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公开(公告)号：CN101291729A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200680039430.8
申请日：2006-10-23
CPC classification number: G01N27/44791 , B01D3/00 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00837 , B01J2219/00853 , B01J2219/0086 , B01J2219/00873 , B01J2219/00889 , B01J2219/00891 , B01L3/502723 , B01L3/502769 , B01L2200/0684 , B01L2300/089 , B01L2300/1827 , B01L2400/046 , Y10T436/2575
Abstract: 本发明涉及一种微型芯片装置，其具有：微型芯片，其形成液体流过的液体流路(98)；气体流路(65、67)，其设置为沿着该液体流路；以及多个间隙部(71、73)，其形成于前述液体流路与前述气体流路之间，一个开口面向前述液体流路，另一个开口面向前述气体流路，使该间隙部的间隙成为气体可以通过而前述液体无法通过的间隙，在前述间隙部处形成气液界面。
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公开(公告)号：CN101291729B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200680039430.8
申请日：2006-10-23
CPC classification number: G01N27/44791 , B01D3/00 , B01J19/0093 , B01J2219/00783 , B01J2219/00837 , B01J2219/00853 , B01J2219/0086 , B01J2219/00873 , B01J2219/00889 , B01J2219/00891 , B01L3/502723 , B01L3/502769 , B01L2200/0684 , B01L2300/089 , B01L2300/1827 , B01L2400/046 , Y10T436/2575
Abstract: 本发明涉及一种微型芯片装置，其具有：微型芯片，其形成液体流过的液体流路(98)；气体流路(65、67)，其设置为沿着该液体流路；以及多个间隙部(71、73)，其形成于前述液体流路与前述气体流路之间，一个开口面向前述液体流路，另一个开口面向前述气体流路，使该间隙部的间隙成为气体可以通过而前述液体无法通过的间隙，在前述间隙部处形成气液界面，其中，前述间隙部是形成于前述微型芯片上的通孔，其一个开口开设在前述微型芯片的前述液体流路的底部，另一个开口开设在前述微型芯片的与形成液体流路的表面相反一侧的表面上。
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公开(公告)号：CN1140836A
公开(公告)日：1997-01-22
申请号：CN96107577.5
申请日：1996-05-29
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01L1/20
CPC classification number: G01L13/025 , G01L9/0054 , G01L9/045 , G01L15/00
Abstract: 一种半导体差示压力测量装置，包括使用微加工技术安设在半导体基片上的两个测量膜片和两个检测传感器，以及计算这两个传感器之间的输出差的计算电路。此外，计算电路可以被布置成仅仅使用至少一个第一传感器和一个第二传感器(各在一个测量膜片上)来构成所需要的桥式电路，以减少制作成本。
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公开(公告)号：CN102087254A
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN201010588393.4
申请日：2010-12-08
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01N30/60
CPC classification number: G01N30/6095 , B01D53/02 , B01D53/62 , B01D2253/102 , B01D2253/104 , B01D2253/106 , B01D2253/308 , B01D2253/31 , B01D2256/10 , B01D2256/12 , G01N30/56 , G01N30/6052 , G01N30/6073 , G01N2030/025
Abstract: 本发明提供一种气相色谱仪用色谱柱，该色谱柱具有对气相色谱法被检测气体进行吸附的细小流路，在所述细小流路的一部分或者全部的内壁面上具有以均一的大小形成的多个细孔。
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公开(公告)号：CN1038162A
公开(公告)日：1989-12-20
申请号：CN89103429.3
申请日：1989-05-25
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01L1/10
CPC classification number: G01H13/00 , G01L9/0019 , Y10T29/49103
Abstract: 本发明涉及一种振动型传感器，其中H形振子与硅基片形成整体，在周围有一个空腔，连同放大器一起，在其固有频率上保持自激振荡；当施加到硅基片上一定物理量，如力、压力、差压等时，振子的固有频率随该物理量而变化，通过变化检测物理量；通过半导体技术制造该振动型传感器的工艺；维持空腔内真空的工艺；给予振子初始应力的结构，以及使自激振荡稳定工作的放大器结构。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN1149931A
公开(公告)日：1997-05-14
申请号：CN96190266.3
申请日：1996-03-28
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: G01L9/0042 , G01L9/0054
Abstract: 一种半导体压力传感器，其特征在于具备有：单晶硅衬底；设置在该单晶硅衬底上用以形成由外延生长法制备的测量薄膜，并作为该薄膜在承受过大压力时的背面支撑的具有确定狭小间隙的密闭空腔；以及在由前述单晶硅构成的测量薄膜上制作的应变检测元件。
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公开(公告)号：CN1013407B
公开(公告)日：1991-07-31
申请号：CN89103429.3
申请日：1989-05-25
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01L1/10
CPC classification number: G01H13/00 , G01L9/0019 , Y10T29/49103
Abstract: 本发明涉及一种振动型传感器，其中H型振子与硅基片形成整体，在周围有一个空腔，连同放大器一起，在其固有频率上保持自激振荡；当施加到硅基片上一定物理量，如力、压力、差压等时，振子的固有频率随该物理量而变量，通过变化检测物理量；通过半导体技术制造该振动型传感器的工艺；维持空腔内真空的工艺；给予振子初始应力的结构，以及使自激振荡稳定工作的放大器结构。
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公开(公告)号：CN102375001A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110238019.6
申请日：2011-08-18
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: G01N30/66 , G01N27/18 , G01N30/6095
Abstract: 本发明提供一种热导率检测器以及使用了该检测器的气相色谱仪，其即使是微小化的发热体，也可以实现高检测性能，并且可以扩大发热体的实质上的可使用温度。该热导率检测器在测定气体流过的流路的内部配置形成于基板上的发热体，根据上述测定气体从上述发热体带走的热量的大小，对上述测定气体的热导率进行检测，其特征在于，上述发热体具有梁部，其在中央部形成规定角度的折返部。
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