用于气体组分分析的压电谐振式MEMS光谱芯片

    公开(公告)号:CN119619286A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202510151637.9

    申请日:2025-02-11

    Abstract: 本发明涉及微机电技术领域及气体检测技术领域,具体为用于气体组分分析的压电谐振式MEMS光谱芯片,包括硅衬底,硅衬底为镂空的平板,其上形成有第一支撑梁和第二支撑梁,第一支撑梁和第二支撑梁交叉排布呈十字型,其中第一支撑梁上设有两个TPoS谐振器,两个TPoS谐振器关于十字型的交叉点对称,均包括自下而上依次设置的掺杂硅层、压电薄膜、以及顶部电极,顶部电极上设有自组装金纳米颗粒阵列,且该阵列中的金纳米颗粒为经官能团修饰的自组颗粒。本发明通过设置两个谐振与自组装金纳米颗粒阵列实现了对待检测气体的质量定量分析、以及对待检检测气体组分的精准分析。

    基于运动转换和惯性旋转的低频能量采集器件结构

    公开(公告)号:CN119030234A

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202411200516.0

    申请日:2024-08-29

    Abstract: 本发明属于新能源器件技术领域,具体涉及基于运动转换和惯性旋转的低频能量采集器件结构。基于运动转换和惯性旋转的低频能量采集器件结构,包括定子组件,定子组件包括定子底座、以及设于定子底座上的轴支撑;轴支撑上安装有转轴,转轴上依次套设有转子组件、棘爪机构、以及摆锤,通过采用驱动转子组件惯性旋转,将不规则和低频的机械运动转化为单向高速的旋转运动,以惯性旋转的形式通过电磁感应原理实现能量采集,以实现对低频能量的高效采集,从而提高低频能量采集器件的实用性和可行性。

    一种光驱动高拉伸传感器及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118816696A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410883560.X

    申请日:2024-07-02

    Abstract: 本发明提供了一种光驱动高拉伸传感器及其制备方法和应用。本发明的纤维膜光驱动高拉伸传感器的制备方法,将透明的TPU颗粒溶解在有机溶剂中,通过静电纺丝的方式制备纤维型的高拉伸TPU薄膜,将TPU纤维薄膜进行等离子处理并将其浸没在碳纳米管溶液中,等离子处理后的器件表面为亲水性,浸没时碳纳米管溶液可以充分渗透到TPU薄膜内部,MCNT充当导电材料;蒸干溶剂后,用扭线机将MCNT/TPU扭转成扭曲电极。本发明所制备的光驱动高拉伸传感器,在受到近红外光照射时,通过吸收光能并将其转化为热能,实现驱动功能。这种驱动方式无需外接电源,不仅降低了能耗和成本,还提高了器件的便携性和可靠性。

    倒装芯片模塑底填工艺可视化平台的替代芯片的制备方法

    公开(公告)号:CN115020253A

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202210599380.X

    申请日:2022-05-30

    Inventor: 王彦 晏雅媚 陈桂

    Abstract: 本发明公开了一种倒装芯片模塑底填工艺可视化平台的替代芯片的制备方法,取两个透明基片清洗干净,分别粘贴与透明基片同等大小的透明双面胶,得到两个具有胶面的透明基片;将其中一个透明基片的胶面朝上,将钢网下扣使得凹槽固定透明基片,保持钢网上的通孔面在上并水平放置;将过量焊球导入钢网上,使得焊球通过通孔直接掉落在透明基片上的胶面上;将钢网翻转,从凹槽内把嵌有焊球的透明基片取出,并使焊球面与另一透明基片的胶面上压合固定,得到替代芯片。本发明具有可用于搭建一种可进行多次流动实验、避免浪费、成本低、制作简便、可视化且能很好的反应倒装芯片特征的等效可视化实验平台。

    用于气体组分分析的压电谐振式MEMS光谱芯片

    公开(公告)号:CN119619286B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202510151637.9

    申请日:2025-02-11

    Abstract: 本发明涉及微机电技术领域及气体检测技术领域,具体为用于气体组分分析的压电谐振式MEMS光谱芯片,包括硅衬底,硅衬底为镂空的平板,其上形成有第一支撑梁和第二支撑梁,第一支撑梁和第二支撑梁交叉排布呈十字型,其中第一支撑梁上设有两个TPoS谐振器,两个TPoS谐振器关于十字型的交叉点对称,均包括自下而上依次设置的掺杂硅层、压电薄膜、以及顶部电极,顶部电极上设有自组装金纳米颗粒阵列,且该阵列中的金纳米颗粒为经官能团修饰的自组颗粒。本发明通过设置两个谐振与自组装金纳米颗粒阵列实现了对待检测气体的质量定量分析、以及对待检检测气体组分的精准分析。

    一种嵌入式微网格柔性透明导电电极及其制备方法

    公开(公告)号:CN117727494A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202410061897.2

    申请日:2024-01-16

    Abstract: 本发明提供了一种嵌入式微网格柔性透明导电电极及其制备方法,涉及柔性器件技术领域。该方法:通过简单涂布和真空除泡将PDMS置于制备好的硅模板上,加热使得PDMS固化,获得带有微沟道图案的PDMS衬底;制备纳米银导电墨水;将制备好的纳米银墨水涂满PDMS带有微沟道侧,用刮刀刮掉表面多余金属导电墨水;将填充好银颗粒墨水的PDMS衬底进行超声辅助烧结,使得导电颗粒墨水烧结成导电线路,获得嵌入式微网格柔性透明导电电极;本方法制作的柔性透明电极将导电线路嵌入于柔性基底中获得了独立的导电性和透光性,拥有较好的导电性能与柔性性能,同时可以在低温度实现较为致密的烧结导线,制备方法成本低,操作简单。

    一种可水洗的自供能柔性高拉伸传感器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN116698233A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310874706.X

    申请日:2023-07-17

    Abstract: 本发明公开了一种可水洗的自供能柔性高拉伸传感器件,包括柔性基底,柔性基底上设导电层,导电层上设封装层,封装层上表面设摩擦面;导电层由银纳米线构成,银纳米线为AgNW;封装层为PDMS;柔性基底为TPU;摩擦面与外附加的摩擦层进行摩擦从而实现柔性高拉伸传感器件的自供能。本发明的器件利用摩擦电传感,在使用时不需要额外附加电流,实现了自供能。本发明的制备方法具有简单、高效、快速等优点。本发明基于旋涂加热的工艺制备了可水洗的高拉伸电极,基于该可水洗的高拉伸电极,制备了带有微结构的可水洗自供能压力传感器件,可在超声波的条件下进行水洗,水洗后的电极的拉伸性能收到了部分损伤,但电极的初始电阻几乎没有变化。

    一种基于深度张量神经网络的无监督地震数据去噪方法

    公开(公告)号:CN114114397A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111337078.9

    申请日:2021-11-12

    Abstract: 本发明公开一种基于深度张量神经网络的无监督地震数据去噪方法,应用于地震数据处理领域,针对现有技术存在的去噪性能低下的问题;本发明首先使用SURE替代MSE的代价函数将数据去噪转换为相应的无监督回归模型;之后,建立了一个SURE‑TCNN网络框架,遵循tNN框架和基于变换的t‑product,这是对传统tNN框架的t‑product的扩展;利用t‑product中的优点,基于张量的SURE‑TCNN可以拆分为单独的基于矩阵的SURE‑CNN,用于时频域中的每个正面或时间片,这样易于求解和更加具有吸引力;最后合成和真实的数据实验表明,与SOTA去噪方法相比,所提出的方法实现了优越的性能。

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