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公开(公告)号：CN102857192B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201210337607.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。
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公开(公告)号：CN102857192A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210337607.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。
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公开(公告)号：CN102280682A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110074392.2
申请日：2011-03-27
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P7/00
Abstract: 该发明属于一种微机械圆盘谐振器，包括基片、带直流偏置导线的振动圆盘，设于振动圆盘两则、且分别带输入连接线、波纹梁的环片式输入电极和带输出连接线、波纹梁的环片式输出电极，分别与两电极固定的固定条。该发明由于将传统微机械圆盘谐振器中固定于基片上的输入、输出电极改为悬置式，并增设一对将输入及输出电极定位的固定条和一对悬置式波纹梁，从而在生产过程中可方便调节两电极与振动圆盘之间的距离。该发明两电极与振动圆盘之间的缝隙可小到0-50nm，在相同电压的条件下、其输出的电流较背景技术增大了近2倍，换能效率大为提高；从而具有振动圆盘与输入、输出电极之间的缝隙小，可有效提高谐振器的换能效率、降低生产成本等特点。
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公开(公告)号：CN102280682B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201110074392.2
申请日：2011-03-27
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P7/00
Abstract: 该发明属于一种微机械圆盘式谐振器，包括基片、带直流偏置导线的振动圆盘，设于振动圆盘两侧、且分别带输入连接线、波纹梁的环片式输入电极和带输出连接线、波纹梁的环片式输出电极，分别与两电极固定的固定条。该发明由于将传统微机械圆盘谐振器中固定于基片上的输入、输出电极改为悬置式，并增设一对将输入及输出电极定位的固定条和一对悬置式波纹梁，从而在生产过程中可方便调节两电极与振动圆盘之间的距离。该发明两电极与振动圆盘之间的缝隙可小到0-50nm，在相同电压的条件下、其输出的电流较背景技术增大了近2倍，换能效率大为提高；从而具有振动圆盘与输入、输出电极之间的缝隙小，可有效提高谐振器的换能效率、降低生产成本等特点。
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