公开(公告)号：CN109642725A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201780050830.7

申请日：2017-08-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 宫崎一知 ,  驹井哲夫 ,  柏木诚司 ,  细谷和正 ,  江田健

IPC: F23G7/06

Abstract: 本发明提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。

公开(公告)号：CN109642725B

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：CN201780050830.7

申请日：2017-08-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 宫崎一知 ,  驹井哲夫 ,  柏木诚司 ,  细谷和正 ,  江田健

IPC: F23G7/06

Abstract: 本发明提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。

公开(公告)号：CN116328504A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202211650442.1

申请日：2022-12-21

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中村谕 ,  宫崎一知 ,  江田健

IPC: B01D53/18 ,  F23G7/06 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455

Abstract: 提供可用比以往少的湿式处理装置处理废气的无害化装置。无害化装置具备：前段湿式处理装置(5)；燃烧式处理装置(6)；与成膜装置(1)的工艺腔室(2A～2D)连接的气体导入线路(7A～7D)；与气体导入线路分别连接的第一流路切换装置(8A～8D)；从第一流路切换装置延伸至前段湿式处理装置的第一气体输送线路(9A～9D)；从第一流路切换装置延伸至燃烧式处理装置的第二气体输送线路(10A～10D)；以及动作控制部(15)，其控制第一流路切换装置的动作，向前段湿式处理装置输送工艺气体，并向燃烧式处理装置输送清洁气体。前段湿式处理装置的数量比多个工艺腔室少。