公开(公告)号：CN114437251B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202210104954.1

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: C08F2/44 ,  C08F2/46 ,  C08F2/50 ,  C08F20/26 ,  C08F265/06 ,  C08F290/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN107407880A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680019911.6

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: G03F7/027 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN114437251A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202210104954.1

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: C08F2/44 ,  C08F2/46 ,  C08F2/50 ,  C08F20/26 ,  C08F265/06 ,  C08F290/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN108469717B

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN201810155490.0

申请日：2018-02-23

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 松田隆之 ,  西本秀昭 ,  藤原晶

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H05K3/28

Abstract: 提供即使在过度显影、过度水洗、显影液高温这种苛刻的显影条件下密合性和分辨力也优异的感光性树脂组合物，以及使用其的层叠体及抗蚀图案的形成方法和线路板的制造方法。该组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂，其中，相对于树脂组合物中的固体成分质量，(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A‑1)碱溶性高分子，(D)抑制剂含有苯酚衍生物；将该固体成分中所含的(A)碱溶性高分子和(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，除(A)和(B)以外的成分的质量与(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。

公开(公告)号：CN107407880B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN201680019911.6

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: G03F7/027 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN108469717A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201810155490.0

申请日：2018-02-23

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 松田隆之 ,  西本秀昭 ,  藤原晶

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H05K3/28

Abstract: 提供即使在过度显影、过度水洗、显影液高温这种苛刻的显影条件下密合性和分辨力也优异的感光性树脂组合物，以及使用其的层叠体及抗蚀图案的形成方法和线路板的制造方法。该组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂，其中，相对于树脂组合物中的固体成分质量，(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A-1)碱溶性高分子，(D)抑制剂含有苯酚衍生物；将该固体成分中所含的(A)碱溶性高分子和(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，除(A)和(B)以外的成分的质量与(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。