一种差分输入输出式MEMS谐振器及其加工方法

    公开(公告)号:CN112073024A

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN202010961841.4

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明公开了一种差分输入输出式MEMS谐振器及其加工方法,包括:SOI支撑台、外接差分输入电极盘、外接差分输出电极盘、外接地电极盘、一维声子晶体支撑梁和谐振体;所述谐振体通过一维声子晶体支撑梁与SOI支撑台固定连接,形成悬浮结构;所述SOI支撑台的一端表面与外接差分输入电极盘固定连接,其另一端表面与外接差分输出电极盘固定连接;所述谐振体分别与外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘电连接;所述外接地电极盘固定在SOI支撑台上,并分别位于外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘的两侧;本发明通过降低谐振器的锚点损耗,提高器件的品质因数,解决现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高的问题。

    一种集成鱼鳞形反射镜阵列的体声波谐振器及其加工方法

    公开(公告)号:CN110460319B

    公开(公告)日:2020-10-09

    申请号:CN201910769613.4

    申请日:2019-08-20

    Abstract: 本发明公开了一种集成鱼鳞形反射镜阵列的体声波谐振器及其加工方法,所述体声波谐振器包括SOI基底、位于SOI基底顶端的输入电极盘、输出电极盘、地电极盘,以及通过支撑梁固定并悬浮于SOI基底中心处的谐振体,谐振体两侧集成了鱼鳞形反射镜阵列;输入电极盘和输出电极盘对称设置在SOI基底顶端的两侧,且输入电极盘和输出电极盘的两侧均对称设置有地电极盘;鱼鳞形反射镜阵列由四列反射镜通过交错排列构成,并集成在谐振体两侧的末端。本发明解决了现有体声波谐振器中存在的锚点损耗较大、品质因数较低的问题,有利于实现其在低相位噪声振荡器,窄带滤波器和高精度传感器中的应用。

    一种基于蚕丝蛋白的柔性复合传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113252081A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110518955.6

    申请日:2021-05-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于蚕丝蛋白的柔性复合传感器及其制备方法,该柔性复合传感器包括柔性基底、叉指电极、复合传感材料,柔性基底可直接贴合皮肤或者其他被测物体表面,叉指电极位于柔性基底和复合传感材料之间,复合传感材料为蚕丝蛋白、石墨烯薄膜,能对环境中的湿度变化、温度变化产生反应,同时,还能对拉伸作出反应,通过对不同环境因素的改变而发生相应的变化,实现对外部环境的感知,且制作方法简单,器件尺寸小、柔性可穿戴,具有广泛的应用前景。

    一种基于CORDIC算法的OFDM基带信号生成及解调方法

    公开(公告)号:CN111865862B

    公开(公告)日:2021-06-01

    申请号:CN202010690355.3

    申请日:2020-07-17

    Abstract: 本发明公开了一种基于CORDIC算法的OFDM基带信号生成及解调方法,涉及无线通信技术领域。其生成过程包括:在相位累加后的数据中加入相位控制字,之后根据得到的幅度数据和相位数据,采用CORDIC算法计算并输出得到子载波调制信号,将子载波调制信号相加即生成OFDM基带信号。该产生过程由于CORDIC算法只需要简单的移位和加减法运算,因此可以有效降低硬件资源的使用。其解调过程包括:基于CORDIC算法计算生成与该路子载波频率对应的两个正交信号;将下变频后的OFDM基带信号,分别与两个正交信号相乘;将两个相乘后的信号分别进行积分处理,得到该路子载波对应的调制信息。该解调过程利用OFDM信号的正交性来实现解调,方法简单,且可以有效缓解FFT使用硬件资源过多的问题。

    一种基于CORDIC算法的OFDM基带信号生成及解调方法

    公开(公告)号:CN111865862A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010690355.3

    申请日:2020-07-17

    Abstract: 本发明公开了一种基于CORDIC算法的OFDM基带信号生成及解调方法,涉及无线通信技术领域。其生成过程包括:在相位累加后的数据中加入相位控制字,之后根据得到的幅度数据和相位数据,采用CORDIC算法计算并输出得到子载波调制信号,将子载波调制信号相加即生成OFDM基带信号。该产生过程由于CORDIC算法只需要简单的移位和加减法运算,因此可以有效降低硬件资源的使用。其解调过程包括:基于CORDIC算法计算生成与该路子载波频率对应的两个正交信号;将下变频后的OFDM基带信号,分别与两个正交信号相乘;将两个相乘后的信号分别进行积分处理,得到该路子载波对应的调制信息。该解调过程利用OFDM信号的正交性来实现解调,方法简单,且可以有效缓解FFT使用硬件资源过多的问题。

    一种差分输入输出式MEMS谐振器及其加工方法

    公开(公告)号:CN112073024B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202010961841.4

    申请日:2020-09-14

    Abstract: 本发明公开了一种差分输入输出式MEMS谐振器及其加工方法,包括:SOI支撑台、外接差分输入电极盘、外接差分输出电极盘、外接地电极盘、一维声子晶体支撑梁和谐振体;所述谐振体通过一维声子晶体支撑梁与SOI支撑台固定连接,形成悬浮结构;所述SOI支撑台的一端表面与外接差分输入电极盘固定连接,其另一端表面与外接差分输出电极盘固定连接;所述谐振体分别与外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘电连接;所述外接地电极盘固定在SOI支撑台上,并分别位于外接差分输入电极盘和外接差分输出电极盘的两侧;本发明通过降低谐振器的锚点损耗,提高器件的品质因数,解决现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高的问题。

    一种集成鱼鳞形反射镜阵列的体声波谐振器及其加工方法

    公开(公告)号:CN110460319A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201910769613.4

    申请日:2019-08-20

    Abstract: 本发明公开了一种集成鱼鳞形反射镜阵列的体声波谐振器及其加工方法,所述体声波谐振器包括SOI基底、位于SOI基底顶端的输入电极盘、输出电极盘、地电极盘,以及通过支撑梁固定并悬浮于SOI基底中心处的谐振体,谐振体两侧集成了鱼鳞形反射镜阵列;输入电极盘和输出电极盘对称设置在SOI基底顶端的两侧,且输入电极盘和输出电极盘的两侧均对称设置有地电极盘;鱼鳞形反射镜阵列由四列反射镜通过交错排列构成,并集成在谐振体两侧的末端。本发明解决了现有体声波谐振器中存在的锚点损耗较大、品质因数较低的问题,有利于实现其在低相位噪声振荡器,窄带滤波器和高精度传感器中的应用。

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