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发明公开
真空排气系统无效

公开(公告)号：CN110985884A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201910921810.3

申请日：2019-09-27

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 斋藤政伸 , 荒井秀夫 , 岩崎弘一 , 大须贺透 , 盐川笃志

IPC: F17D1/05 , F17D3/01

Abstract: 本发明提供一种真空排气系统，其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时，能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。

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