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公开(公告)号：CN102820499A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210254180.7
申请日：2012-07-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P1/18
Abstract: 该发明属于与X波段通信设备配套用五位X波段移相器。包括含回旋式设于基板上且在各转角处的外角进行倒角处理的CPW信号线及其绝缘层、CPW地线，MEMS开关梁及支撑板，MAM电容上、下极板及其支撑片在内的元器件组成的MEMS开关组，在各转角处前、后两端的CPW地线之间跨CPW信号线设有连接桥，以及偏置电极及其绝缘层，偏置电极正极和负极连接导线，上表面设有绝缘层的基板；该发明较传统五位X波段移相器相的面积减少了近三分之一，同时提高了移相器的性能和稳定性。因而具有器件的结构紧凑、体积小，强度及稳定性高、插入损耗小、Q值大、移相精度高，以及可实现高精度、大批量加工，同时降低了生产过程中的封装难度和生产成本等特点。
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公开(公告)号：CN102857192B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201210337607.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102857192A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210337607.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。
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公开(公告)号：CN103036527A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210527711.5
申请日：2012-12-10
Applicant: 电子科技大学
IPC: H03H9/24
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的方块式谐振器。包括振动方块及分别固定于振动方块四边中点的由悬梁与固定梁组成的十字形支撑梁、支撑台，输入及输出电极，二氧化硅层，基底。该发明由于将振动方块通过十字形支撑梁固定于支撑台上，并在悬梁上找出当谐振器处于平面内弯曲振动时的静止点（零位移点）作为十字形支撑梁中悬梁与固定梁的固定点；该发明在仅考虑锚点损耗的情况下平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值可较背景技术提高2.5-3.2倍。因而该发明与背景技术相比具有可进一步提高平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值及方块式微机械谐振器的性能，以及可有效提高采用该谐振器的MEMS滤波器的性能等特点。
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公开(公告)号：CN102280682A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110074392.2
申请日：2011-03-27
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P7/00
Abstract: 该发明属于一种微机械圆盘谐振器，包括基片、带直流偏置导线的振动圆盘，设于振动圆盘两则、且分别带输入连接线、波纹梁的环片式输入电极和带输出连接线、波纹梁的环片式输出电极，分别与两电极固定的固定条。该发明由于将传统微机械圆盘谐振器中固定于基片上的输入、输出电极改为悬置式，并增设一对将输入及输出电极定位的固定条和一对悬置式波纹梁，从而在生产过程中可方便调节两电极与振动圆盘之间的距离。该发明两电极与振动圆盘之间的缝隙可小到0-50nm，在相同电压的条件下、其输出的电流较背景技术增大了近2倍，换能效率大为提高；从而具有振动圆盘与输入、输出电极之间的缝隙小，可有效提高谐振器的换能效率、降低生产成本等特点。
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公开(公告)号：CN103036527B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201210527711.5
申请日：2012-12-10
Applicant: 电子科技大学
IPC: H03H9/24
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的方块式谐振器。包括振动方块及分别固定于振动方块四边中点的由悬梁与固定梁组成的十字形支撑梁、支撑台，输入及输出电极，二氧化硅层，基底。该发明由于将振动方块通过十字形支撑梁固定于支撑台上，并在悬梁上找出当谐振器处于平面内弯曲振动时的静止点（零位移点）作为十字形支撑梁中悬梁与固定梁的固定点；该发明在仅考虑锚点损耗的情况下平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值可较背景技术提高2.5?3.2倍。因而该发明与背景技术相比具有可进一步提高平面内弯曲振动模态MEMS谐振器的Q值及方块式微机械谐振器的性能，以及可有效提高采用该谐振器的MEMS滤波器的性能等特点。
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公开(公告)号：CN102280682B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201110074392.2
申请日：2011-03-27
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P7/00
Abstract: 该发明属于一种微机械圆盘式谐振器，包括基片、带直流偏置导线的振动圆盘，设于振动圆盘两侧、且分别带输入连接线、波纹梁的环片式输入电极和带输出连接线、波纹梁的环片式输出电极，分别与两电极固定的固定条。该发明由于将传统微机械圆盘谐振器中固定于基片上的输入、输出电极改为悬置式，并增设一对将输入及输出电极定位的固定条和一对悬置式波纹梁，从而在生产过程中可方便调节两电极与振动圆盘之间的距离。该发明两电极与振动圆盘之间的缝隙可小到0-50nm，在相同电压的条件下、其输出的电流较背景技术增大了近2倍，换能效率大为提高；从而具有振动圆盘与输入、输出电极之间的缝隙小，可有效提高谐振器的换能效率、降低生产成本等特点。
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