发明公开
- 专利标题： 衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置
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申请号： CN201911348442.4申请日： 2019-12-24
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公开(公告)号： CN111508881A公开(公告)日： 2020-08-07
- 发明人: 桑原丈二
- 申请人： 株式会社斯库林集团
- 申请人地址： 日本京都
- 专利权人： 株式会社斯库林集团
- 当前专利权人： 株式会社斯库林集团
- 当前专利权人地址： 日本京都
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 陈甜甜
- 优先权： 2018-248739 2018.12.28 JP
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677
摘要：
本发明涉及一种衬底处理装置、载具搬送方法及载具缓冲装置。载具搬送机构(51)在2个开启机构(9、10)的载置台(13)与多个载具保管架(53)之间搬送载具(C)。多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)分别搭载在第1处理块(3)之上。因此，也可以不像以往那样从装载块在水平方向上延长地设置多个载具保管架(53)及载具搬送机构(51)，能够削减在水平方向上延长的设置面积。即，能够减小衬底处理装置(1)的占据面积。
IPC分类:
