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公开(公告)号：CN111610699A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201910132647.2
申请日：2019-02-22
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明实施例提供一种掩模对准传感器和光刻机，掩模对准传感器，包括：标记板，包括标记板底壁和标记板侧壁，所述标记板底壁与所述标记板侧壁围成第一凹槽；传感器和传感器板，位于所述第一凹槽内；所述传感器位于所述传感器板上，所述传感器位于所述传感器板与所述标记板底壁之间；前放板，位于所述传感器板远离所述标记板底壁一侧；屏蔽部件，所述屏蔽部件形成一腔室，所述传感器、传感器板以及所述前放板位于所述腔室内；所述标记板底壁包括透明标记区，所述透明标记区正对所述传感器的感应面，所述屏蔽部件设置有开口结构，所述开口结构露出所述透明标记区。本发明实施例提供一种掩模对准传感器和光刻机，以实现提高掩模对准精度和套刻精度。
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公开(公告)号：CN106814545B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201510856576.2
申请日：2015-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 , 上海微高精密机械工程有限公司
Abstract: 本发明提供了一种气压测量装置、气压测量方法、调焦调平装置和光刻机设备。气压测量装置包括连接至供气装置的参考管路和多个测量管路；位于参考管路一端的参考管路气嘴，参考管路气嘴设置于一参考平面上方，用于向参考平面喷射气体；位于每个测量管路一端的分支测量管路气嘴，多个分支测量管路气嘴并排设置于同一测量平面上方，用于向测量平面喷射气体；连接于参考管路和多个测量管路之间的气压计；连接至吸气装置的多个吸气管路及位于每个吸气管路一端的分支吸气管路气嘴，多个分支吸气管路气嘴并排设置于测量平面上方，并且，一个分支测量管路气嘴周围设置至少两个分支吸气管路气嘴，用于吸走测量管路周围的气体，提高了位置测量的精度。
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公开(公告)号：CN109946927A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201711384841.7
申请日：2017-12-20
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了光对准信号处理方法，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。本发明提供的光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统能够使得对准精度高。
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公开(公告)号：CN109946927B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201711384841.7
申请日：2017-12-20
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了光对准信号处理方法，包括以下步骤：步骤1、光信号采集模块采集对准测量的多级次光信号信息；步骤2、滤波模块对所述多级次光信号信息处理，并允许a级次光信号信息通过；步骤3、对所述a级次光信号信息进行处理、分析，得到对准信息；其中，所述a级次光信号信息可以为1、3、5……级次光信号信息中的一个或多个。本发明提供的光对准信号处理方法、光栅对准方法以及对准系统能够使得对准精度高。
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