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公开(公告)号:CN110875402B
公开(公告)日:2021-08-10
申请号:CN201810996818.1
申请日:2018-08-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/0264 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于光电材料技术领域,具体涉及一种复合薄膜敏感材料、红外探测器及制备方法。本发明所要解决的技术问题是提供一种复合薄膜敏感材料及其制备方法,该复合薄膜敏感材料包括二维材料层和金属纳米颗粒层;其中,金属纳米颗粒为圆锥状,底面直径为5~40nm、高度为3~17nm,金属纳米颗粒层为单层的金属纳米颗粒。本发明通过对二维材料进行金属纳米颗粒修饰所得的复合薄膜敏感材料能够提高对近红外光的吸收率。
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公开(公告)号:CN109166961B
公开(公告)日:2020-05-19
申请号:CN201810944474.X
申请日:2018-08-19
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明技术领域,具体涉及一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法。本发明采用雕刻图形化的加工工艺,无需掩模版,可以同时进行大规模可控化制备,通过串并联结构设计,拓展器件工作能力与应用范围。现有的制备工艺中,由于多次溶液刻蚀会对PVDF上的铝膜造成不可逆的损害,使图形化成品率差;而使用离子刻蚀的机器成本高昂,本发明通过改进PCB蓝膜工艺,最终解决了成本和成品品质兼得的工艺方法。
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公开(公告)号:CN109166961A
公开(公告)日:2019-01-08
申请号:CN201810944474.X
申请日:2018-08-19
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明技术领域,具体涉及一种PVDF阵列式柔性压电传感器的图形化刻蚀方法。本发明采用雕刻图形化的加工工艺,无需掩模版,可以同时进行大规模可控化制备,通过串并联结构设计,拓展器件工作能力与应用范围。现有的制备工艺中,由于多次溶液刻蚀会对PVDF上的铝膜造成不可逆的损害,使图形化成品率差;而使用离子刻蚀的机器成本高昂,本发明通过改进PCB蓝膜工艺,最终解决了成本和成品品质兼得的工艺方法。
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公开(公告)号:CN117080289A
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202310831933.4
申请日:2023-07-07
Applicant: 电子科技大学 , 成都燎原星光电子有限责任公司
IPC: H01L31/102
Abstract: 本发明属于光电领域,具体为一种适用于微型红外光谱仪的石墨烯铁电等离激元探测器。解决了传统红外光谱仪体积大的问题,为红外光谱仪的小型化提供了一种可行的设计方法。主要解决方案包括通过铁电畴的超高静电场对图形化的石墨烯进行静电掺杂,来激发石墨烯自身的等离激元效应,进而实现红外波段的探测,同时改变铁电畴的剩余极化强度,即可实现石墨烯探测波段的可调谐性。相较于传统的光谱仪减少了分光模块以及减小了探测器数量,这极大减小了器件的体积。
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公开(公告)号:CN117073839A
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202311103779.5
申请日:2023-08-29
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明属于光电技术领域,公开了一种基于图案化黑磷结构的可调谐微型红外光谱仪,基于图案化黑磷结构的可调谐微型红外光谱仪的光电探测器模块的光吸收层使用图案化黑磷、衬底使用Si衬底、金镜层使用PEC板;图案化黑磷、Si衬底、PEC板从上至下依次设置。本发明利用图案化黑磷结构实现了在中远红外波段内可调谐的光电探测器,利用可调谐特性实现小型化的光谱仪的设计,结构简单,解决了传统红外光谱仪体积大的问题,为红外光谱仪的小型化提供了一种可行的设计方法。
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公开(公告)号:CN116914015A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202310831931.5
申请日:2023-07-07
Applicant: 电子科技大学 , 成都燎原星光电子有限责任公司
IPC: H01L31/109 , H01L31/0296 , H01L31/18 , B82Y20/00
Abstract: 本发明提供了一种基于碲‑二硫化钼异质结光电人工突触及其制备方法,包括两端电极和二维材料异质结层以及基底,所述两端电极为镍金电极,所述二维材料异质结层材料包括二硫化钼纳米片和二维碲纳米片,所述基底为有一层二氧化硅的硅基底,光电人工突触的制备方法,包括以下步骤:提供亚碲酸钠、PVP粉末、一水合肼、氨水为原材料,以一定配比溶解于去离子水中,通过水热法得到碲纳米片,将所述碲纳米片分散在溶剂中形成碲纳米片分散液,将所述碲纳米片滴铸在基底上;提供二硫化钼原料,使用机械剥离法得到二硫化钼纳米片,将所述二硫化钼纳米片转移到碲纳米片上得到异质结;在异质结两端溅射得到镍金电极,得到二维材料异质结光电突触。
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公开(公告)号:CN119575524A
公开(公告)日:2025-03-07
申请号:CN202411711021.4
申请日:2024-11-27
Applicant: 电子科技大学 , 成都燎原星光电子有限责任公司
Abstract: 本发明公开了一种基于图形化纳米金阵列修饰的石墨烯等离激元偏振器及应用,属于光通信技术领域。本发明的石墨烯等离激元偏振器包括基底二氧化硅,光吸收层石墨烯,图形化的金纳米阵列和顶电极源漏电极。本发明嵌套的金纳米圆柱和金纳米圆环形成共振腔,利用表面等离子共振效应,对等离激元偏振器的吸收波段进行调控的,通过改变金纳米圆环和金纳米圆柱的相对位置改变共振腔的形状,形成了各个方向共振腔尺寸不同的纳米结构,使得本发明的等离激元偏振器对不同偏振光敏感。同时,金纳米阵列激发的局域表面等离激元效应增大了石墨烯表面电场,提高的石墨烯中电子空穴对的产生率,提升了等离激元偏振器的探测效率。
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公开(公告)号:CN117241598A
公开(公告)日:2023-12-15
申请号:CN202311134204.X
申请日:2023-09-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于光电领域,具体为一种基于微纳结构的紫外/红外双波段可调谐探测器。其创新点在在于通过微纳结构实现了在紫外和红外两个波段均能进行探测,实现了双波段探测器小型化。主要的实现方案包括:通过将两种禁带宽度不同的材料结合在一起,从而实现双波段探测;通过改变铁电畴的剩余极化强度,即可实现石墨烯探测波段的可调谐性。相较于传统的光谱仪,此器件可同时实现两个波段的探测,这极大提高了应用场景和适用范围。
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公开(公告)号:CN110875402A
公开(公告)日:2020-03-10
申请号:CN201810996818.1
申请日:2018-08-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/09 , H01L31/0264 , H01L31/18
Abstract: 本发明属于光电材料技术领域,具体涉及一种复合薄膜敏感材料、红外探测器及制备方法。本发明所要解决的技术问题是提供一种复合薄膜敏感材料及其制备方法,该复合薄膜敏感材料包括二维材料层和金属纳米颗粒层;其中,金属纳米颗粒为圆锥状,底面直径为5~40nm、高度为3~17nm,金属纳米颗粒层为单层的金属纳米颗粒。本发明通过对二维材料进行金属纳米颗粒修饰所得的复合薄膜敏感材料能够提高对近红外光的吸收率。
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