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公开(公告)号：CN109642725A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780050830.7
申请日：2017-08-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F23G7/06
Abstract: 本发明提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。
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公开(公告)号：CN111048441A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910963541.7
申请日：2019-10-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置(100)具有形成供处理气体流动的流路(103)的内壁(104)，还具备：第一配管(130)，形成流路(103)的一部分；能够更换的配管部170，形成流路(103)的一部分，且位于第一配管(130)的流路(103)的下游侧并与第一配管(130)连接，配管部具有对将附着于内壁(104)的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部(174)；及第二配管(150)，形成流路(103)的一部分，且位于配管部(170)的流路(103)的下游侧并与配管部(170)连接。
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公开(公告)号：CN1223703C
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN01804980.X
申请日：2001-02-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C23C16/455 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。排气管10的特征在于具有：有排气通路10’的内筒11、在其外侧存在空隙15而设置的外筒12、和附接到内筒11上的加热装置13，空隙15和上述排气通路10’连通，在排气时，不仅排气通路10’变成真空状态而且空隙15也变成真空状态，因此可抑制从加热装置向外部放热。因此，可有效加热内筒11至高温，从而可防止包含在排气中的物质沉积堆积在内筒11的内表面上。还有，通过沿内筒11的内表面形成惰性气体等的气流层18，可防止上述沉积堆积。
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公开(公告)号：CN109386833A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810871736.4
申请日：2018-08-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种废气处理装置及废气处理方法，当在燃烧式废气处理装置中处理含有氢的处理气体时，该废气处理装置将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰，从而能够防止燃烧室的热损伤。一种对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置，对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室(1)构成为圆筒状的燃烧室(1)，燃烧室(1)具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)，处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
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公开(公告)号：CN106337844A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201610527928.4
申请日：2016-07-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制由于被抽吸到壳体内部的气体而使电机受到损伤的情况的风扇洗涤器以及真空泵装置。风扇洗涤器具备：壳体，其具有气体吸入口以及气体吐出口；风扇，其被配置于壳体内；喷嘴，其向壳体内喷出液体；屏蔽电机，其连接于风扇。屏蔽电机具有：连接于风扇上的主轴、与主轴一体旋转的转子、被配置于转子的外周的定子、对转子和定子进行收纳的电机壳体以及在电机壳体内对配置有转子的转子室和配置有定子的定子室进行划分的壳。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111048441B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN201910963541.7
申请日：2019-10-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置(100)具有形成供处理气体流动的流路(103)的内壁(104)，还具备：第一配管(130)，形成流路(103)的一部分；能够更换的配管部170，形成流路(103)的一部分，且位于第一配管(130)的流路(103)的下游侧并与第一配管(130)连接，配管部具有对将附着于内壁(104)的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部(174)；及第二配管(150)，形成流路(103)的一部分，且位于配管部(170)的流路(103)的下游侧并与配管部(170)连接。
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公开(公告)号：CN109642725B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201780050830.7
申请日：2017-08-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F23G7/06
Abstract: 本发明提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。
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公开(公告)号：CN107429914A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580077529.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及对从制造半导体器件、液晶、LED等的制造装置等排出的废气进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置。废气处理装置是对处理气体进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置，对处理气体进行燃烧的圆筒状的燃烧室(1)具备将燃料、助燃性气体和处理气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)，燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
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公开(公告)号：CN109386833B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201810871736.4
申请日：2018-08-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种废气处理装置及废气处理方法，当在燃烧式废气处理装置中处理含有氢的处理气体时，该废气处理装置将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰，从而能够防止燃烧室的热损伤。一种对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置，对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室(1)构成为圆筒状的燃烧室(1)，燃烧室(1)具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)，处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
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公开(公告)号：CN107429914B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201580077529.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及对从制造半导体器件、液晶、LED等的制造装置等排出的废气进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置。废气处理装置是对处理气体进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置，对处理气体进行燃烧的圆筒状的燃烧室(1)具备将燃料、助燃性气体和处理气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)，燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
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