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公开(公告)号：CN1100198A
公开(公告)日：1995-03-15
申请号：CN93117514.3
申请日：1993-09-10
Applicant: 横河电机株式会社
Inventor： 池田恭一 , 渡边哲也 , 本秀郎 , 工藤贵裕 , 长井浩二 , 福原聪
IPC: G01L13/02
Abstract: 一种半导体式差压测量装置，它含有一个周边固定的测量膜片和两个各有预定间隔的沿所述的测量膜片两表面的测量室。该装置在允许的测量极限内检出差压，但当施加过压时，测量膜片直接由测量室的壁支持以防止膜片被过压所损坏。因此，该装置不需要抗过压的附加保护机构。
