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公开(公告)号：CN1874955A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032195.2
申请日：2004-10-26
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： J·T·M·范比克 , M·J·E·乌勒奈尔斯
IPC: B81B3/00
CPC classification number: H01G5/18 , B81B3/0078 , B81B2201/016 , B81B2201/038 , B81B2203/04 , B81B2203/053 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2239/01
Abstract: 一种微机电系统(MEMS)器件的制造方法，包括在衬底(14)上提供基层(10)和机械层(12)，在基层(10)和机械层(12)之间提供牺牲层(16)，在牺牲层(16)和衬底(14)之间提供蚀刻停止层(18)，以及借助干法化学蚀刻去除牺牲层(16)，其中利用含氟的等离子体进行干法化学蚀刻，并且该蚀刻停止层(18)包括基本上不导电的、氟化学剂惰性材料，如HfO2、ZrO2、Al2O3或TiO2。
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公开(公告)号：CN1541444A
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN02815877.6
申请日：2002-08-14
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： J·T·M·范比克 , T·G·S·M·里克斯 , M·K·马特斯卡梅尔 , H·A·范埃斯奇
CPC classification number: G01R27/2617 , G01R27/26 , H01F17/0006 , H01F17/0013 , H01F27/2804 , H01L27/08 , H01L28/10 , H01L28/40 , H01L2924/0002 , H03H7/0115 , H01L2924/00
Abstract: 电子器件(10)包括电容器(12)和电感器(11)且存在于具有非平坦化表面(2)的基片(1)上。这是在电感器(11)的绕组(21)具有至少1微米的厚度并且具有平坦化上表面(81)时而被实现的。电容器(12)的上部电极(32)存在于第二电极层(6)内且具有下表面(82)，所述下表面(82)较下部电极(31)的上表面(81)与基片(1)相隔较大的距离。第二电极层(6)优选地包括电感器(11)的第二绕组(22)。所述电子器件(10)适合于在高频率下使用。
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公开(公告)号：CN1942851A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200580011282.4
申请日：2005-04-08
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： M·H·W·M·范德尔登 , J·T·M·范比克 , G·J·A·德斯图拉 , A·L·A·M·肯默伦
IPC: G06F3/033
CPC classification number: G06F3/0412 , G02F1/13394 , G06F3/044
Abstract: 一种触控式显示器，包括无源基板(206，306)，有源基板(102，308)，和设置在该无源和有源基板之间的显示材料(132)，其中用于驱动显示器的像素的驱动电路(104)和触控电路(201，304)设置在有源基板(102，308)上。该触控电路(201，304)包括至少一个具有第一和第二电极(224，310，408，410，508，608，610，702，704，706)的部件，其中电极(224，310，408，410，508，608，610，702，704，706)设置为响应于接触输入而彼此发生移位。
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公开(公告)号：CN1849746A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：CN200480025865.8
申请日：2004-08-23
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
CPC classification number: H03H9/2405 , H03H9/02448 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03L1/04
Abstract: 机电换能器(1)具有谐振器元件(20)和用于引起与电学输入信号有关的谐振器元件(20)的弹性形变的致动器(30)。为了保持温度稳定，机电换能器(1)具有感应元件(40)用以提供电感应信号，该信号是谐振器元件(20)的温度的函数，以及加热元件(50)用以加热谐振器元件减小温度相关频率偏差，保持谐振频率等于工作温度的标称频率。加热元件(50)受基于电感应信号的电加热信号的控制。谐振器元件可以具有加热元件或感应元件；它可以是惠斯通电桥的一部分；它可以由在相反的方向延伸的两个纵向可延伸的部分(201，202)组成，在无形变部分(203)中的支撑区(204)中连接。
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公开(公告)号：CN100407573C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN02815877.6
申请日：2002-08-14
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： J·T·M·范比克 , T·G·S·M·里克斯 , M·K·马特斯卡梅尔 , H·A·范埃斯奇
