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公开(公告)号：CN1223703C
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN01804980.X
申请日：2001-02-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C23C16/455 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。排气管10的特征在于具有：有排气通路10’的内筒11、在其外侧存在空隙15而设置的外筒12、和附接到内筒11上的加热装置13，空隙15和上述排气通路10’连通，在排气时，不仅排气通路10’变成真空状态而且空隙15也变成真空状态，因此可抑制从加热装置向外部放热。因此，可有效加热内筒11至高温，从而可防止包含在排气中的物质沉积堆积在内筒11的内表面上。还有，通过沿内筒11的内表面形成惰性气体等的气流层18，可防止上述沉积堆积。
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公开(公告)号：CN1769684A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN200510053050.7
申请日：2000-11-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 本发明提供一种收集装置，用于提高收集产物的效率或使收集单元再生的效率，即提高除去积聚在收集单元上的产物的效率。该收集装置包括：一个设置在排出通道中的收集室，所述排出通道用于通过真空泵抽空一个气密密封室，所述收集室容纳有一用于在其上积聚包含在排出气体内的产物并除去该产物的收集单元；一个紧邻所述收集室设置的再生室，其用于引入再生液体使所述收集单元再生；以及一个用于使所述收集单元在所述收集室和所述再生室之间移动的转换机构，所述收集单元具有经过憎水处理的表面。
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公开(公告)号：CN1208114C
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN00126287.4
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 野村典彦
CPC classification number: C23C16/4412 , B01D8/00 , B01D53/02 , B01D53/14 , B01D53/34
Abstract: 一种收集装置，它包括：一排气道，用于通过真空泵将气密密封室抽成真空；一气密密封收集容器，延伸过排气道和邻设于排气道的再生通道；一收集器，位于收集容器中以吸附被排放气体中的产物，并从被排放气体中去除该产物，该收集器有选择地位于排气道或再生通道上；一阀门件，位于收集器的两侧，可与收集器一体移动；一密封件，安装在阀门件的外周表面上，以便收集器被移动时能够在收集容器的内周表面上滑动。
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公开(公告)号：CN1296127A
公开(公告)日：2001-05-23
申请号：CN00132625.2
申请日：2000-11-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 本发明提供一种收集装置,用于提高收集产物的效率或使收集单元再生的效率,即提高除去积聚在收集单元上的产物的效率。该收集装置设置在一个排出通道中用于通过真空泵抽空一个抽空气密密封室,所述收集装置包括:一个用于在其上积聚包含在排出气体内的产物并除去该产物的收集单元,所述收集单元具有一个经过亲水处理的表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1284613A
公开(公告)日：2001-02-21
申请号：CN00126287.4
申请日：2000-08-03
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 野村典彦
CPC classification number: C23C16/4412 , B01D8/00 , B01D53/02 , B01D53/14 , B01D53/34
Abstract: 一种收集装置,它包括:一排气道,用于通过真空泵将气密密封室抽成真空;一气密密封收集容器,延伸过排气道和邻设于排气道的再生通道;一收集器,位于收集容器中以吸附被排放气体中的产物,并从被排放气体中去除该产物,该收集器有选择地位于排气道或再生通道上;一阀门件,位于收集器的两侧,可与收集器一体移动:一密封件,安装在阀门件的外周表面上,以便收集器被移动时能够在收集容器的内周表面上滑动。
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公开(公告)号：CN100532639C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200510109632.2
申请日：2001-02-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C23C16/455 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。本发明的排气管，其特征在于，具有：在内部有排气通路的内筒，设置在该内筒外侧的外筒；在内筒和外筒之间形成的密闭空间；以及在外筒中设置的用于将液氮等极低温冷却介质导入上述密封空间以形成冻结膜的冷却介质导入口。
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公开(公告)号：CN1821441A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200510109632.2
申请日：2001-02-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C23C16/455 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。本发明的排气管，其特征在于，具有：在内部有排气通路的内筒，设置在该内筒外侧的外筒；在内筒和外筒之间形成的密闭空间；以及在外筒中设置的用于将液氮等极低温冷却介质导入上述密封空间以形成冻结膜的冷却介质导入口。
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公开(公告)号：CN1194173C
公开(公告)日：2005-03-23
申请号：CN00132625.2
申请日：2000-11-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 本发明提供一种收集装置，用于提高收集产物的效率或使收集单元再生的效率，即提高除去积聚在收集单元上的产物的效率。该收集装置设置在一个用于通过真空泵抽空气密密封室的排出通道中，所述收集装置包括一个用于在其上积聚包含在排出气体内的产物并除去该产物的收集单元，所述收集单元包括多个挡板，每个挡板分别具有一个经过亲水处理的表面，以使所述产物被吸收在所述表面上。
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公开(公告)号：CN1401014A
公开(公告)日：2003-03-05
申请号：CN01804980.X
申请日：2001-02-14
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C23C16/455 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/4412
Abstract: 提供一种排气管，具有防止包含在从反应真空室等排气用排气管中的物质在排气管内表面上沉积堆积的效果。排气管10的特征在于具有：有排气通路10’的内筒11、在其外侧存在空隙15而设置的外筒12、和附接到内筒11上的加热装置13，空隙15和上述排气通路10’连通。在排气时，不仅排气通路10’变成真空状态而且空隙15也变成真空状态，因此可抑制从加热装置向外部放热。因此，可有效加热内筒11至高温，从而可防止包含在排气中的物质沉积堆积在内筒11的内表面上。还有，通过沿内筒11的内表面形成惰性气体等的气流层18，可防止上述沉积堆积。
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