公开(公告)号：CN106921363B

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201710139948.9

申请日：2017-03-10

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 鲍景富 ,  李昕熠 ,  鲍飞鸿 ,  张翼 ,  张亭 ,  鲍蕾蕾

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/05 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及射频微机电系统技术领域。本发明谐振器包括基底、支撑台、薄膜结构层和外接电极，所述薄膜结构层包括石墨烯薄膜、压电薄膜和金属钛膜；薄膜结构层中两个石墨烯薄膜分别作为顶电极和底电极，顶电极和底电极相互交叉且隔离设置，并分别对应支撑台形成电气连通；压电薄膜位于顶电极与底电极平面之间形成石墨烯薄膜‑压电薄膜‑石墨烯薄膜的压电谐振堆，顶电极与输入外接电极电气连通，能够基于逆压电效应能够将电能量转换成声波形成谐振，底电极与输出外接电极电气连通，能够将产生信号进行输出。本发明能够有效降低薄膜体声波谐振器的锚点损耗和界面损耗，提高器件的工作频率和高品质因素。

公开(公告)号：CN106921363A

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201710139948.9

申请日：2017-03-10

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 鲍景富 ,  李昕熠 ,  鲍飞鸿 ,  张翼 ,  张亭 ,  鲍蕾蕾

IPC: H03H9/17 ,  H03H9/05 ,  H03H3/02

Abstract: 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及射频微机电系统技术领域。本发明谐振器包括基底、支撑台、薄膜结构层和外接电极，所述薄膜结构层包括石墨烯薄膜、压电薄膜和金属钛膜；薄膜结构层中两个石墨烯薄膜分别作为顶电极和底电极，顶电极和底电极相互交叉且隔离设置，并分别对应支撑台形成电气连通；压电薄膜位于顶电极与底电极平面之间形成石墨烯薄膜‑压电薄膜‑石墨烯薄膜的压电谐振堆，顶电极与输入外接电极电气连通，能够基于逆压电效应能够将电能量转换成声波形成谐振，底电极与输出外接电极电气连通，能够将产生信号进行输出。本发明能够有效降低薄膜体声波谐振器的锚点损耗和界面损耗，提高器件的工作频率和高品质因素。