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公开(公告)号：CN100428412C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200480018723.9
申请日：2004-06-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/205 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/45593 , C23C16/4412 , C30B25/02 , H01L21/67017
Abstract: 本发明提供了基板处理系统，其有效地利用了用于处理基板表面的必要的活性物质或载气，简化了用于气体传递的设备，并节省了能源。所述系统包括用于供应包含活性物质的过程气的气体供应源(12)，用于储存所述过程气的与气体供应源(12)相连的储罐(14)，用于使置于其中的基板暴露于所述过程气中的反应器(10)，用于将反应器(10)内部的过程气引入储罐(14)的第一循环管(38)，用于将储罐(14)中的至少部分过程气引入反应器(10)的第二循环管(42)，和安置于第二循环管(42)中的用于调节待引入反应器(10)中的过程气的量的流量调节阀(44)。
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公开(公告)号：CN103477080A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280018711.0
申请日：2012-05-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C13/007 , F04C18/126 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C27/009 , F04C2220/12 , F04C2220/30 , F04C2220/40 , F04C2240/30 , F04C2280/02
Abstract: 一种真空泵(10)，包括：泵壳(56)，所述泵壳具有入口(54a)、出口(54b)和限定在其中的泵室(50a-50f)；转动轴(60)，所述转动轴具有通过轴承(84a、84b)可转动地支承在泵壳(56)上的相对端部并且在泵壳(56)中纵向地延伸；和转子(62a-62f)，所述转子容纳在泵室(50a-50f)内并且联接到转动轴(60)用于与转动轴(60)一致地转动。泵壳(56)具有限定在其中的通向大气的舱(52)，所述通向大气的舱保持与泵壳(56)的出口(54b)流体连通并且通向大气。
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公开(公告)号：CN116104762A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211386301.3
申请日：2022-11-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够将泵壳的转子室的内部维持在较高的温度且容易进行加热器的装卸的真空泵装置。真空泵装置具备：泵壳(2)；配置于转子室(1)内的泵转子(5)；在该旋转轴(7)固定有泵转子(5)；与旋转轴(7)连结的电动机(8)；形成转子室(1)的端面(31a)的侧罩(10A、10B)；在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A、10B)的外侧的壳体构造体(14、16)；以及配置于侧罩(10A、10B)内且以能够装卸的方式安装的筒式加热器(70A、70B)，筒式加热器(70A、70B)具有加热器(71)和覆盖加热器(71)的至少一部分的加热器壳(72)，加热器壳(72)具有从该加热器壳的一端延伸至另一端的狭缝(72a)。
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公开(公告)号：CN1816898A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200480018723.9
申请日：2004-06-30
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/205 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/45593 , C23C16/4412 , C30B25/02 , H01L21/67017
Abstract: 本发明提供了基板处理系统，其有效地利用了用于处理基板表面的必要的活性物质或载气，简化了用于气体传递的设备，并节省了能源。所述系统包括用于供应包含活性物质的过程气的气体供应源(12)，用于储存所述过程气的与气体供应源(12)相连的储罐(14)，用于使置于其中的基板暴露于所述过程气中的反应器(10)，用于将反应器(10)内部的过程气引入储罐(14)的第一循环管(38)，用于将储罐(14)中的至少部分过程气引入反应器(10)的第二循环管(42)，和安置于第二循环管(42)中的用于调节待引入反应器(10)中的过程气的量的流量调节阀(44)。
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