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公开(公告)号：CN117375553A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202210763494.3
申请日：2022-06-30
Abstract: 本申请实施例提供一种声表面波谐振器、滤波器和通讯设备，涉及谐振器技术领域，可以使得声表面波谐振器实现平坦的慢度曲线。该声表面波谐振器可以包括：基底、压电层和电极，压电层设置在基底上，电极设置在压电层的远离基底的一侧；其中，基底的材料为四方晶系材料；由压电层的材料和电极的材料合成的第一慢度曲线，与四方晶系材料的第二慢度曲线，在该声表面波谐振器的波传播方向上的凹凸特性相反。这样的话，通过特性相反的慢度曲线的相互抵消，可以使得最终的谐振器在波传播方向上的慢度曲线平坦，以抑制横向模态。
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公开(公告)号：CN112491379A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011132535.6
申请日：2020-10-21
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于射频微机电系统技术领域，具体提供一种具有声子晶体反射器的声表面波谐振器，用以著提高谐振器的品质因数。本发明包括：基底1，设置于基底上的压电层2，设置于压电层2上的输入电极3、输出电极4、地电极6，以及声子晶体反射器5；输入电极3与输出电极4共同构成叉指换能器，声子晶体反射器5由对称设置于叉指换能器两侧的两个声子晶体阵列构成，地电极6围绕叉指换能器及声子晶体反射器的设置。本发明采用声子晶体反射器以取代传统的电极反射器，能够有效提升谐振器品质因数；同时，与传统的电极反射器设计相比，声子晶体反射器具有较宽的声学带隙，能够抑制整个带隙频率范围内的声波传播，从而对声能损耗的抑制更有效。
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公开(公告)号：CN110333012A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910671693.X
申请日：2019-07-24
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种阻变容变复合的二维应变传感器及其制备方法，本发明提出的二维应变传感器采用平行板式电容器的上极板、绝缘电介质层、下极板三层结构设计，上下极板的导电材料选择具有微纳结构的金属、碳导电材料或者金属、碳混合导电材料，双极板图案均采用蛇形结构设计，电容器的上极板和下极板同时又作为阻变拉伸应变传感器。本发明通过容变现象检测水平方向拉伸应变，通过阻变现象检测竖直方向拉伸应变，采用阻变容变复合的形式对二维正交方向的拉伸应变进行检测，具有柔性、可拉伸的特性；且阻变拉伸传感器采用渗透导电网络结构，具有良好的灵敏度。
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公开(公告)号：CN105871351B
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201610168651.0
申请日：2016-03-22
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，具体提供一种窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、四条支撑梁、四个支撑台及基底，所述振动块由输入端P型半导体区、N型半导体区和输出端P型半导体区构成，所述输入端P型半导体区、输出端P型半导体区分别位于振动块的对角，连接振动块各区的支撑梁与振动块对应区采用相同掺杂类型，振动块上覆盖压电层，输入、输出金属电极置于压电层上，所述压电层部分覆盖振动块，使得输入金属电极与输入端P型半导体区电气连通，输出金属电极与输出端P型半导体区电气连通。本发明结构能够大大减小了由传统支撑梁较大宽度带来的锚点损耗，有效的提高了谐振器的品质因数Q。
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公开(公告)号：CN107640740A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201710834957.X
申请日：2017-09-15
Applicant: 电子科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种复合固支梁及其制备方法，属于微机电系统技术领域。本发明提出了一种基于“金-石墨烯-金”三层复合材料形成的固支梁结构。本发明复合固支梁的制作工艺简单、成本低廉、操作可控性强，且兼具易于与CMOS电路集成的优势；运用本发明复合固支梁作为微机电系统开关，由于其相比石墨烯梁具有较小的杨氏模量和弹性系数，因而能够降低开关的驱动电压；同时，由于其相比传统金属梁具有高机械强度，因此能够解决其作为开关的可靠性问题，进而有利于其作为MEMS开关的商业化发展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104916502B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201510246961.5
申请日：2015-05-15
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 本发明属于电子科学技术领域，提供一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关，包括带绝缘介质层的基底，绝缘介质层上的两个横向可移动悬臂梁及其对应的第一驱动电极、第二驱动电极、开关焊盘、电极焊盘；所述两个横向可移动悬臂梁下方悬空且高度位于同一水平面，其固定端分别通过支撑锚点固定于绝缘层上对侧位置、自由端部分交叠且不接触；所述第一驱动电极设置作用于横向可移动悬臂梁中点；所述第二驱动电极设置对应于横向可移动悬臂梁自由端端点。本发明通过两组电极对两个悬臂梁的控制，使开关具有更低的驱动电压和更高的隔离度，并降低了开关时间，使之具有更好的实用性及开关性能。
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公开(公告)号：CN102857192B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201210337607.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。
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公开(公告)号：CN104183425A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410439204.5
申请日：2014-08-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种射频MEMS单刀双掷开关，属于电子科学技术领域。采用可移动金属悬臂梁，其一端通过金属锚点与信号输入端相连，中间具有吸合电极板，远端为下拉电极板；沿悬臂梁中心轴线两侧分别设置第一、第二驱动电极和信号输出端；开关工作时，第一驱动电极先施加偏置电压，使得吸合电极板受静电力作用而移动，然后同侧第二驱动电极施加偏置电压，使得远端下拉电极板被拉下导致两个电接触点与同侧的射频信号输出端相接触。本发明提供的开关在断开状态时两个第二驱动电极板都不在悬臂梁垂直投影区域以内，有效减少了开关断开状态的耦合电容，增加了开关的隔离度，同时开关在断开状态下金属悬臂梁和基底之间距离可做得更小，从而有效降低了开关驱动电压。
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公开(公告)号：CN103715481A
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201310713045.9
申请日：2013-12-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P1/203
Abstract: 本发明公开了一种基于微屏蔽结构的太赫兹带状线滤波器，包括滤波器输入端（1）和滤波器输出端（4），滤波器输入端（1）和滤波器输出端（4）之间包括形成S型弯折结构的若干段，各段内部包括：上地平面（15）、下地平面（11）、上信号线（16）、下信号线（12）、上支撑薄膜（17）、下支撑薄膜（13）、上结合壁（18）、下结合壁（14）。本发明由于采用带状线滤波器结构，信号线之间可实现强耦合，从而实现宽带滤波功能。
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公开(公告)号：CN101694896A
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200910167957.4
申请日：2009-10-21
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电技术中的五位射频微机电式移相器，包含CPW信号线及其绝缘层、地线，MEMS孔板式金属梁及弹性悬臂式支撑，比例电容，直流偏置电极及绝缘层，偏置导线组成的31个MEMS开关，5个直流加载电极及连接导线，带绝缘层的基片。该发明因增设了直流偏置电极、有效避免了因MEMS金属梁自激振荡而失去移相功能的缺陷，采用孔板式金属梁及弹性悬臂式支撑、又将所需下拉的电压降至9V左右，不但实现了11.25。的小步进、5位移相，移相状态达32种，且反射损耗小、移相精度最高可达3.5。而具有插入损耗及下拉电压低、步进幅度小，移相器位数、移相精度及可靠性高，加工工艺较简单，可与现代电子通信系统配套使用等特点。
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