-
公开(公告)号：CN107640740B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201710834957.X
申请日：2017-09-15
Applicant: 电子科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种复合固支梁的制备方法，属于微机电系统技术领域。本发明提出了一种基于“金‑石墨烯‑金”三层复合材料形成的固支梁结构。本发明复合固支梁的制作工艺简单、成本低廉、操作可控性强，且兼具易于与CMOS电路集成的优势；运用本发明复合固支梁作为微机电系统开关，由于其相比石墨烯梁具有较小的杨氏模量和弹性系数，因而能够降低开关的驱动电压；同时，由于其相比传统金属梁具有高机械强度，因此能够解决其作为开关的可靠性问题，进而有利于其作为MEMS开关的商业化发展。
-
公开(公告)号：CN107102453B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201710541618.2
申请日：2017-07-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种鳍线加载HEMT嵌套结构的太赫兹波快速调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明是通过将太赫兹波段鳍线‑波导传输系统与人工电磁谐振结构单元、高电子迁移率晶体管HEMT相结合而实现的。本发明通过电控HEMT的电磁特性实现对人工电磁谐振单元结构中电磁谐振模式的控制，从而实现对鳍线‑波导中传播的太赫兹波幅度、相位进行调制。本发明可实现95％以上的调制深度，同时对太赫兹波的插损可小于‑1.5dB以内。本发明可通过运用微细加工技术实现，制备工艺成熟可靠。本发明实现了半导体材料与人工微结构阵列、太赫兹传输线相结合的调制器件，在太赫兹无线通信、太赫兹波谱技术、太赫兹安检成像等领域具有重要的实际应用价值。
-
公开(公告)号：CN105070990B
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201510495715.3
申请日：2015-08-13
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P1/203
Abstract: 超宽带滤波器是超宽带通信系统中的关键器件，其性能决定了系统的整体性能。本发明涉及一种微带超宽带带通滤波器，它基于一种新型王字型多模谐振器，其特征在于：第一开路传输线节(31)和第二开路传输线节(36)分别连接到第一平行耦合线节(32)，第一平行耦合线节(32)的一端连接第三开路传输线节(33)，第一平行耦合线节(32)的另外一端连接第二平行耦合线节(34)和第三平行耦合线节(35)。研究表明，本发明所述超宽带带通滤波器具有高性能小型化等优点。
-
公开(公告)号：CN106982042A
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：CN201710164136.X
申请日：2017-03-20
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域，提供一种新型支撑结构的MEMS压电谐振器，用以克服现有MEMS谐振器的Q值低的缺陷；本发明MEMS压电谐振器结构中增加圆形外框和内支撑梁，采用硅振动块‑内支撑梁‑圆形外框‑外支撑梁‑基底的连接方式，且将圆形外框与外支撑梁的连接位置选取在机械波在圆形外框中传播时的驻波节点处，从而使内支撑梁传导出的两股机械波在节点处反相而相互抵消，显著减小从谐振体到基底通过支撑梁传导造成的能量耗散，降低锚点损耗，从而提升谐振器的品质因数Q。
-
公开(公告)号：CN105024124A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510494771.5
申请日：2015-08-13
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P1/203
Abstract: 超宽带滤波器是超宽带通信系统中的关键器件，它决定了系统的整体性能。本发明涉及一种微带超宽带带通滤波器，它基于一种新型多枝节多模谐振器，其构成为：由中间短路传输线节33(通过金属化通孔34实现短路)两端与传输线节32两端连接，形成一个闭合环；开路传输线节31、开路传输线节35、开路传输线节36、开路传输线节37、开路传输线节38和开路传输线节39分别连接到传输线节32上。另外，通过在输入端口接入匹配枝节(短路传输线节12(短路由金属化通孔13来实现)和开路传输线节14)和输出端口处接入匹配枝节(短路传输线节22(短路由金属化通孔23来实现)和开路传输线节24)改善滤波器性能。研究表明，本发明所述超宽带带通滤波器具有高性能小型化等优点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110535007B
