公开(公告)号：CN112242320B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202010620693.X

申请日：2020-07-01

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理装置的衬底搬送方法。2个处理区块不以堆积的方式配置，第1处理区块、ID区块、第2处理区块在水平方向上呈直线状连结。因此，能够抑制高度并增加处理层的个数。第1处理区块及第2处理区块分别直接连结于ID区块。因此，能够抑制通过处理区块却不进行衬底处理的步骤，由此，能够防止产能降低。另外，将2个处理区块均能够搬送衬底W的衬底缓冲区配置在2个处理区块的中间，因此能够减少衬底处理装置的占据面积。

公开(公告)号：CN111383952A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201911168674.1

申请日：2019-11-25

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二 ,  金山幸司

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种衬底处理装置及该衬底的搬送方法。在第1ID块(2)设有载置台(13)，在第2ID块(4)设有载置台(74)。以往，仅在第1ID块(2)设有载具载置台。因此，在去路及返路这两条路径中，在第1ID块(2)与第2处理块(5)之间搬送衬底。根据本发明，在返路中，未将衬底移回到第1ID块(2)，而将衬底移回到配置在2个处理块(3、5)之间的第2ID块(4)。因此，在返路中，第1ID块(2)与第2ID块(4)之间的第1处理块(3)的搬送工序被削减。结果，能够提高衬底处理装置(1)整体的处理量。

公开(公告)号：CN110943018A

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201910807112.0

申请日：2019-08-28

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 稻垣幸彦 ,  桑原丈二 ,  村井征尔

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  G03F7/16

摘要： 本发明涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。本发明的衬底处理装置具备装载部、阶层及控制部。阶层分别具备第1载置部、处理部及主搬送机构。装载部具备载体载置部及搬送部。搬送部进行供给动作，将衬底从载置在载体载置部的载体搬送到第1载置部。第1搬送机构进而进行层间搬送动作，在设置在不同阶层的2个第1载置部之间搬送衬底。

公开(公告)号：CN110943017A

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201910771936.7

申请日：2019-08-20

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二 ,  村井征尔

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673

摘要： 本发明涉及一种装载装置、衬底处理装置、装载装置的控制方法及衬底处理装置的控制方法。第1衬底搬送机构及第2衬底搬送机构分别进行关于前开式晶圆盒的衬底的搬送，所述前开式晶圆盒分别载置在沿上下方向配置的例如2个开启器，而非沿横向配置的例如2个开启器。因此，即使在增加开启器的情况下，由于不使能够进退的机械手沿横向进行滑动移动，而是通过升降及旋转来搬送衬底，所以也能简单地进行衬底的搬送。因此，能够减少衬底搬送的待机时间，并且能够防止衬底搬送效率降低。

公开(公告)号：CN112447553B

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202010737435.X

申请日：2020-07-28

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种衬底处理系统及衬底搬送方法。移载传送区块的衬底搬送机构能够对载置在载置台的载体取放衬底(W)。进而，衬底搬送机构在第1处理区块及第2处理区块的位于不同高度位置的例如2个处理层间搬送衬底(W)。因此，无须像现有技术那样在移载传送区块与处理区块之间设置用来使衬底在上下方向的2个处理层间移动的交接区块。因此能够抑制衬底处理系统的占据面积。

公开(公告)号：CN111508881A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201911348442.4

申请日：2019-12-24

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明涉及一种衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。载具搬送机构(51)在2个开启机构(9、10)的载置台(13)与多个载具保管架(53)之间搬送载具(C)。多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)分别搭载在第1处理块(3)之上。因此，也可以不像以往那样从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置(1)的占据面积。

公开(公告)号：CN111383954A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201911260164.7

申请日：2019-12-10

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二 ,  金山幸司

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  G03F7/30

摘要： 本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。第1 ID块(2)从载置在载置台(13)上的载具(C)取出衬底(W)，并将所取出的衬底(W)输送到6个处理层(3A～3F)中的任一个。另外，第2 ID块(4)例如将从处理层(3A)输送来的衬底(W)移回到载置在载置台(47)上的载具(C)。由此，第1 ID块(2)能够将较多的衬底(W)更迅速地搬送到配置在上下方向的6个处理层(3A～3F)。另外，同时，第2 ID块(4)能够将从配置在上下方向的6个处理层(3A～3F)输送来的多个衬底(W)更迅速地搬送到载具(C)。结果，能够提高衬底处理装置(1)的处理量。

公开(公告)号：CN111261547A

公开(公告)日：2020-06-09

申请号：CN201911183895.6

申请日：2019-11-27

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本发明的目的在于提供一种能够提高衬底处理装置的处理量的衬底处理装置。衬底处理装置(1)具备搬送空间(32)、搬送机构(34a1、34b1)及热处理部(37a1、37b1)。搬送机构(34a1、34b1)设置在搬送空间(32)中。热处理部(37a1)、搬送空间(32)及热处理部(37b1)以依序排列在宽度方向(Y)的方式配置。热处理部(37a1)具备多个热处理单元(38a1)。多个热处理单元(38a1)以排列在前后方向的方式配置。热处理部(37b1)具备多个热处理单元(38b1)。多个热处理单元(38b1)以排列在前后方向的方式配置。搬送机构(34a1)将衬底(W)搬送到热处理单元(38a1)。搬送机构(34b1)将衬底(W)搬送到热处理单元(38b1)。

公开(公告)号：CN109390266A

公开(公告)日：2019-02-26

申请号：CN201810851969.8

申请日：2018-07-30

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/687

摘要： 本发明提供一种对基板进行处理的基板处理装置、相对于固定构件对可动构件进行对位的对位装置、基板处理方法以及对位方法。在基板处理装置的向处理单元搬送基板的手部上设置有光学传感器，在与处理单元内的旋转卡盘具有固定的位置关系的固定构件上设置有光纤。当手部相对于处理单元的旋转卡盘处于预先设定的位置关系时，从光学传感器的第一光出射部出射的光由光纤的第二受光部接收并引导至光纤的第二光出射部，从第二光出射部出射的光由第一受光部接收。从光学传感器输出与第一受光部的受光量对应的受光信号。

公开(公告)号：CN108364898A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201711473933.2

申请日：2017-12-29

申请人： 株式会社斯库林集团

发明人： 桑原丈二

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/66 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/68707 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68 ,  H01L21/681

摘要： 本发明的目的在于提供能提高基板的搬送精度的基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置。检测坐标计算部在进行检测位置校正动作时和进行基板搬送动作时，计算在机械手的基准位置上放置的基准基板或基板的外周部的检测坐标。偏移量计算部在进行检测位置校正动作时，基于检测坐标和设计坐标计算多个检测器的偏移量。检测坐标修正部在进行基板搬送动作时，基于多个检测器的偏移量修正检测坐标；坐标信息修正部基于修正后的检测坐标修正坐标信息。移动控制部基于修正后的坐标信息来控制上下方向驱动电动机、水平方向驱动电动机及旋转方向驱动电动机，并控制上机械手进退用驱动电动机或下机械手进退用驱动电动机，以将基板从接收位置搬送到放置位置。