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公开(公告)号:CN102650522B
公开(公告)日:2014-12-17
申请号:CN201210044310.4
申请日:2012-02-23
IPC: G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5649 , G01C19/56
Abstract: 本发明提供信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,其既能抑制电路面积的增加,又能实现比以往低的噪声。I/V转换电路(电流电压转换部)将振子的振荡电流转换为电压。RC滤波器(相位移位部)对I/V转换电路的输出信号进行相位移位。全波整流电路(驱动振幅控制部的一部分)对相位移位后的信号进行二值化,生成切换控制信号。比较器(参照信号生成部)根据I/V转换电路的输出信号,生成同步检波用的参照信号。异或电路(时钟信号生成部)根据参照信号与切换控制信号的相位差,生成频率是驱动信号的频率的2倍的开关电容滤波器用的时钟信号。
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公开(公告)号:CN102650522A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201210044310.4
申请日:2012-02-23
IPC: G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5649 , G01C19/56
Abstract: 本发明提供信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,其既能抑制电路面积的增加,又能实现比以往低的噪声。I/V转换电路(电流电压转换部)将振子的振荡电流转换为电压。RC滤波器(相位移位部)对I/V转换电路的输出信号进行相位移位。全波整流电路(驱动振幅控制部的一部分)对相位移位后的信号进行二值化,生成切换控制信号。比较器(参照信号生成部)根据I/V转换电路的输出信号,生成同步检波用的参照信号。异或电路(时钟信号生成部)根据参照信号与切换控制信号的相位差,生成频率是驱动信号的频率的2倍的开关电容滤波器用的时钟信号。
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公开(公告)号:CN102650520B
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201210042908.X
申请日:2012-02-23
IPC: G01C19/567
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5726
Abstract: 本发明提供驱动电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,既能缩短振子进行稳定振荡所需的时间,又能维持稳定振荡。比较器(驱动信号生成部)根据由I/V转换电路(电流电压转换部)将经由第1信号线输入的振子的振荡电流转换为电压的信号生成驱动信号,经由第2信号线提供给振子。振荡检测电路(振荡检测部)检测振子开始振荡后振荡电流是否达到了预定值。启动振荡电路(启动振荡部)辅助振子的振荡动作,直到振荡电流达到预定值为止。开关在振荡电流达到预定值之前将电容器从第2信号线断开,当振荡电流达到预定值之后将电容器连接到第2信号线。
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公开(公告)号:CN102650521A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201210043924.0
申请日:2012-02-24
IPC: G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5776 , H03H9/2468
Abstract: 本发明提供一种检测电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,能够实现比以往低的噪声。同步检波电路(326)(同步检波部)对包含振子(100)的检测信号(32、34)的信号(放大器324的输出信号)进行同步检波。开关电容滤波器(SCF)电路(330)对由同步检波电路(326)进行同步检波后的信号(可变增益放大器328的输出信号)进行滤波处理。输出缓冲器(332)对由SCF电路(330)进行滤波处理后的信号进行缓冲并输出到外部。SCF电路(330)的增益大于1。
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公开(公告)号:CN102650520A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201210042908.X
申请日:2012-02-23
IPC: G01C19/567
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5726
Abstract: 本发明提供驱动电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,既能缩短振子进行稳定振荡所需的时间,又能维持稳定振荡。比较器(驱动信号生成部)根据由I/V转换电路(电流电压转换部)将经由第1信号线输入的振子的振荡电流转换为电压的信号生成驱动信号,经由第2信号线提供给振子。振荡检测电路(振荡检测部)检测振子开始振荡后振荡电流是否达到了预定值。启动振荡电路(启动振荡部)辅助振子的振荡动作,直到振荡电流达到预定值为止。开关在振荡电流达到预定值之前将电容器从第2信号线断开,当振荡电流达到预定值之后将电容器连接到第2信号线。
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公开(公告)号:CN116527007A
公开(公告)日:2023-08-01
申请号:CN202310674085.0
申请日:2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件,该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有:振动元件,其具有振动基板和电极,该振动基板具有振动臂,该电极配置于振动基板;基体;支承基板,其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部,该支承基板相对于基体支承振动元件;布线图案,其配置于支承基板,与振动元件电连接;以及缓冲部件,其配置于支承基板的布线图案上,硬度比支承基板低。此外,缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧,在俯视支承基板时,该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号:CN110071701B
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN201910052463.5
申请日:2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于,具有:基部;振动臂,所述振动臂从所述基部起延伸,具有臂部和施重部;以及施重膜,所述施重膜配置在所述施重部上,所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面,所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置,所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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公开(公告)号:CN1707944B
公开(公告)日:2011-08-31
申请号:CN200510076936.3
申请日:2005-06-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 押尾政宏
IPC: H03H3/10
CPC classification number: H03H9/1071 , H03H3/10 , H03H9/02559 , H03H9/02614 , H03H9/02818 , H03H9/02984 , H03H9/14538
Abstract: 本发明的课题是提供一种使用准纵波型泄漏表面声波的表面声波器件,其中通过有效地抑制寄生频率,改善了CI值和Q值,容易实现高频化。作为解决手段,在使用钽酸锂基板作为压电基板的情况下,使由IDT波长λ对钽酸锂基板的厚度t进行标准化得到的标准化基板厚度t/λ处于1≤t/λ≤22的范围内,基板的切角和所述准纵波型泄漏表面声波的传播方向处于欧拉表示的(90°、90°、0°~180°)的范围内。
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公开(公告)号:CN102121826A
公开(公告)日:2011-07-13
申请号:CN201010590043.1
申请日:2010-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 押尾政宏
CPC classification number: G01C19/5642
Abstract: 振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。本发明的目的是提供一种具有进行扭转振动的振动片的高精度的物理量传感器。作为解决手段,振动片具有:第1驱动梁及第2驱动梁,其以扭转振动模式振动,且相互并列地在X轴方向上延伸;支撑部,其结合第1驱动梁及第2驱动梁的一端彼此及另一端彼此;以及第1检测臂及第2检测臂,其在相对于X轴方向垂直的Y轴方向上,分别从第1驱动梁及第2驱动梁延伸,在驱动模式中,第1驱动梁及第2驱动梁在相反的方向上扭转振动,第1检测臂及第2检测臂在Z轴方向上振动,并且,第1检测臂及第2检测臂在相同的方向上振动,在检测模式中,在绕Y轴方向施加了角速度时,第1检测臂及第2检测臂在X轴方向上振动。
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公开(公告)号:CN102118142A
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN201010601789.8
申请日:2010-12-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 押尾政宏
IPC: H03H9/15
CPC classification number: G01C19/5762 , G01C19/5747
Abstract: 本发明提供小型且振动泄漏少的振动元件、振子以及电子设备。振动元件(100)具有:第1支承部(20a)和第2支承部(20b);第1振动臂(10a),其一端与第1支承部(20a)连接,且沿着Y轴延伸;第2振动臂(10b),其一端与第2支承部(20b)连接,且沿着Y轴延伸;摆动体(30),其与第1振动臂(10a)和第2振动臂(10b)的另一端连接,且配置在第1振动臂(10a)和第2振动臂(10b)之间;以及检测臂(40a、40b),其从具有开口部(30b、30c)的摆动体(30)的开口部(30b、30c)的内壁(30a)起,沿着与Y轴垂直的X轴延伸。
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