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公开(公告)号：CN101513990B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200910004248.4
申请日：2009-02-18
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B81B3/0008 , B81B2201/032 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094
Abstract: 本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题，由此，提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器，具备：基板；设置在上述基板的主面上的固定电极；设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜；与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁；设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极；以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。
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公开(公告)号：CN101488723A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910002664.0
申请日：2009-01-14
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。
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公开(公告)号：CN100490318C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200510006851.8
申请日：2005-01-28
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/02015 , H01H2057/006 , H01L41/0477 , H01L41/094 , H01L41/316 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/02094 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/542 , H03H9/582 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155
Abstract: 一种压电薄膜器件包括设置在衬底上的非晶态金属膜和设置在非晶态金属膜上的压电膜。压电膜的一个晶轴在垂直于非晶态金属的表面的方向上对齐。
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公开(公告)号：CN101276707A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810087276.2
申请日：2008-03-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
Abstract: 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。
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公开(公告)号：CN101513990A
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200910004248.4
申请日：2009-02-18
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B81B3/0008 , B81B2201/032 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094
Abstract: 本发明解决驱动电压偏移、电极的粘着等问题，由此，提供一种经时变化小、具有稳定的驱动特性的压电驱动方式的致动器。本发明提供一种致动器，具备：基板；设置在上述基板的主面上的固定电极；设置在上述固定电极上、由结晶体构成的第1电介质膜；与上述主面相对、在上述基板的上方空出间隙地被保持的可动梁；设置在上述可动梁的与上述固定电极相对的面上、在与上述固定电极之间被施加交流电压的可动电极；以及设置在上述可动电极的与上述固定电极相对的面上、由结晶体构成的第2电介质膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100492692C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200510008265.7
申请日：2005-02-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01G7/06 , H01H2057/006 , H01L41/0933 , H01L41/094
Abstract: 本发明公开一种薄膜压电致动器，包括一个驱动部分，至少其一端被一个锚部件支撑，所述驱动部分包括：压电薄膜；在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极；在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极；在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极；在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极；通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件；以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件。
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公开(公告)号：CN101093966A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710112193.X
申请日：2007-06-21
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H57/00 , H01G5/16 , H01H2057/006
Abstract: 本发明可以提供一种压电驱动MEMS装置，该压电驱动MEMS装置使动作端和固定电极之间的距离保持恒定而不管残余应变是大是小，并且具有再现性和可靠性良好的机构。均具有折叠梁结构的两个压电驱动致动器平行并且以线对称方式布置，并且在动作端附近彼此连接。
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公开(公告)号：CN101047226A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710091368.3
申请日：2007-03-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094
Abstract: 一种MEMS器件包括：具有第一固定端的第一致动器，其包括第一下电极、第一压电膜、以及第一上电极的层叠结构，并且可通过在第一下电极和第一上电极上施加电压而工作；具有第二固定端的第二致动器，其与第一致动器平行设置，并且包括第二下电极、第二压电膜、以及第二上电极的层叠结构，并且可通过在第二下电极和第二上电极上施加电压而工作；以及电路元件，其具有连接到第一致动器的第一作用部分和连接到第二致动器的第二作用部分。
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公开(公告)号：CN1655373A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN200510008265.7
申请日：2005-02-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01G7/06 , H01H2057/006 , H01L41/0933 , H01L41/094
Abstract: 本发明公开一种薄膜压电致动器，包括一个驱动部分，至少其一端被一个锚部件支撑，所述驱动部分包括：压电薄膜；在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极；在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极；在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极；在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极；通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件；以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件。
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公开(公告)号：CN101488723B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910002664.0
申请日：2009-01-14
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。
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