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    振动器件
    1.
    发明公开
    振动器件 审中-实审

    公开(公告)号：CN116527007A

    公开(公告)日：2023-08-01

    申请号：CN202310674085.0

    申请日：2020-08-27

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 押尾政宏 ,  山口启一 ,  小仓诚一郎 ,  西泽龙太

    IPC: H03H9/10 ,  H03H9/02

    Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。

    振动片、振子、物理量传感器以及电子设备
    4.
    发明公开
    振动片、振子、物理量传感器以及电子设备 失效

    公开(公告)号：CN102121826A

    公开(公告)日：2011-07-13

    申请号：CN201010590043.1

    申请日：2010-12-15

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 押尾政宏

    IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04

    CPC classification number: G01C19/5642

    Abstract: 振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。本发明的目的是提供一种具有进行扭转振动的振动片的高精度的物理量传感器。作为解决手段，振动片具有：第1驱动梁及第2驱动梁，其以扭转振动模式振动，且相互并列地在X轴方向上延伸；支撑部，其结合第1驱动梁及第2驱动梁的一端彼此及另一端彼此；以及第1检测臂及第2检测臂，其在相对于X轴方向垂直的Y轴方向上，分别从第1驱动梁及第2驱动梁延伸，在驱动模式中，第1驱动梁及第2驱动梁在相反的方向上扭转振动，第1检测臂及第2检测臂在Z轴方向上振动，并且，第1检测臂及第2检测臂在相同的方向上振动，在检测模式中，在绕Y轴方向施加了角速度时，第1检测臂及第2检测臂在X轴方向上振动。

    振动元件、振子以及电子设备
    5.
    发明公开
    振动元件、振子以及电子设备 无效

    公开(公告)号：CN102118142A

    公开(公告)日：2011-07-06

    申请号：CN201010601789.8

    申请日：2010-12-22

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 押尾政宏

    IPC: H03H9/15

    CPC classification number: G01C19/5762 ,  G01C19/5747

    Abstract: 本发明提供小型且振动泄漏少的振动元件、振子以及电子设备。振动元件(100)具有：第1支承部(20a)和第2支承部(20b)；第1振动臂(10a)，其一端与第1支承部(20a)连接，且沿着Y轴延伸；第2振动臂(10b)，其一端与第2支承部(20b)连接，且沿着Y轴延伸；摆动体(30)，其与第1振动臂(10a)和第2振动臂(10b)的另一端连接，且配置在第1振动臂(10a)和第2振动臂(10b)之间；以及检测臂(40a、40b)，其从具有开口部(30b、30c)的摆动体(30)的开口部(30b、30c)的内壁(30a)起，沿着与Y轴垂直的X轴延伸。

    复合传感器、电子设备
    6.
    发明公开
    复合传感器、电子设备 失效

    公开(公告)号：CN101806812A

    公开(公告)日：2010-08-18

    申请号：CN201010117435.6

    申请日：2010-02-20

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 押尾政宏

    IPC: G01P15/125 ,  G01P9/04

    CPC classification number: G01P1/023 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00293 ,  G01C19/56 ,  G01P2015/0814

    Abstract: 本发明提供一种能够发挥各传感器元件的特性且抑制长期的特性变动的小型的复合传感器及电子设备。所述复合传感器在封装件(30)形成有压力高的空间(90)与压力低的空间(80)，在压力高的空间(90)配置有加速度传感元件(40)，因此，获得低的Q值，在压力低的空间(80)配置有振动型角速度传感器元件(50)、(60)，因此，获得高的Q值，从而能够充分发挥加速度传感元件(40)及振动型角速度传感器元件(50)、(60)的特性。

    物理量传感器、电子设备及移动体
    8.
    发明公开
    物理量传感器、电子设备及移动体 有权

    公开(公告)号：CN104075737A

    公开(公告)日：2014-10-01

    申请号：CN201410116312.9

    申请日：2014-03-26

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 进藤健彦 ,  押尾政宏

    IPC: G01D5/14

    CPC classification number: G01P3/14 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/08 ,  G01P15/097

    Abstract: 本发明提供一种通过使传感器元件的过驱动能够实施从而可缩短老化试验的时间的物理量传感器、以及使用了该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器（1）包括：传感器元件（20），其对预定的物理量进行检测；驱动电路（111），其生成传感器元件（20）的驱动信号；AGC电路（112），其基于传感器元件（20）的输出信号，而将驱动信号控制为与基准电压相对应的恒定电平，该基准电压是可变的。

    信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置
    9.
    发明公开
    信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置 有权

    公开(公告)号：CN102650522A

    公开(公告)日：2012-08-29

    申请号：CN201210044310.4

    申请日：2012-02-23

    Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  精工恩琵希株式会社

    Inventor： 柳泽良直 ,  押尾政宏 ,  菊池尊行 ,  西田稔洋 ,  高桥正行

    IPC: G01C19/5776

    CPC classification number: G01C19/5649 ,  G01C19/56

    Abstract: 本发明提供信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备，其既能抑制电路面积的增加，又能实现比以往低的噪声。I/V转换电路(电流电压转换部)将振子的振荡电流转换为电压。RC滤波器(相位移位部)对I/V转换电路的输出信号进行相位移位。全波整流电路(驱动振幅控制部的一部分)对相位移位后的信号进行二值化，生成切换控制信号。比较器(参照信号生成部)根据I/V转换电路的输出信号，生成同步检波用的参照信号。异或电路(时钟信号生成部)根据参照信号与切换控制信号的相位差，生成频率是驱动信号的频率的2倍的开关电容滤波器用的时钟信号。

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