公开(公告)号：CN110873552A

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201811012250.1

申请日：2018-08-31

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 吴候 ,  王海江 ,  程鹏 ,  顾俊 ,  范纪铭

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供了一种激光干涉仪接收器，包括光电检测单元、I/V转换单元、多通道带通滤波单元、AGC单元、相位补偿单元、比较器、弱信号抑制单元和控制单元。本发明不仅能够提高测量精度和测量效率，还能够增加测量光路的通道数量，具有高信噪比。

公开(公告)号：CN109946927A

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：CN201711384841.7

申请日：2017-12-20

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 王丽 ,  王海江 ,  程鹏

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明提供了光对准信号处理方法，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。本发明提供的光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统能够使得对准精度高。

公开(公告)号：CN110873552B

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN201811012250.1

申请日：2018-08-31

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 吴候 ,  王海江 ,  程鹏 ,  顾俊 ,  范纪铭

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

Abstract: 本发明提供了一种激光干涉仪接收器，包括光电检测单元、I/V转换单元、多通道带通滤波单元、AGC单元、相位补偿单元、比较器、弱信号抑制单元和控制单元。本发明不仅能够提高测量精度和测量效率，还能够增加测量光路的通道数量，具有高信噪比。

公开(公告)号：CN109946927B

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201711384841.7

申请日：2017-12-20

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 王丽 ,  王海江 ,  程鹏

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明提供了光对准信号处理方法，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。本发明提供的光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统能够使得对准精度高。