CPC classification number: G01R27/2617 , G01R27/26 , H01F17/0006 , H01F17/0013 , H01F27/2804 , H01L27/08 , H01L28/10 , H01L28/40 , H01L2924/0002 , H03H7/0115 , H01L2924/00
Abstract: 电子器件(10)包括电容器(12)和电感器(11)且存在于具有非平坦化表面(2)的基片(1)上。这是在电感器(11)的绕组(21)具有至少1微米的厚度并且具有平坦化上表面(81)时而被实现的。电容器(12)的上部电极(32)存在于第二电极层(6)内且具有下表面(82)，所述下表面(82)较下部电极(31)的上表面(81)与基片(1)相隔较大的距离。第二电极层(6)优选地包括电感器(11)的第二绕组(22)。所述电子器件(10)适合于在高频率下使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101095282A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200380105549.7
申请日：2003-11-26
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： J·T·M·范比克
CPC classification number: H03H9/2463 , H03H3/0072 , H03H9/02259 , H03H9/2452 , H03H2009/02496
Abstract: 传感器(1)包括沿具有长度(1)的纵向延伸的导电谐振元件(20)。它可以被导电致动器(30)弹性形变，使得该弹性形变包括长度的变化(d1)。谐振元件(20)电连接到第一接触区域(25)以及第二接触区域(26)，由此构成电路。在该电路中，谐振元件(20)构成具有欧姆电阻(R)的电阻器，电阻(R)是长度(1+d1)的函数。传感器(1)还包括电连接到该电路的测量点(28)，用于提供作为电阻(R)的函数的电信号。
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公开(公告)号：CN1723606A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200380105502.0
申请日：2003-12-01
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： T·G·S·M·里克斯 , M·马特斯 , J·T·M·范比克
CPC classification number: H01H59/0009 , H01G5/18 , H01G5/40
Abstract: 用于驱动微电子机械系统(MEMS)设备阵列的方法，所述阵列在其输出具有多个逻辑或记忆状态，其中MEMS设备被给予一个MEMS设备与另一MEMS设备不同的特征磁滞曲线，并且其中单一信号控制电压被施加至所有MEMS设备，同时通过改变单一控制电压获得阵列的各种状态。
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公开(公告)号：CN1951004A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580014191.6
申请日：2005-05-03
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
CPC classification number: H03H3/00 , H03H7/0123
Abstract: 电子装置包括在半导体材料的衬底的第一侧上的至少一个薄膜电容器和至少一个电感器的网络。所述衬底具有足够高以限制所述电感器的电损耗的电阻率，并且在其第一侧上设有电绝缘表面层。第一和第二横向pin二极管被限定在衬底中，每个pin二极管具有掺杂p区、掺杂n区和中间本征区。第一pin二极管的本征区大于第二pin二极管的本征区。
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公开(公告)号：CN1875447A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032237.2
申请日：2004-10-26
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： J·M·J·登通德 , A·R·范迪肯 , T·G·S·M·里克斯 , J·T·M·范比克
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2203/0118 , H01H1/0036 , H01H59/0009 , H01H2001/0052 , Y10T428/31678
Abstract: 一种RF MEMS装置，包括一个或多个配置成响应于致动或激励而移动的自支撑薄膜，该一个或多个薄膜包括铝和镁的合金，可选地包括一种或多种另外的材料。最终的薄膜相对于传统薄膜具有提高的硬度和减小的蠕变。
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公开(公告)号：CN1813328A
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN200480018001.3
申请日：2004-06-23
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明的MEMS元件具有第一、第二和中间第三电极。它具有增加的动态范围，因为由第二和第三电极组成的可切换电容器设置在输入和输出之间的信号路径中，由第一和第三电极组成的可切换电容器设置在信号路径和地之间。本发明的MEMS元件非常适合整合到无源组件的网络中。
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