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公开(公告)号：CN112664460B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202011095546.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；以及侧加热器(55A)，该侧加热器配置在侧罩(10A)内。
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公开(公告)号：CN116576110A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310073318.1
申请日：2023-02-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够从转子室良好地排出气体中含有的粉体的真空泵。真空泵(1)具备：在内部具有转子室(5)的泵壳体(6)；配置于转子室(5)内的一对罗茨转子(8)；及支承一对罗茨转子(8)的一对旋转轴(9)。泵壳体(6)具有与转子室(5)连通的气体入口(12)和气体出口(13)，形成转子室(5)的内壁(22)与形成气体出口(13)的内壁(23)的连接部(25)位于通过各罗茨转子(8)的旋转中心(RC)和下止点(LP)地延伸的转子中心线(CL)上，或者位于转子中心线(CL)的外侧。
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公开(公告)号：CN112664453B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202011095756.0
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够防止由于热传导引起的泵壳的温度降低，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；外壳构造体(16)，该外壳构造体在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A)的外侧；以及隔热体(25A)，该隔热体位于泵壳(2)与外壳构造体(16)之间。
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公开(公告)号：CN114962211A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210105818.4
申请日：2022-01-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制副生成物的生成并解决伴随非活性气体的导入的问题的真空排气方法及真空排气系统。真空排气方法包含如下工序：在使真空泵装置(DP)起动之后，使真空泵装置(DP)的转速上升至规定的稳定速度的上升工序；以及在真空泵装置(DP)的转速到达稳定速度之后，向真空泵装置(DP)导入非活性气体的气体导入工序。
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公开(公告)号：CN105952614A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610131171.7
申请日：2016-03-08
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 盐川笃志
IPC: F04B37/16
Abstract: 本发明提供一种真空泵，其能够抑制异物侵入至转子间等的间隙，并且能够得到低的极限压力。真空泵具有沿着第一轴线方向延伸地形成的两根旋转轴、转子壳体、转子和遮蔽部。在转子壳体上形成有沿着两根旋转轴设置的转子室、与转子室连通的吸入口和与转子室连通的排出口。转子安装于两根旋转轴，并配置在转子室中。遮蔽部以防止从吸气口被吸入至转子室的气体直接趋向转子间的间隙的方式构成，并设在吸气口和转子室内部之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105952614B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201610131171.7
申请日：2016-03-08
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 盐川笃志
IPC: F04B37/16
Abstract: 本发明提供一种真空泵，其能够抑制异物侵入至转子间等的间隙，并且能够得到低的极限压力。真空泵具有沿着第一轴线方向延伸地形成的两根旋转轴、转子壳体、转子和遮蔽部。在转子壳体上形成有沿着两根旋转轴设置的转子室、与转子室连通的吸入口和与转子室连通的排出口。转子安装于两根旋转轴，并配置在转子室中。遮蔽部以防止从吸气口被吸入至转子室的气体直接趋向转子间的间隙的方式构成，并设在吸气口和转子室内部之间。
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公开(公告)号：CN110985884A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201910921810.3
申请日：2019-09-27
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空排气系统，其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时，能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。
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公开(公告)号：CN112664460A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011095546.1
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；以及侧加热器(55A)，该侧加热器配置在侧罩(10A)内。
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公开(公告)号：CN112664453A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011095756.0
申请日：2020-10-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种真空泵装置，能够防止由于热传导引起的泵壳的温度降低，能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备：泵壳(2)，该泵壳在内部具有转子室(1)；泵转子(5)，该泵转子配置在转子室(1)内；旋转轴(7)，该旋转轴固定有泵转子(5)；电动机(8)，该电动机与旋转轴(7)连结；侧罩(10A)，该侧罩形成转子室(1)的端面；外壳构造体(16)，该外壳构造体在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A)的外侧；以及隔热体(25A)，该隔热体位于泵壳(2)与外壳构造体(16)之间。
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公开(公告)号：CN110568809A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910307098.8
申请日：2019-04-16
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G05B19/05
Abstract: 本发明提供一种控制装置、控制系统、控制方法、记录介质以及机械学习装置，该控制装置对包含马达的对象真空泵进行控制，具备：决定部，其利用对象真空泵或其它真空泵的过去的停止工序时的至少一个对象状态量，来决定该停止工序时的对象状态量的正常变动范围或正常时间变动举动，其中，该对象状态量是根据真空泵的停止工序时的负载而变动的状态量；和控制部，其对马达进行控制，控制部将对象真空泵的停止工序时的对象状态量与正常变动范围或正常时间变动举动进行比较，并根据比较结果变更停止工序中的马达的控制方法。
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