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公开(公告)号：CN108469717A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810155490.0
申请日：2018-02-23
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供即使在过度显影、过度水洗、显影液高温这种苛刻的显影条件下密合性和分辨力也优异的感光性树脂组合物，以及使用其的层叠体及抗蚀图案的形成方法和线路板的制造方法。该组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂，其中，相对于树脂组合物中的固体成分质量，(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A-1)碱溶性高分子，(D)抑制剂含有苯酚衍生物；将该固体成分中所含的(A)碱溶性高分子和(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，除(A)和(B)以外的成分的质量与(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。
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公开(公告)号：CN112987496B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202011462119.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法，层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂，包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料，特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上；作为B成分，包含三官能以上的多官能单体和二官能单体；和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T，酸值A与厚度T之比为5～90。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118541643A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202380016745.4
申请日：2023-01-13
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其中，在碱溶性高分子的共聚单体成分中，至少控制酸共聚单体成分的种类及比率，能够实现各种特性的提高。感光性树脂组合物含有以下成分：(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和键的化合物、及(C)光聚合引发剂；(A)成分至少具有源自下述共聚单体成分的结构单元：(a)甲基丙烯酸或丙烯酸、(b)不同于作为上述(a)成分所选择的酸的羧酸、及(c)具有芳香族结构或脂环式结构的化合物；(A)成分中，源自(a)成分的结构单元的质量比例(a1)与源自(b)成分的结构单元的质量比例(b1)的比率(质量比例(a1)/质量比例(b1))为1/10～10。
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公开(公告)号：CN112987496A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011462119.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法，层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂，包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料，特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上；作为B成分，包含三官能以上的多官能单体和二官能单体；和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T，酸值A与厚度T之比为5～90。
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公开(公告)号：CN108469717B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN201810155490.0
申请日：2018-02-23
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供即使在过度显影、过度水洗、显影液高温这种苛刻的显影条件下密合性和分辨力也优异的感光性树脂组合物，以及使用其的层叠体及抗蚀图案的形成方法和线路板的制造方法。该组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属不饱和键的化合物；和(C)光聚合引发剂；和(D)抑制剂，其中，相对于树脂组合物中的固体成分质量，(A)碱溶性高分子含有5质量％以上的I/O值为0.200～0.560的(A‑1)碱溶性高分子，(D)抑制剂含有苯酚衍生物；将该固体成分中所含的(A)碱溶性高分子和(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时，除(A)和(B)以外的成分的质量与(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。
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公开(公告)号：CN107924128B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201680049309.7
申请日：2016-08-19
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属双键的化合物、及(C)光聚合引发剂，(A)碱溶性高分子的根据下述数学式(I){数学式(I)中，Wi为构成碱溶性高分子的各共聚单体的质量，Tgi为构成碱溶性高分子的共聚单体的各自形成均聚物时的玻璃化转变温度，Wtotal为碱溶性高分子的合计质量，此外n为构成该碱溶性高分子的共聚单体的种类的数量。}求出的玻璃化转变温度(Tgtotal)为100℃以下，(B)具有烯属双键的化合物含有具有烯属双键和三嗪‑三酮结构的化合物。
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公开(公告)号：CN107924128A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680049309.7
申请日：2016-08-19
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属双键的化合物、及(C)光聚合引发剂，(A)碱溶性高分子的根据下述数学式(I){数学式(I)中，Wi为构成碱溶性高分子的各共聚单体的质量，Tgi为构成碱溶性高分子的共聚单体的各自形成均聚物时的玻璃化转变温度，Wtotal为碱溶性高分子的合计质量，此外n为构成该碱溶性高分子的共聚单体的种类的数量。}求出的玻璃化转变温度(Tgtotal)为100℃以下，(B)具有烯属双键的化合物含有具有烯属双键和三嗪-三酮结构的化合物。
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