-
公开(公告)号：CN113098418B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202110366631.5
申请日：2021-04-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法，本发明的微型圆盘谐振器包括SOI基底，以及集成在SOI基底上的平面螺旋电感和圆盘谐振体；所述圆盘谐振体与平面螺旋电感耦合连接，使得所述圆盘谐振体的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路，实现无线传输。本发明通过在同一硅片上集成平面螺旋电感与圆盘型压电谐振器，使得圆盘谐振器的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路，通过外部电路无线读取圆盘谐振器的频率信息的变化来实现监测被测物质量的目的，进而实现该器件无线传感的目的。
-
公开(公告)号：CN113252081A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110518955.6
申请日：2021-05-12
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01D5/16 , C07K14/435 , C07K1/14
Abstract: 本发明公开了一种基于蚕丝蛋白的柔性复合传感器及其制备方法，该柔性复合传感器包括柔性基底、叉指电极、复合传感材料，柔性基底可直接贴合皮肤或者其他被测物体表面，叉指电极位于柔性基底和复合传感材料之间，复合传感材料为蚕丝蛋白、石墨烯薄膜，能对环境中的湿度变化、温度变化产生反应，同时，还能对拉伸作出反应，通过对不同环境因素的改变而发生相应的变化，实现对外部环境的感知，且制作方法简单，器件尺寸小、柔性可穿戴，具有广泛的应用前景。
-
公开(公告)号：CN117073516A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311059999.2
申请日：2023-08-22
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01B7/16
Abstract: 本发明属于微机电技术领域，具体涉及一种具有低温度漂移特性的TPoS应变传感器。包括硅基底、集成在硅基底上的音叉式TPoS谐振，所述音叉式TPoS谐振器包括音叉式TPoS谐振器主体和金属电极盘；音叉式TPoS谐振器主体的下表面设有温度补偿层，温度补偿层由正温度系数材料制成。与现有技术相比，本发明将将音叉式TPoS谐振器作为应变传感器的核心结构，实现应变的变化量检测，通过采用音叉式TPoS谐振器作为应变传感器的核心结构，并通过设置的温度补偿层，抵消传感器硅层材料在温度变化时其杨氏模量变化带来的频率偏移效应，从而实现了低温度漂移特性。
-
公开(公告)号：CN116893280A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310867348.X
申请日：2023-07-14
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明公开了一种基于三音叉TPoS谐振器的双轴加速度传感器，属于微机电技术领域。本发明所述加速度传感器由质量块、解耦梁、三级微杠杆、三音叉TPoS谐振器和SOI基底构成，其中三级微杠杆的设计方案使得器件占用面积大幅减小，结构变得更加紧凑。本发明的工作原理是质量块在加速度的影响下产生惯性力，在通过解耦梁解耦和三级微杠杆放大后作用于三音叉TPoS谐振器，使其谐振频率发生偏移，并通过外部电路检测谐振频率变化量实现加速度测量的目的。
-
公开(公告)号：CN112751403B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110012756.8
申请日：2021-01-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了基于最大功率检测的脉冲能源电源电路和复合电源电路及系统，整流电路：对脉冲能源装置输出的电源进行整流；最大功率储能电路：采用与脉冲能源装置阻抗匹配的一级储能器件连接于整流电路的整流后侧，用于对连续多周期脉冲进行蓄电能、并在蓄电能达到最大输出功率时、受控后释放蓄电能到供电储能电路；采样电路N：用于对最大功率储能电路进行采样后为控制电路N提供采样信号；基准电源：用于为控制电路N提供基准信号和供电电源；控制电路N：用于根据采样信号和基准信号对开关电路N进行控制；开关电路N：用于控制供电储能电路N接地回路的导通或断开，供电储能电路N：用于作为负载的供能电源。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115200635A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210591837.2
