公开(公告)号：CN118462579A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410156189.7

申请日：2024-02-04

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 杉浦哲郎 ,  长山真己 ,  阿纳加·卡玛特卡尔 ,  堀部悠河 ,  大渕真志

IPC: F04C18/12 ,  F04C25/02 ,  F04C29/00 ,  G06F17/10 ,  G06F30/17

Abstract: 提供一种粉体难以夹在罗茨转子间，能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵及决定罗茨转子的形状的方法。第一罗茨转子(8)及第二罗茨转子(9)分别具有：具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)、与渐开线侧面(31)的外侧端部连接的圆弧凸面(34)、以及与渐开线侧面(31)的内侧端部连接的圆弧凹面(36)，圆弧凸面(34)的曲率半径(R1)比圆弧凹面(36)的曲率半径(R2)小。

公开(公告)号：CN111502954B

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN201911348087.0

申请日：2019-12-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 长山真己

IPC: F04B37/14 ,  F04B37/16

Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启。真空泵装置(1)具备：彼此相对配置并且是罗茨转子或者爪式转子的一对泵转子；固定有一对泵转子并且沿铅垂方向延伸的一对轴(8)；使一对泵转子旋转的电动机(10)；固定于一对轴(8)并且彼此啮合的一对定时齿轮(25)；配置于一对泵转子的上方的固定侧轴承；以及支承轴(8)的自由侧轴承。

公开(公告)号：CN116265753A

公开(公告)日：2023-06-20

申请号：CN202211611161.5

申请日：2022-12-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 长山真己 ,  荒井秀夫

IPC: F04D17/10 ,  F04D27/00 ,  F04D29/58 ,  F04D29/42 ,  F04D29/44 ,  F04D29/70

Abstract: 本发明提供一种下述的真空泵装置及其运转方法：能够减少由工艺气体引起的副产物在泵室内的堆积，防止真空泵装置的意外停止，而且能够可靠地进行真空泵装置的再起动。真空泵装置具备：泵壳体(2)，该泵壳体在内部具有泵室(1)；泵转子(5E)，该泵转子配置在泵室(1)内；旋转轴(7)，在该旋转轴固定有泵转子(5E)；轴承(17)，该轴承将旋转轴(7)支承为能够旋转；侧盖(10A)，该侧盖与泵壳体(2)连接；加热器(35)，该加热器安装于侧盖(10A)；以及加热器控制部(40)，该加热器控制部在泵转子(5E)正在旋转时使加热器(35)间歇性地发热，轴承(17)与侧盖(10A)连结。

公开(公告)号：CN118462578A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410156186.3

申请日：2024-02-04

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 杉浦哲郎 ,  长山真己 ,  阿纳加·卡玛特卡尔 ,  堀部悠河

IPC: F04C18/12 ,  F04C25/02 ,  F04C29/00

Abstract: 提供一种粉体难以夹在罗茨转子间，能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵。第一罗茨转子(8C)及第二罗茨转子(9C)分别具有：具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)、与渐开线侧面(31)的外侧端部连接的圆弧凸面(34)、以及与渐开线侧面(31)的内侧端部连接的圆弧凹面(36)，圆弧凸面(34)的曲率半径比圆弧凹面(36)的曲率半径大。

公开(公告)号：CN111502954A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201911348087.0

申请日：2019-12-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 长山真己

IPC: F04B37/14 ,  F04B37/16

Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够减小真空泵的设置空间并且能够可靠地重启。真空泵装置(1)具备：彼此相对配置并且是罗茨转子或者爪式转子的一对泵转子；固定有一对泵转子并且沿铅垂方向延伸的一对轴(8)；使一对泵转子旋转的电动机(10)；固定于一对轴(8)并且彼此啮合的一对定时齿轮(25)；配置于一对泵转子的上方的固定侧轴承；以及支承轴(8)的自由侧轴承。

公开(公告)号：CN111503163B

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN201911348516.4

申请日：2019-12-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 长山真己

IPC: F16C35/04 ,  F04C29/00 ,  F04C29/02

Abstract: 本发明提供一种能够减小真空泵的设置空间并且能够充分发挥轴承的功能的轴承装置以及真空泵装置。轴承装置(15)具备：对在铅垂方向上延伸的轴(8)进行支承的轴承；收容轴承的轴承外壳(40)；配置于轴承外壳(40)的下方并且能固定于轴(8)的旋转圆筒(45)；以及收容轴承、轴承外壳(40)以及旋转圆筒(45)的轴承壳体(46)。旋转圆筒(45)具备形成于旋转圆筒(45)的外周面(45a)的斜坡(70)。

公开(公告)号：CN111503163A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201911348516.4

申请日：2019-12-24

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 长山真己

IPC: F16C35/04 ,  F04C29/00 ,  F04C29/02

Abstract: 本发明提供一种能够减小真空泵的设置空间并且能够充分发挥轴承的功能的轴承装置以及真空泵装置。轴承装置(15)具备：对在铅垂方向上延伸的轴(8)进行支承的轴承；收容轴承的轴承外壳(40)；配置于轴承外壳(40)的下方并且能固定于轴(8)的旋转圆筒(45)；以及收容轴承、轴承外壳(40)以及旋转圆筒(45)的轴承壳体(46)。旋转圆筒(45)具备形成于旋转圆筒(45)的外周面(45a)的斜坡(70)。

公开(公告)号：CN103477080A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201280018711.0

申请日：2012-05-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 百济壮一 ,  新村惠弘 ,  长山真己

IPC: F04C25/02 ,  F04C18/18 ,  F04C23/00

CPC classification number: F04C13/007 ,  F04C18/126 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C27/009 ,  F04C2220/12 ,  F04C2220/30 ,  F04C2220/40 ,  F04C2240/30 ,  F04C2280/02

Abstract: 一种真空泵(10)，包括：泵壳(56)，所述泵壳具有入口(54a)、出口(54b)和限定在其中的泵室(50a-50f)；转动轴(60)，所述转动轴具有通过轴承(84a、84b)可转动地支承在泵壳(56)上的相对端部并且在泵壳(56)中纵向地延伸；和转子(62a-62f)，所述转子容纳在泵室(50a-50f)内并且联接到转动轴(60)用于与转动轴(60)一致地转动。泵壳(56)具有限定在其中的通向大气的舱(52)，所述通向大气的舱保持与泵壳(56)的出口(54b)流体连通并且通向大气。

公开(公告)号：CN203272139U

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN201320199734.8

申请日：2013-04-19

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 长山真己 ,  臼井克明 ,  小岛善德 ,  真武幸三 ,  久部泰史 ,  佐藤源一 ,  川村毅 ,  古田拓己 ,  盐川笃志 ,  柳泽清司

IPC: F04C25/02 ,  F04C18/14 ,  F04C29/04

Abstract: 本实用新型的真空泵，通过降低电动机转子的发热并提高电动机转子的冷却效率而改善电动机效率。该真空泵使一对相对置地配置的罗茨转子（2、2）同步旋转来进行排气，在罗茨转子（2、2）的吸入侧的主轴端（2a、2a）安装有环设永久磁铁（5a、5b）的电动机转子（5A、5B），并且用覆盖电动机转子（5A、5B）的外周及一侧的端面的壳（7、7）来密封泵部，在壳（7、7）的外周设置电动机定子（6），该电动机定子（6）的构成包括：水冷的电动机机架（9）、电动机定子铁芯（6a）以及绕组（8a、8b）。