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公开(公告)号：CN1875447A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032237.2
申请日：2004-10-26
Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司
Inventor： J·M·J·登通德 , A·R·范迪肯 , T·G·S·M·里克斯 , J·T·M·范比克
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2203/0118 , H01H1/0036 , H01H59/0009 , H01H2001/0052 , Y10T428/31678
Abstract: 一种RF MEMS装置，包括一个或多个配置成响应于致动或激励而移动的自支撑薄膜，该一个或多个薄膜包括铝和镁的合金，可选地包括一种或多种另外的材料。最终的薄膜相对于传统薄膜具有提高的硬度和减小的蠕变。
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