申请日：2022-05-27
Applicant: 电子科技大学 , 北京新风航天装备有限公司
Abstract: 本发明属于射频微机电系统传感器技术领域，具体提供一种多功能集成化的MEMS传感器系统，用以实现基于单一传感器的磁场与温度测量。本发明采用角拍动方形谐振器同时作为磁场传感器与温度传感器，并匹配设计切换电路与后端处理电路，共同构成多功能集成化的MEMS传感器系统；切换电路采用两个二极管与门构成，通过对两个二极管与门的输出进行高、低电平的控制，实现磁场传感电路与温度传感电路的相互切换；并且，磁场与温度传感电路中共用由跨阻放大器、二阶RC滤波网络、电压跟随器及单片机中控模块构成的后端处理电路；综上，本发明能够基于单一传感器实现磁场与温度的同时测量，且具有低功耗、小体积、多功能、稳定性强的优点。
-
公开(公告)号：CN111785530B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202010675569.3
申请日：2020-07-14
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种可拉伸微型超级电容器及其制备方法，所述可拉伸微型超级电容器包括可拉伸电极、电解质和可拉伸基底，所述可拉伸电极设置在可拉伸基底上，所述电解质涂覆在可拉伸电极上，所述可拉伸电极和可拉伸基底均为采用倒模方式制备的三维结构，所述可拉伸电极为硅胶基导电复合物，所述硅胶基导电复合物包括电活性材料和硅橡胶，所述电活性材料为聚苯胺和碳纳米管的混合物，所述可拉伸基底为硅橡胶。采用本发明所述制备方法制备的微型超级电容器同时兼具良好的可拉伸性和性能，且微型超级电容器具有独立式结构，无需额外的封装，器件体积小、厚度薄，可以集成在微小型柔性电子器件中。
-
公开(公告)号：CN112751403A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202110012756.8
申请日：2021-01-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了基于最大功率检测的脉冲能源电源电路和复合电源电路及系统，整流电路：对脉冲能源装置输出的电源进行整流；最大功率储能电路：采用与脉冲能源装置阻抗匹配的一级储能器件连接于整流电路的整流后侧，用于对连续多周期脉冲进行蓄电能、并在蓄电能达到最大输出功率时、受控后释放蓄电能到供电储能电路；采样电路N：用于对最大功率储能电路进行采样后为控制电路N提供采样信号；基准电源：用于为控制电路N提供基准信号和供电电源；控制电路N：用于根据采样信号和基准信号对开关电路N进行控制；开关电路N：用于控制供电储能电路N接地回路的导通或断开，供电储能电路N：用于作为负载的供能电源。
-
公开(公告)号：CN119619286B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202510151637.9
申请日：2025-02-11
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01N29/02 , G01N29/036 , G01N29/22 , G01N21/65
Abstract: 本发明涉及微机电技术领域及气体检测技术领域，具体为用于气体组分分析的压电谐振式MEMS光谱芯片，包括硅衬底，硅衬底为镂空的平板，其上形成有第一支撑梁和第二支撑梁，第一支撑梁和第二支撑梁交叉排布呈十字型，其中第一支撑梁上设有两个TPoS谐振器，两个TPoS谐振器关于十字型的交叉点对称，均包括自下而上依次设置的掺杂硅层、压电薄膜、以及顶部电极，顶部电极上设有自组装金纳米颗粒阵列，且该阵列中的金纳米颗粒为经官能团修饰的自组颗粒。本发明通过设置两个谐振与自组装金纳米颗粒阵列实现了对待检测气体的质量定量分析、以及对待检检测气体组分的精准分析。
-
公开(公告)号：CN119171861A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411285249.1
申请日：2024-09-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种在厚度方向具有对称结构的硅上下压电薄膜兰姆波谐振器及其制备方法，属于微机电技术领域。该谐振器的谐振区自下而上分别为底部叉指电极、底部压电层、谐振硅层、顶部压电层、顶部叉指电极。通过金属电极盘使谐振硅层接地，同时对两个叉指电极对施加一定频率的交流信号，使谐振器发生谐振。该谐振器可以通过控制上下同一位置的金属电极的相位来决定所激发A1或是S1模态。当上下同一位置的金属电极施加幅值相同，相位相同的电信号时，该谐振器可激发无杂散的A1模态，当上下同一位置的金属电极施加幅值相同，相位相反的电信号时，该谐振器可激发无杂散的S1模态。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
34
records
(took 0.023 seconds)
