公开(公告)号：CN1013407B

公开(公告)日：1991-07-31

申请号：CN89103429.3

申请日：1989-05-25

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 原田谨尔 ,  池田恭一 ,  桑山秀树 ,  小林隆 ,  西川直 ,  渡边哲也 ,  吉田隆司

IPC: G01L1/10

CPC classification number: G01H13/00 ,  G01L9/0019 ,  Y10T29/49103

Abstract: 本发明涉及一种振动型传感器，其中H型振子与硅基片形成整体，在周围有一个空腔，连同放大器一起，在其固有频率上保持自激振荡；当施加到硅基片上一定物理量，如力、压力、差压等时，振子的固有频率随该物理量而变量，通过变化检测物理量；通过半导体技术制造该振动型传感器的工艺；维持空腔内真空的工艺；给予振子初始应力的结构，以及使自激振荡稳定工作的放大器结构。

公开(公告)号：CN1038162A

公开(公告)日：1989-12-20

申请号：CN89103429.3

申请日：1989-05-25

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 原田谨尔 ,  池田恭一 ,  桑山秀树 ,  小林隆 ,  西川直 ,  渡边哲也 ,  吉田隆司

IPC: G01L1/10

CPC classification number: G01H13/00 ,  G01L9/0019 ,  Y10T29/49103

Abstract: 本发明涉及一种振动型传感器，其中H形振子与硅基片形成整体，在周围有一个空腔，连同放大器一起，在其固有频率上保持自激振荡；当施加到硅基片上一定物理量，如力、压力、差压等时，振子的固有频率随该物理量而变化，通过变化检测物理量；通过半导体技术制造该振动型传感器的工艺；维持空腔内真空的工艺；给予振子初始应力的结构，以及使自激振荡稳定工作的放大器结构。