公开(公告)号：CN107407880B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN201680019911.6

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: G03F7/027 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN103282829B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201180062574.6

申请日：2011-11-28

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  筒井大和 ,  内藤一也

IPC: G03F7/027 ,  C08F2/50 ,  C08F20/26 ,  C08F290/06 ,  H05K3/06

CPC classification number: C08F2/50 ,  C08F222/1006 ,  C08F290/062 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  H05K3/064

Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物，其是含有（A）碱溶性高分子、（B）光聚合引发剂和（C）具有烯属不饱和双键的化合物的感光性树脂组合物，该（B）光聚合引发剂是2,4,5?三芳基咪唑二聚体或吖啶化合物，而且（C）具有烯属不饱和双键的化合物包含下述通式（I）所示的化合物，式中，R1、R2、A、B、n1、n2和n3如说明书中所定义。所述感光性树脂组合物的显影液分散稳定性优异，可抑制聚集物的产生，具有适度的显影性、固化抗蚀层的柔软性和良好的耐蚀刻性。

公开(公告)号：CN114437251A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202210104954.1

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: C08F2/44 ,  C08F2/46 ,  C08F2/50 ,  C08F20/26 ,  C08F265/06 ,  C08F290/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN106918993A

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201610936578.7

申请日：2016-10-24

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 筒井大和

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  B32B15/04

Abstract: [课题]提供具有良好的耐镀覆性的感光性树脂组合物。[解决方法]提供一种感光性树脂组合物，其包含：(a)碱溶性高分子；(b)具有烯属不饱和键的加聚性单体；(c)包含2,4,5‑三芳基咪唑二聚物的光聚合引发剂；以及(d)下述通式(I)所示的化合物{式(I)中，R1～R4各自独立地为氢或烷基，而且R5为由本申请说明书中定义的基团}。

公开(公告)号：CN114437251B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202210104954.1

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: C08F2/44 ,  C08F2/46 ,  C08F2/50 ,  C08F20/26 ,  C08F265/06 ,  C08F290/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN106918993B

公开(公告)日：2020-03-10

申请号：CN201610936578.7

申请日：2016-10-24

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 筒井大和

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  B32B15/04

Abstract: [课题]提供具有良好的耐镀覆性的感光性树脂组合物。[解决方法]提供一种感光性树脂组合物，其包含：(a)碱溶性高分子；(b)具有烯属不饱和键的加聚性单体；(c)包含2,4,5‑三芳基咪唑二聚物的光聚合引发剂；以及(d)下述通式(I)所示的化合物{式(I)中，R1～R4各自独立地为氢或烷基，而且R5为由本申请说明书中定义的基团}。

公开(公告)号：CN107407880A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680019911.6

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: G03F7/027 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。