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公开(公告)号：CN109642725B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201780050830.7
申请日：2017-08-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F23G7/06
Abstract: 本发明提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。
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公开(公告)号：CN107429914A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580077529.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及对从制造半导体器件、液晶、LED等的制造装置等排出的废气进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置。废气处理装置是对处理气体进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置，对处理气体进行燃烧的圆筒状的燃烧室(1)具备将燃料、助燃性气体和处理气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)，燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
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公开(公告)号：CN112403247A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202010847273.5
申请日：2020-08-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B01D53/79
Abstract: 一种废气处理装置，用于通过使处理气体与液体接触而将处理气体无害化，该废气处理装置具备：吸入壳体，该吸入壳体具有吸入口及导出口，该吸入口吸入所述处理气体，该导出口供所述处理气体流出；液槽，该液槽接受所述吸入壳体的所述导出口侧的部分，并储存液体；以及一个或多个喷雾喷嘴，该一个或多个喷雾喷嘴配置于所述液槽内，所述吸入壳体的所述导出口配置为，与所述液槽内的液体的液面相比位于上方，所述一个或多个喷雾喷嘴的喷雾构成为，从周围对所述吸入壳体的所述导出口的周围的部分呈雾状地喷出液体。
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公开(公告)号：CN109642725A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780050830.7
申请日：2017-08-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F23G7/06
Abstract: 本发明提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。
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公开(公告)号：CN109386833B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201810871736.4
申请日：2018-08-02
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供一种废气处理装置及废气处理方法，当在燃烧式废气处理装置中处理含有氢的处理气体时，该废气处理装置将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰，从而能够防止燃烧室的热损伤。一种对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置，对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室(1)构成为圆筒状的燃烧室(1)，燃烧室(1)具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)，处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110195694A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201910136961.8
申请日：2019-02-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提出一种能够抑制异物在处理气体的路径堆积的湿式除害装置。该湿式除害装置用于通过使处理气体与液体接触来进行无害化，具备：吸入壳体，该吸入壳体具有吸入处理气体的吸入口及与吸入口相比设置于下方并供处理气体流动的导出口；以及液膜形成部，该液膜形成部设置于吸入口与导出口之间并在吸入壳体的内壁面形成液膜。在吸入壳体中的构成比液膜形成部靠上方的部分的壁部的内部埋入有对吸入壳体进行加热的加热器。
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公开(公告)号：CN107429914B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201580077529.6
申请日：2015-11-06
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及对从制造半导体器件、液晶、LED等的制造装置等排出的废气进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置。废气处理装置是对处理气体进行燃烧处理而进行无害化的废气处理装置，对处理气体进行燃烧的圆筒状的燃烧室(1)具备将燃料、助燃性气体和处理气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)，燃料用喷嘴(3A)、助燃性气体用喷嘴(3B)和处理气体用喷嘴(3C)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。
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公开(公告)号：CN119554566A
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411191087.5
申请日：2024-08-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 提供一种能够防止送往除害反应器的废气的泄漏并确保安全性的向除害反应器的废气的流路系统。流路系统具备：用于将废气移送至除害反应器(2)的废气移送管(5)；安装于废气移送管(5)的第一二通阀(7)；在第一二通阀(7)的上游侧的位置从废气移送管(5)分支，绕过除害反应器(2)的旁通管(10)；以及安装于旁通管(10)的第二二通阀(12)。第一二通阀(7)和第二二通阀(12)是废气的流路(15、16)沿纵向延伸的纵向放置状态。
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公开(公告)号：CN112403247B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202010847273.5
申请日：2020-08-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B01D53/79
Abstract: 一种废气处理装置，用于通过使处理气体与液体接触而将处理气体无害化，该废气处理装置具备：吸入壳体，该吸入壳体具有吸入口及导出口，该吸入口吸入所述处理气体，该导出口供所述处理气体流出；液槽，该液槽接受所述吸入壳体的所述导出口侧的部分，并储存液体；以及一个或多个喷雾喷嘴，该一个或多个喷雾喷嘴配置于所述液槽内，所述吸入壳体的所述导出口配置为，与所述液槽内的液体的液面相比位于上方，所述一个或多个喷雾喷嘴的喷雾构成为，从周围对所述吸入壳体的所述导出口的周围的部分呈雾状地喷出液体。
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公开(公告)号：CN116328504A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211650442.1
申请日：2022-12-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B01D53/18 , F23G7/06 , C23C16/44 , C23C16/455
Abstract: 提供可用比以往少的湿式处理装置处理废气的无害化装置。无害化装置具备：前段湿式处理装置(5)；燃烧式处理装置(6)；与成膜装置(1)的工艺腔室(2A～2D)连接的气体导入线路(7A～7D)；与气体导入线路分别连接的第一流路切换装置(8A～8D)；从第一流路切换装置延伸至前段湿式处理装置的第一气体输送线路(9A～9D)；从第一流路切换装置延伸至燃烧式处理装置的第二气体输送线路(10A～10D)；以及动作控制部(15)，其控制第一流路切换装置的动作，向前段湿式处理装置输送工艺气体，并向燃烧式处理装置输送清洁气体。前段湿式处理装置的数量比多个工艺腔室少。
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