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公开(公告)号：CN116817762A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310783225.8
申请日：2023-06-29
Applicant: 桂林电子科技大学 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供的是一种闭环控制的单频激光干涉测量增益调整的装置和方法。其特征是：单频激光信号通过闭环增益调整装置后转换为数字信号用于相位解算。所述装置和方法为：单频激光干涉仪发出的激光信号经由光电转换模块、直流偏置模块和增益模块信号后，被模数转换模块采集发送给FPGA单元，解算后获得直流偏差和增益控制数据。通过反馈网络对光电转换模块、直流偏置模块和增益模块进行直流补偿和反馈调节。本发明可用于单频激光干涉测量的信号增益调整前处理，维持采集信号在模数转换模块的采样范围内均匀稳定。
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公开(公告)号：CN116793227A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310783220.5
申请日：2023-06-29
Applicant: 桂林电子科技大学 , 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供的是一种单频激光干涉信号损耗误差补偿的装置和方法。所述装置包括雪崩二极管1、负高压模块2、跨阻放大器3、信号调理单元4、电压检测单元5、电压控制单元6以及信号处理单元7，所述方法为利用单频激光干涉测量信号的相位特征对四通道单频激光干涉信号的光功率和AC/DC差异进行幅值和直流偏置补偿。本发明可用于单频激光信号相位解算中硬件的误差补偿，有效降低单频激光干涉系统对误差处理的解算难度，从而提高相位解算的准确性。
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公开(公告)号：CN109856929A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711241310.2
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 顾俊
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明提供了一种带相位补偿的信号处理装置，包括：信号采集模块，用于采集实际的工作信号；信号模拟模块，用于模拟任意频率、幅值的工作信号，模拟得到的信号定义为检测信号；信号处理模块，可选性地与信号采集模块、信号模拟模块连接，用于对接收的信号进行调理和采样；相位差检测模块，分别与信号模拟模块和信号处理模块连接，并检测经信号处理模块处理前后的检测信号之间的相位差；输出控制模块，与相位差检测模块和信号处理模块连接，并形成相位差补偿表，及根据相位补偿表对信号处理模块处理后的工作信号相位补偿。本发明提供了一种信号处理装置及处理方法、对准系统及对准方法和光刻机，消除了信号处理中不同级次光混合后产生的相位差。
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公开(公告)号：CN106933044B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201511024259.0
申请日：2015-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 , 上海微高精密机械工程有限公司
Abstract: 本发明公开了一种调焦调平的离焦倾斜补偿装置与方法，该装置包括：照明单元、投影单元、探测单元及中继单元，所述投影单元包括投影狭缝整列，该投影狭缝阵列包括若干用于形成精测试光斑的第一狭缝，和设置在所述第一狭缝周围用于形成倾斜测试光斑的第二狭缝，所述第二狭缝沿调节调平系统的投影方向设置。本发明在沿着调焦调平系统的投影方向在第一狭缝的附近增加第二狭缝，进而在精测试光斑周围增设倾斜测试光斑，从而改变光斑布局，通过该倾斜测试光斑实现对硅片面上每个精测试光斑沿调焦调平系统投影方向的倾斜量进行实时测量，并使用软件模块根据倾斜量对单点的测量结果进行补偿。
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公开(公告)号：CN109856929B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201711241310.2
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 顾俊
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明提供了一种带相位补偿的信号处理装置，包括：信号采集模块，用于采集实际的工作信号；信号模拟模块，用于模拟任意频率、幅值的工作信号，模拟得到的信号定义为检测信号；信号处理模块，可选性地与信号采集模块、信号模拟模块连接，用于对接收的信号进行调理和采样；相位差检测模块，分别与信号模拟模块和信号处理模块连接，并检测经信号处理模块处理前后的检测信号之间的相位差；输出控制模块，与相位差检测模块和信号处理模块连接，并形成相位差补偿表，及根据相位补偿表对信号处理模块处理后的工作信号相位补偿。本发明提供了一种信号处理装置及处理方法、对准系统及对准方法和光刻机，消除了信号处理中不同级次光混合后产生的相位差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111610699A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201910132647.2
申请日：2019-02-22
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明实施例提供一种掩模对准传感器和光刻机，掩模对准传感器，包括：标记板，包括标记板底壁和标记板侧壁，所述标记板底壁与所述标记板侧壁围成第一凹槽；传感器和传感器板，位于所述第一凹槽内；所述传感器位于所述传感器板上，所述传感器位于所述传感器板与所述标记板底壁之间；前放板，位于所述传感器板远离所述标记板底壁一侧；屏蔽部件，所述屏蔽部件形成一腔室，所述传感器、传感器板以及所述前放板位于所述腔室内；所述标记板底壁包括透明标记区，所述透明标记区正对所述传感器的感应面，所述屏蔽部件设置有开口结构，所述开口结构露出所述透明标记区。本发明实施例提供一种掩模对准传感器和光刻机，以实现提高掩模对准精度和套刻精度。
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公开(公告)号：CN108508713B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201710115103.6
申请日：2017-02-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种掩模传输预对准装置及方法，依次包括光源模组、预对准测试部件和成像模组；光源模组依次包括光源、准直单元和带十字标记的掩模版；成像模组包括第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器和四象限探测器，所述光源发出的光线进入所述成像模组后，依次经第一转折棱镜和半透半反射棱镜后，其中一部分进入CCD探测器，另一部分进入四象限探测器。在对准过程中，首先将带十字标记的掩模版上十字标记成像在CCD探测器中，检测出光源模组与成像模组之间的位置偏差量，并根据该位置偏差量对之后的四象限探测器测量值进行线性校准补偿，实现了自身检测和标定的功能，解决光源模组和成像模组对准精度不高的问题，保证了预对准精度。
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公开(公告)号：CN108508713A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201710115103.6
申请日：2017-02-28
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种掩模传输预对准装置及方法，依次包括光源模组、预对准测试部件和成像模组；光源模组依次包括光源、准直单元和带十字标记的掩模版；成像模组包括第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器和四象限探测器，所述光源发出的光线进入所述成像模组后，依次经第一转折棱镜和半透半反射棱镜后，其中一部分进入CCD探测器，另一部分进入四象限探测器。在对准过程中，首先将带十字标记的掩模版上十字标记成像在CCD探测器中，检测出光源模组与成像模组之间的位置偏差量，并根据该位置偏差量对之后的四象限探测器测量值进行线性校准补偿，实现了自身检测和标定的功能，解决光源模组和成像模组对准精度不高的问题，保证了预对准精度。
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