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    感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体
    1.
    发明公开
    感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 审中-实审

    公开(公告)号：CN114667487A

    公开(公告)日：2022-06-24

    申请号：CN202080078423.9

    申请日：2020-11-11

    Applicant: 旭化成株式会社

    Inventor： 田尻十南 ,  小坂隼也 ,  山田辉久 ,  国松真一

    IPC: G03F7/033 ,  C08F220/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/20 ,  H01L21/60 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

    Abstract: 提供一种在支承薄膜上层叠有感光性树脂层的感光性树脂层叠体，所述感光性树脂层包含感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含(A)碱溶性高分子10～90质量％、(B)具有烯属不饱和双键的化合物5～70质量％和(C)光聚合引发剂0.01～20质量％，前述(A)碱溶性高分子包含共聚物，所述共聚物包含具有碳原子数3～12的烷基的(甲基)丙烯酸酯作为共聚成分，作为前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物，含有相对于前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物总量为51～100质量％的丙烯酸酯单体，将包含前述感光性树脂组合物的感光性树脂层的膜厚记作T(μm)，并将波长365nm下的吸光度记作A，满足0

    感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法
    4.
    发明公开
    感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN118778362A

    公开(公告)日：2024-10-15

    申请号：CN202410867812.X

    申请日：2019-06-11

    Applicant: 旭化成株式会社

    Inventor： 加持义贵 ,  国松真一 ,  松田隆之

    IPC: G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

    Abstract: 本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。本发明还涉及抗蚀图案的形成方法。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。

    感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法
    5.
    发明公开
    感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法 审中-实审

    公开(公告)号：CN112352197A

    公开(公告)日：2021-02-09

    申请号：CN201980041589.0

    申请日：2019-06-11

    Applicant: 旭化成株式会社

    Inventor： 加持义贵 ,  国松真一 ,  松田隆之

    IPC: G03F7/033 ,  C08F2/46 ,  G03F7/20 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

    Abstract: 本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或者，上述碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或者，上述感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，所述碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。

    感光性树脂层叠体及抗蚀图案的制造方法
    8.
    发明授权
    感光性树脂层叠体及抗蚀图案的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN111316164B

    公开(公告)日：2023-12-29

    申请号：CN201880072368.5

    申请日：2018-11-02

    Applicant: 旭化成株式会社

    Inventor： 井上浩辅 ,  国松真一 ,  小谷雄三

    IPC: G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/09 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

    Abstract: 100质量％时，所述感光性树脂组合物层中所含一种感光性树脂层叠体，其具备支承薄膜和 的水分量为0.1质量％以上。含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子，(56)对比文件Zhang H. et al.“A covalently attachedfilm ba...apped Fe3O4 nanoparticles”.《THIN SOLID FILMS》.2003,第429卷(第1期),Lin DJ. et al“.Preparation of ananosilica-modified negative-typeacrylate photoresist”《.JOURNAL OF APPLIEDPOLYMER SCIENCE》.2008,第107卷(第2期),乔素琴等《.液晶用三醋酸纤维素膜与感光用三醋酸纤维素片基差异化分析研究》《. 信息记录材料》.2014,第1卷(第15期),曾永彬等《.基于光致抗蚀干膜的掩膜制备及其应用研究》《.电加工与模具》.2014,(第5期),杨帆《.PCB绝缘层光分解树脂的制备及应用性能研究》《.中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑》.2016,(第5期),

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