具有高K电介质的CMUT
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101772383A

    公开(公告)日:2010-07-07

    申请号:CN200880101200.9

    申请日:2008-07-31

    CPC classification number: B06B1/0292

    Abstract: 一种电容式超声换能器,包括第一电极、第二电极和第三电极;所述第三电极包括相对于所述第一电极可塌陷地间隔设置的中央区域,和从所述中央区域向外设置并相对于所述第二电极可塌陷地间隔设置的外围区域。该所述换能器还包括高介电常数材料层,其设置在所述第三电极和所述第一电极之间,以及所述第三电极和所述第二电极之间。所述换能器可以塌陷模式操作,其中所述第三电极的所述外围区域相对于所述第二电极振荡,并且所述第三电极的所述中央区域相对于所述第一电极完全塌陷,从而使所述电介质层被夹入其中。可还包括诸如d31和d33模型压电驱动之类的压电驱动。医学成像系统包括设置在公共基板上的这种电容式超声换能器的阵列。

    用于测量流体速度的传感器系统

    公开(公告)号:CN102575954B

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201080047457.8

    申请日:2010-10-15

    CPC classification number: G01F1/688 G01F1/6882 G01F1/696 G01F1/6986 G01F1/699

    Abstract: 本发明涉及一种测量流经通道(108)的流体(110)速度的传感器系统(102),包括用于加热流体的加热元件(104),其中在工作期间为所述加热元件(104)提供预定水平的功率。传感器系统(102)还包括基本电子电路(114),其基本谐振频率与温度相关。在这里,由从加热元件(104)向流经通道(108)的流体(110)传递的热决定所述基本电子电路(114)的温度。此外,传感器系统(102)包括配置成产生测量信号(128)的换能器装置(126),测量信号表示流经通道(108)的流体(110)的速度。在这里,测量信号(108)基于基本谐振频率。换能器装置包括栅陷振荡器(130,230,430),用于确定所述基本谐振频率。

    具有高K电介质的CMUT
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101772383B

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN200880101200.9

    申请日:2008-07-31

    CPC classification number: B06B1/0292

    Abstract: 一种电容式超声换能器,包括第一电极、第二电极和第三电极;所述第三电极包括相对于所述第一电极可塌陷地间隔设置的中央区域,和从所述中央区域向外设置并相对于所述第二电极可塌陷地间隔设置的外围区域。该所述换能器还包括高介电常数材料层,其设置在所述第三电极和所述第一电极之间,以及所述第三电极和所述第二电极之间。所述换能器可以塌陷模式操作,其中所述第三电极的所述外围区域相对于所述第二电极振荡,并且所述第三电极的所述中央区域相对于所述第一电极完全塌陷,从而使所述电介质层被夹入其中。可还包括诸如d31和d33模型压电驱动之类的压电驱动。医学成像系统包括设置在公共基板上的这种电容式超声换能器的阵列。

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