包括经成型衬底的可以塌陷模式工作的CMUT

    公开(公告)号:CN101896288B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN200880120214.5

    申请日:2008-12-12

    CPC classification number: B06B1/0292

    Abstract: 本发明提供了一种能够在具有减小的偏置电压或者无偏置电压情况下以塌陷模式工作的电容式超声换能器。该换能器包括衬底,对该衬底成型使得在不存在偏置电压时柔性隔膜的中间区域向该衬底塌陷。不可塌陷的间隙可以存在于衬底和柔性隔膜的外围区域之间。衬底的轮廓可以是这样的,其拉紧柔性隔膜越过塌陷点、或者机械干扰柔性隔膜。衬底可以包括置于柔性隔膜之下的另一个隔膜,对该另一个隔膜成型使得柔性隔膜向它塌陷。衬底还可以包括置于该另一个隔膜之下、使该另一个隔膜的相应部分向上朝向柔性隔膜偏移的支撑物。该支撑物可以是柱。与显示出可比的未成型衬底的其它类似常规换能器相比,该换能器可以以改进的效率(k2eff)工作在塌陷模式中。提供了相关医疗成像系统,其可以包括置于公共衬底上的这种换能器的阵列。提供了操作这种换能器的方法,该方法包括在不存在偏置电压时在塌陷模式中操作换能器。

    包括经成型衬底的可以塌陷模式工作的CMUT

    公开(公告)号:CN101896288A

    公开(公告)日:2010-11-24

    申请号:CN200880120214.5

    申请日:2008-12-12

    CPC classification number: B06B1/0292

    Abstract: 提供了一种能够在具有减小的偏置电压或者无偏置电压情况下以塌陷模式工作的电容式超声换能器。该换能器包括衬底,对该衬底成型使得在不存在偏置电压时柔性隔膜的中间区域向该衬底塌陷。不可塌陷的间隙可以存在于衬底和柔性隔膜的外围区域之间。衬底的轮廓可以是这样的,其拉紧柔性隔膜越过塌陷点、或者机械干扰柔性隔膜。衬底可以包括置于柔性隔膜之下的另一个隔膜,对该另一个隔膜成型使得柔性隔膜向它塌陷。衬底还可以包括置于该另一个隔膜之下、使该另一个隔膜的相应部分向上朝向柔性隔膜偏移的支撑物。该支撑物可以是柱。与显示出可比的未成型衬底的其它类似常规换能器相比,该换能器可以以改进的效率(k2eff)工作在塌陷模式中。提供了相关医疗成像系统,其可以包括置于公共衬底上的这种换能器的阵列。提供了操作这种换能器的方法,该方法包括在不存在偏置电压时在塌陷模式中操作换能器。

    具有高K电介质的CMUT
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101772383A

    公开(公告)日:2010-07-07

    申请号:CN200880101200.9

    申请日:2008-07-31

    CPC classification number: B06B1/0292

    Abstract: 一种电容式超声换能器,包括第一电极、第二电极和第三电极;所述第三电极包括相对于所述第一电极可塌陷地间隔设置的中央区域,和从所述中央区域向外设置并相对于所述第二电极可塌陷地间隔设置的外围区域。该所述换能器还包括高介电常数材料层,其设置在所述第三电极和所述第一电极之间,以及所述第三电极和所述第二电极之间。所述换能器可以塌陷模式操作,其中所述第三电极的所述外围区域相对于所述第二电极振荡,并且所述第三电极的所述中央区域相对于所述第一电极完全塌陷,从而使所述电介质层被夹入其中。可还包括诸如d31和d33模型压电驱动之类的压电驱动。医学成像系统包括设置在公共基板上的这种电容式超声换能器的阵列。

    具有高K电介质的CMUT
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101772383B

    公开(公告)日:2011-11-02

    申请号:CN200880101200.9

    申请日:2008-07-31

    CPC classification number: B06B1/0292

    Abstract: 一种电容式超声换能器,包括第一电极、第二电极和第三电极;所述第三电极包括相对于所述第一电极可塌陷地间隔设置的中央区域,和从所述中央区域向外设置并相对于所述第二电极可塌陷地间隔设置的外围区域。该所述换能器还包括高介电常数材料层,其设置在所述第三电极和所述第一电极之间,以及所述第三电极和所述第二电极之间。所述换能器可以塌陷模式操作,其中所述第三电极的所述外围区域相对于所述第二电极振荡,并且所述第三电极的所述中央区域相对于所述第一电极完全塌陷,从而使所述电介质层被夹入其中。可还包括诸如d31和d33模型压电驱动之类的压电驱动。医学成像系统包括设置在公共基板上的这种电容式超声换能器的阵列。

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