二最大延展(a2)大于其至少一个中间元件结构(36)的垂直于其对称平面(38)的至少一个最大延展(a3)。
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公开(公告)号：CN113226979B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201980085000.7
申请日：2019-12-18
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出一种传感器装置(1)，所述传感器装置包括至少一个衬底(2)；边缘区域(RB，RS)，所述边缘区域布置在所述衬底(2)上并且在横向上限界所述衬底(2)上方的内部区域(IB)；膜片(7)，所述膜片锚定在所述边缘结构(RS)上并且至少部分地跨越所述内部区域(IB)，其中，所述膜片(7)在所述内部区域(IB)中包括至少一个由于压力(p)而可运动的区域(BB)，所述可运动的区域封闭所述膜片(7)与所述衬底(2)之间的腔(K)；第一中间载体(ZT1)，所述至少一个第一中间载体在所述膜片(7)下方在所述可运动的区域(BB)中延伸，并且与所述膜片(7)连接，并且具有至少一个沟槽(G)。
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公开(公告)号：CN108463431B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201680078844.5
申请日：2016-11-30
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明实现一种用于制造多层MEMS构件的方法和一种相应的多层MEMS构件。所述方法包括以下步骤：提供多层衬底(12、3；1a、2、3)，该多层衬底具有单晶载体层(1；1a)、带有正面(V)和背面(R)的单晶功能层(3)和位于背面(R)与载体层(1)之间的键合层(2)；使第一多晶层(4；4a；4b)在所述单晶功能层(3)的所述正面(V)上生长；去除所述单晶载体层(1；1a)；并且使第二多晶层(40；40a；40b)在所述单晶功能层(3)的所述背面(R)上生长。
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公开(公告)号：CN113661384A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202080028172.3
申请日：2020-03-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明实现一种传感器装置(1)，包括：衬底(2)；在衬底上的至少一个电气绝缘层(30、31)；边缘结构(RS)，该边缘结构设置在该至少一个电气绝缘层(30、31)上且在衬底(2)之上限制内部区域(IB)；隔膜(3)，该隔膜锚定在边缘结构(RS)上且至少部分跨越内部区域(IB)，其中隔膜(3)在内部区域(IB)中包括通过压力(p)可动的区域(BB)；第一中间载体(ZT1)，该第一中间载体在可动的区域(BB)中在隔膜(3)之下延伸且与隔膜(3)通过接触部位(KS)电气和机械连接且包括至少一个间隔元件(3a)，该间隔元件由中间载体(ZT1)朝衬底(2)的方向延伸；以及在该至少一个电气绝缘层(30、31)上的第一对应电极(E1)，其中该第一对应电极(E1)在中间载体(ZT1)之下延伸，且其中在中间载体(ZT1)与第一对应电极(E1)之间的第一间隔(d12)通过到可动的区域(BB)上的压力(p)是可改变的；且其中第一对应电极(E1)在中间载体(ZT1)之下包括至少一个电气隔离的区域(EB)，该电气隔离的区域设置在间隔元件(3a)之下且具有间隔元件(3a)的至少一个横向扩展。
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公开(公告)号：CN108463431A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201680078844.5
申请日：2016-11-30
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/0069 , B81C2201/0191 , B81C2201/0195
摘要： 本发明实现一种用于制造多层MEMS构件的方法和一种相应的多层MEMS构件。所述方法包括以下步骤：提供多层衬底(12、3；1a、2、3)，该多层衬底具有单晶载体层(1；1a)、带有正面(V)和背面(R)的单晶功能层(3)和位于背面(R)与载体层(1)之间的键合层(2)；使第一多晶层(4；4a；4b)在所述单晶功能层(3)的所述正面(V)上生长；去除所述单晶载体层(1；1a)；并且使第二多晶层(40；40a；40b)在所述单晶功能层(3)的所述背面(R)上生长。
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公开(公告)号：CN115428158A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180029849.X
申请日：2021-03-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H01L27/20 , H01L41/311 , B81B7/02
摘要： 提出一种用于制造微电子设备(10)、尤其是MEMS芯片设备的方法，所述微电子设备具有至少一个载体衬底(12)，其中，在至少一个方法步骤中，将由金属导体制成的至少一个电动力学致动器(14)施加到所述载体衬底(12)上，所述金属导体至少大部分由铜构造，其中，在至少一个另外的方法步骤中，将至少一个压电致动器(16)施加到所述载体衬底(12)上。
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公开(公告)号：CN113227742A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085192.1
申请日：2019-12-18
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，所述微机械构件具有膜片，所述膜片借助框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的自支承区域(20)跨越所包围的部分表面(16)，所述微机械构件还具有加固结构(22)，所述加固结构构造在所述自支承区域(20)上，其中，能够定义平行于所包围的部分表面(16)取向的第一空间方向(x)，在所述第一空间方向上，所述自支承区域(20)具有最小延伸(I1)，并且能够定义平行于所包围的部分表面(16)且垂直于所述第一空间方向(x)取向的第二空间方向(y)，在所述第二空间方向上，所述自支承区域(20)具有更大的延伸(I2)，其中，所述加固结构(22)以在所述第一空间方向(x)上相对于所述框架结构(12)隔开第一间距(a1)且在所述第二空间方向(y)上隔开第二间距(a2)的形式存在，其中，所述第二间距(a2)大于所述第一间距(a1)。
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公开(公告)号：CN113195402A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980085028.0
申请日：2019-12-13
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明提供一种用于封闭MEMS元件中的进口部的方法，该方法包括下述步骤：‑提供具有功能区域的功能层，‑借助于在功能层的功能区域之外的第一进口部在功能层的功能区域的下方制造空腔，‑封闭第一进口部，‑在功能层的功能区域之外制造通向空腔的第二进口部，‑熔化在第二进口部的区域中的封闭材料，和‑冷却已熔化的封闭材料，用以封闭第二进口部。
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