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公开(公告)号：CN111694218B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202010587896.3
申请日：2015-05-21
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物以及电路图案的形成方法。一种感光性树脂组合物，其特征在于，其含有：(A)碱溶性高分子：40～80质量％、(B)光聚合引发剂：0.1～20质量％、以及(C)具有烯属双键的化合物：5～50质量％，在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的厚度25μm的感光性树脂层，在将曝光时的焦点的位置从基板表面沿该基板的厚度方向向基板内侧移动200μm的条件下进行曝光和显影而得到的抗蚀图案的抗蚀层下摆宽度为0.01μm～3.5μm，而且，前述感光性树脂组合物用于直接成像曝光。
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公开(公告)号：CN111694218A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN202010587896.3
申请日：2015-05-21
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物以及电路图案的形成方法。一种感光性树脂组合物，其特征在于，其含有：(A)碱溶性高分子：40～80质量％、(B)光聚合引发剂：0.1～20质量％、以及(C)具有烯属双键的化合物：5～50质量％，在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的厚度25μm的感光性树脂层，在将曝光时的焦点的位置从基板表面沿该基板的厚度方向向基板内侧移动200μm的条件下进行曝光和显影而得到的抗蚀图案的抗蚀层下摆宽度为0.01μm～3.5μm，而且，前述感光性树脂组合物用于直接成像曝光。
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公开(公告)号：CN111596526A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010498797.8
申请日：2014-12-26
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松田隆之
IPC: G03F7/039 , G03F7/075 , G03F7/20 , G03F7/038 , G03F7/032 , G03F7/028 , G03F7/004 , C08F265/02 , C08F220/10 , C08F2/48 , C07C39/15 , H05K1/03
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体。所述感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。
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公开(公告)号：CN114437251A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210104954.1
申请日：2016-04-08
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: C08F2/44 , C08F2/46 , C08F2/50 , C08F20/26 , C08F265/06 , C08F290/06 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/032 , G03F7/033 , G03F7/038 , G03F7/20 , G03F7/40 , G03F7/42 , H05K3/06 , H05K3/18
Abstract: 本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。
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公开(公告)号：CN108469717B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN201810155490.0
申请日：2018-02-23
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供即使在过度显影、过度水洗、显影液高温这种苛刻的显影条件下密合性和分辨力也优异的感光性树脂组合物，以及使用其的层叠体及抗蚀图案的形成方法和线路板的制造方法。该组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂，其中，相对于树脂组合物中的固体成分质量，(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A‑1)碱溶性高分子，(D)抑制剂含有苯酚衍生物；将该固体成分中所含的(A)碱溶性高分子和(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，除(A)和(B)以外的成分的质量与(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112368642A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201980041666.2
申请日：2019-06-18
Applicant: 旭化成株式会社
IPC: G03F7/031 , C08F2/44 , C08F2/46 , G03F7/027 , G03F7/033 , G03F7/20 , H05K3/06 , H05K3/18 , G03F7/004 , G03F7/029
Abstract: 提供一种适合于在曝光后进行加热，实现更高分辨率的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其是用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，以感光性树脂组合物的总固体成分质量基准计，包含以下的成分：(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，(A)碱溶性高分子整体中的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元为15质量％以上。
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公开(公告)号：CN101291973A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200680038705.6
申请日：2006-10-18
CPC classification number: H01L23/296 , C08G59/306 , C08G77/14 , C08G77/16 , C08G77/50 , C08L83/04 , C08L83/06 , C08L83/14 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L2224/29 , H01L2224/29101 , H01L2224/2919 , H01L2224/2929 , H01L2224/29339 , H01L2224/29347 , H01L2224/29386 , H01L2224/29387 , H01L2224/29388 , H01L2924/00013 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01067 , H01L2924/01074 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01084 , H01L2924/014 , H01L2924/0665 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/12041 , H01L2924/12043 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , C08L83/00 , H01L2924/00 , H01L2924/3512 , H01L2924/00014 , H01L2924/05442 , H01L2924/05432 , H01L2924/05042 , H01L2924/0503 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299
Abstract: 本发明提供一种热固性树脂组合物以及利用该组合物的光半导体周边材料，所述热固性树脂组合物以(A)含有下述通式(1)或通式(2)表示的化合物的有机聚硅氧烷为必要成分。[在此，式中R1各自独立地表示具有取代基或者无取代基的碳原子数为1～10的一价烃基，R2表示含有环氧基的有机基，R3表示R1或R2，a各自独立地表示1以上的整数，b各自独立地表示0以上的整数，X表示通式(3)，Y表示－O－或碳原子数为1～6的二价烃基，Z表示下式(4)，式中R1各自独立地表示具有取代基或者无取代基的碳原子数为1～10的一价烃基，c表示0以上的整数。]
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公开(公告)号：CN111596526B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202010498797.8
申请日：2014-12-26
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松田隆之
IPC: G03F7/039 , G03F7/075 , G03F7/20 , G03F7/038 , G03F7/032 , G03F7/028 , G03F7/004 , C08F265/02 , C08F220/10 , C08F2/48 , C07C39/15 , H05K1/03
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体。所述感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。
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公开(公告)号：CN109690404B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN201780055093.X
申请日：2017-12-05
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供即使曝光时的焦点偏移时也表现出高分辨性和良好的线宽重现性的感光性树脂层叠体。感光性树脂层叠体具备：支承薄膜、和形成于该支承薄膜上并包含感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，其中，在支承薄膜的任意10处切出一边5mm的正方形小片时，各小片中所含的1.5μm以上且小于4.5μm的微粒的数量以所述10处平均计为0～200个。
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公开(公告)号：CN107407880B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN201680019911.6
申请日：2016-04-08
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。
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