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201910843616.8
申请日：2019-09-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于鳍线加载谐振单元嵌套二极管的片上太赫兹波幅度调制器，属于电磁功能器件技术领域。通过在鳍线传输线的背面加载嵌套有二极管的谐振单元，利用外部馈电输入结构通过电压控制二极管的工作状态，实现谐振单元工作模式切换，从而实现对传输线中传输的太赫兹波进行快速幅度调制。克服了现有片上调制器在传输线的传输区域直接加载谐振单元造成的传输特性差问题，同时由于外部馈电区直接与调制区中谐振单元相接，降低了外部馈电区与调制区中谐振单元相接时引入的阻抗不匹配，克服了外部馈电区在高频信号输入的反射大问题。
-
公开(公告)号：CN109856820B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201910229888.9
申请日：2019-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于鳍线嵌套人工微结构的片上太赫兹波幅度调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明包括矩形波导、鳍线、外部偏置滤波电路、第一介质基板和第二介质基板；矩形波导的输入端与输出端之间由鳍线连接，鳍线包括波导‑鳍线过渡部分、中间传输区和鳍线‑波导过渡部分；鳍线调制部分位于中间传输区，包括两个调制单元，调制单元包括人工微结构和HEMT二极管；外部偏置滤波电路包括滤波输入端、紧凑的微带谐振单元和滤波输出端，滤波输出端通过键合线与鳍线连接。本发明拥有大的调制带宽以及调制深度的同时，可工作于常温、常压、非真空条件下，因此本发明所述调制器有着良好的实际应用前景。
-
公开(公告)号：CN106921363B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201710139948.9
申请日：2017-03-10
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及射频微机电系统技术领域。本发明谐振器包括基底、支撑台、薄膜结构层和外接电极，所述薄膜结构层包括石墨烯薄膜、压电薄膜和金属钛膜；薄膜结构层中两个石墨烯薄膜分别作为顶电极和底电极，顶电极和底电极相互交叉且隔离设置，并分别对应支撑台形成电气连通；压电薄膜位于顶电极与底电极平面之间形成石墨烯薄膜‑压电薄膜‑石墨烯薄膜的压电谐振堆，顶电极与输入外接电极电气连通，能够基于逆压电效应能够将电能量转换成声波形成谐振，底电极与输出外接电极电气连通，能够将产生信号进行输出。本发明能够有效降低薄膜体声波谐振器的锚点损耗和界面损耗，提高器件的工作频率和高品质因素。
-
公开(公告)号：CN109870831A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910227583.4
申请日：2019-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种腔体外部加载式可调金属线太赫兹波直接调制器，属于电磁功能器件技术领域。包括矩形波导、介质基板、谐振结构、肖特基二极管、接地枝节和滤波馈电结构；介质基板贯穿矩形波导腔体壁并放置在矩形波导的长边；介质基板的上表面由矩形波导内至矩形波导外依次为谐振结构、肖特基二极管和滤波馈电结构。本发明是一种二维平面结构，可通过微细加工手段实现，工艺成熟、易于制作，避免了复杂立体结构的设计方案带来的高难度加工。本发明拥有大的调制带宽、调制深度以及极低插损，可工作于常温、常压、非真空条件下，因此本发明所述调制器有着良好的实际应用前景。
-
公开(公告)号：CN109856820A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201910229888.9
申请日：2019-03-25
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于鳍线嵌套人工微结构的片上太赫兹波幅度调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明包括矩形波导、鳍线、外部偏置滤波电路、第一介质基板和第二介质基板；矩形波导的输入端与输出端之间由鳍线连接，鳍线包括波导-鳍线过渡部分、中间传输区和鳍线-波导过渡部分；鳍线调制部分位于中间传输区，包括两个调制单元，调制单元包括人工微结构和HEMT二极管；外部偏置滤波电路包括滤波输入端、紧凑的微带谐振单元和滤波输出端，滤波输出端通过键合线与鳍线连接。本发明拥有大的调制带宽以及调制深度的同时，可工作于常温、常压、非真空条件下，因此本发明所述调制器有着良好的实际应用前景。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
33
records
(took 0.028 seconds)
