公开(公告)号：CN108508713B

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201710115103.6

申请日：2017-02-28

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 顾俊 ,  程习敏 ,  王海江 ,  于大维 ,  袁明波

IPC: G03F9/00

Abstract: 本发明公开了一种掩模传输预对准装置及方法，依次包括光源模组、预对准测试部件和成像模组；光源模组依次包括光源、准直单元和带十字标记的掩模版；成像模组包括第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器和四象限探测器，所述光源发出的光线进入所述成像模组后，依次经第一转折棱镜和半透半反射棱镜后，其中一部分进入CCD探测器，另一部分进入四象限探测器。在对准过程中，首先将带十字标记的掩模版上十字标记成像在CCD探测器中，检测出光源模组与成像模组之间的位置偏差量，并根据该位置偏差量对之后的四象限探测器测量值进行线性校准补偿，实现了自身检测和标定的功能，解决光源模组和成像模组对准精度不高的问题，保证了预对准精度。

公开(公告)号：CN108508713A

公开(公告)日：2018-09-07

申请号：CN201710115103.6

申请日：2017-02-28

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 顾俊 ,  程习敏 ,  王海江 ,  于大维 ,  袁明波

IPC: G03F9/00

Abstract: 本发明公开了一种掩模传输预对准装置及方法，依次包括光源模组、预对准测试部件和成像模组；光源模组依次包括光源、准直单元和带十字标记的掩模版；成像模组包括第一转折棱镜、半透半反射棱镜、CCD探测器和四象限探测器，所述光源发出的光线进入所述成像模组后，依次经第一转折棱镜和半透半反射棱镜后，其中一部分进入CCD探测器，另一部分进入四象限探测器。在对准过程中，首先将带十字标记的掩模版上十字标记成像在CCD探测器中，检测出光源模组与成像模组之间的位置偏差量，并根据该位置偏差量对之后的四象限探测器测量值进行线性校准补偿，实现了自身检测和标定的功能，解决光源模组和成像模组对准精度不高的问题，保证了预对准精度。

公开(公告)号：CN109856915B

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201711243395.8

申请日：2017-11-30

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 程习敏 ,  田翠侠 ,  蓝科

IPC: G03F7/20 ,  G02B13/00

Abstract: 本发明提供了一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包括第一镜组、第二镜组、第三镜组、第四镜组、第五镜组、第六镜组，所述第一镜组、第二镜组、第三镜组、第四镜组、第五镜组、第六镜组的焦距满足：0.05

公开(公告)号：CN109856915A

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201711243395.8

申请日：2017-11-30

Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司

Inventor： 程习敏 ,  田翠侠 ,  蓝科

IPC: G03F7/20 ,  G02B13/00

Abstract: 本发明提供了一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包括第一镜组、第二镜组、第三镜组、第四镜组、第五镜组、第六镜组，所述第一镜组、第二镜组、第三镜组、第四镜组、第五镜组、第六镜组的焦距满足：0.05