公开(公告)号：CN116104762A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202211386301.3

申请日：2022-11-07

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 木本一记 ,  伊东一磨 ,  新村惠弘 ,  荒井秀夫 ,  田中贵大 ,  张韦

IPC: F04C29/04 ,  F04C23/02 ,  F04C25/02

Abstract: 提供一种能够将泵壳的转子室的内部维持在较高的温度且容易进行加热器的装卸的真空泵装置。真空泵装置具备：泵壳(2)；配置于转子室(1)内的泵转子(5)；在该旋转轴(7)固定有泵转子(5)；与旋转轴(7)连结的电动机(8)；形成转子室(1)的端面(31a)的侧罩(10A、10B)；在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A、10B)的外侧的壳体构造体(14、16)；以及配置于侧罩(10A、10B)内且以能够装卸的方式安装的筒式加热器(70A、70B)，筒式加热器(70A、70B)具有加热器(71)和覆盖加热器(71)的至少一部分的加热器壳(72)，加热器壳(72)具有从该加热器壳的一端延伸至另一端的狭缝(72a)。

公开(公告)号：CN115143114A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210304826.1

申请日：2022-03-23

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 张韦 ,  伊东一磨 ,  木本一记 ,  荒井秀夫 ,  田中贵大

IPC: F04C29/04 ,  F04C29/00 ,  F04C18/12 ,  F04C23/02 ,  F04C25/02

Abstract: 提供一种真空泵装置，其能够防止由热传导造成的泵壳体的温度降低，将转子室的内部维持在高温度。配置在泵壳体(2)与电机壳(14)之间的侧罩(10A)具有形成转子室(1)的端面的内侧壁部(31)、与内侧壁部(31)相比位于外侧的外侧壁部(32)、和位于内侧壁部(31)与外侧壁部(32)之间的缩颈部(33)。内侧壁部(31)、外侧壁部(32)以及缩颈部(33)为一体成形物，缩颈部(33)具有比内侧壁部(31)以及外侧壁部(32)的截面面积小的截面面积。