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公开(公告)号：CN114151343B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111445710.1
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G05B19/042 , F04C28/28
Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法，信息处理装置具备：读取部，该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件，存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件；检测部，该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据；及比较部，该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较，比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
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公开(公告)号：CN118462579A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410156189.7
申请日：2024-02-04
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种粉体难以夹在罗茨转子间，能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵及决定罗茨转子的形状的方法。第一罗茨转子(8)及第二罗茨转子(9)分别具有：具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)、与渐开线侧面(31)的外侧端部连接的圆弧凸面(34)、以及与渐开线侧面(31)的内侧端部连接的圆弧凹面(36)，圆弧凸面(34)的曲率半径(R1)比圆弧凹面(36)的曲率半径(R2)小。
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公开(公告)号：CN111048441A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910963541.7
申请日：2019-10-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置(100)具有形成供处理气体流动的流路(103)的内壁(104)，还具备：第一配管(130)，形成流路(103)的一部分；能够更换的配管部170，形成流路(103)的一部分，且位于第一配管(130)的流路(103)的下游侧并与第一配管(130)连接，配管部具有对将附着于内壁(104)的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部(174)；及第二配管(150)，形成流路(103)的一部分，且位于配管部(170)的流路(103)的下游侧并与配管部(170)连接。
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公开(公告)号：CN102052397A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010534956.1
申请日：2010-11-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F16C37/007 , F16C19/54 , F16C33/58 , F16C33/60 , F16C33/6659 , F16C2360/45
Abstract: 一种能够实现多个滚动轴承的同等和充分润滑的具有简单且紧凑结构的高度可靠的组合轴承被提供。该组合轴承包括相互接触并且设置于同一轴线上的第一滚动轴承和第二滚动轴承；和润滑油进口，润滑油进口用于将润滑油引入形成于第一滚动轴承和第二滚动轴承之间的内部空间内，润滑油进口被设置于第一滚动轴承的外圈和第二滚动轴承的外圈的至少一个上。
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公开(公告)号：CN112664453B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202011095756.0
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够防止由于热传导引起的泵壳的温度降低，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；外壳构造体(16)，该外壳构造体在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A)的外侧；以及隔热体(25A)，该隔热体位于泵壳(2)与外壳构造体(16)之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114109799B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202111448722.X
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
Abstract: 一种信息处理装置及信息处理方法，信息处理装置具有比较部，该比较部参照存储部，对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较，并输出比较结果，所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号：CN110050125B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880004933.4
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明具有：决定部，该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果。
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公开(公告)号：CN114109799A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111448722.X
申请日：2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
Abstract: 一种信息处理装置及信息处理方法，信息处理装置具有比较部，该比较部参照存储部，对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较，并输出比较结果，所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号：CN109216230A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810687965.0
申请日：2018-06-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C23C16/4412 , B01D2258/0216 , C23C16/4405 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C29/0092 , F04C2220/30 , H01J37/32834 , H01J37/32844 , H01L21/67017 , H01J37/3244 , H01J37/32862
Abstract: 本发明提供排气系统设备，减少排气系统设备的内部的副生成物的残留量而进一步提高排气系统设备的工作率。为了对半导体制造装置(12)的腔室(14)内进行排气，而在腔室(14)的下游设置真空泵(10)。气体供给装置(18)与真空泵(10)连接，而向真空泵(10)供给包含卤化氢和氮气的气体。
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公开(公告)号：CN102052397B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201010534956.1
申请日：2010-11-01
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F16C37/007 , F16C19/54 , F16C33/58 , F16C33/60 , F16C33/6659 , F16C2360/45
Abstract: 一种能够实现多个滚动轴承的同等和充分润滑的具有简单且紧凑结构的高度可靠的组合轴承被提供。该组合轴承包括相互接触并且设置于同一轴线上的第一滚动轴承和第二滚动轴承；和润滑油进口，润滑油进口用于将润滑油引入形成于第一滚动轴承和第二滚动轴承之间的内部空间内，润滑油进口被设置于第一滚动轴承的外圈和第二滚动轴承的外圈的至少一个上。
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